Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
6.250 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
22.02.2024
Wafer bonding process with reduced overlay distortion
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.08.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.02.2024
Patterning A Semiconductor Substrate
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.02.2024
Cyclic method for reactive development of photoresists
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.02.2024
Jig and positioning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.08.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.02.2024
Plasma processing device and electrostatic chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.08.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.02.2024
Electrostatic chuck and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.08.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.02.2024
Substratverarbeitungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.02.2024
Selective deposition of liner and barrier films for resistance reduction of semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.02.2024
Substrate processing with selective etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.02.2024
Substrate processing with material modification and removal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.02.2024
Support device, support system, and support method
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.02.2024
Parameter estimation system, parameter estimation method, computer program, and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.02.2024
Substrate treatment device and substrate treatment method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.02.2024
Method of forming photosensitive organometallic oxides by chemical vapor polymerization
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.06.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.02.2024
Metal oxide resists for euv patterning and methods for developing the same
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.02.2024
Substrate processing system and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.08.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.02.2024
Plating method and plating apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 02.08.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.02.2024
Substrate treatment device, fluid activation device, substrate treatment method, and fluid activation method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.02.2024
Laminate molding method using high-purity silicon, laminate molding method for semiconductor production device component, semiconductor production device component, and method for forming semiconductor production device component
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.02.2024
Film forming method and film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.02.2024
Sin film formation method, and plasma treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Substrate processing system, substrate processing method, and device manufacturing
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Substrate support and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Substrate processing device and substrate processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Plasma processing device and power supply system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Evaluation device, evaluation method, and computer program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Information processing method, computer program, and information processing device
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Substrate processing method and substrate processing apparatus
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.02.2024
Production method and part
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Acid for reactive development of metal oxide resists
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Reservoir device and process state prediction system
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.04.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Control program, information processing program, control method, information processing method, plasma processing device, and image processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Plasma processing device and endpoint detection method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Substrate processing method and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Monitoring method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Substrate treatment method and substrate treatment system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.01.2024
Plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.299
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56