Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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08.08.2013
Purging device and purging method for substrate-containing vessel
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.01.2013
Anhängig
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01.08.2013
Microwave emission mechanism, microwave plasma source and surface wave plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 14.12.2012
Anhängig
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01.08.2013
Method for processing base body to be processed
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.11.2012
Anhängig
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01.08.2013
Plasma treatment method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2012
Anhängig
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01.08.2013
Film forming device, and film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 24.01.2013
Anhängig
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01.08.2013
Method of forming conformal metal silicide films
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 25.01.2013
Anhängig
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01.08.2013
Method for manufacturing semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.01.2013
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25.07.2013
Substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 17.01.2013
Anhängig
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25.07.2013
Support substrate and method for processing support substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2012
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25.07.2013
Substrate mounting table and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 15.01.2013
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18.07.2013
Microchannel device and method for manufacturing same
Verfahrens- & Trenntechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 09.01.2013
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18.07.2013
Substrate processing system and substrate position correction method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.01.2013
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18.07.2013
Plasma processing apparatus and heater temperature control method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.01.2013
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18.07.2013
Surface wave plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.12.2012
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18.07.2013
Method for forming tisin film and recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2012
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18.07.2013
Plasma doping apparatus, plasma doping method, semiconductor element manufacturing method, and semiconductor element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.10.2012
Anhängig
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11.07.2013
Method for forming tin film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2012
Anhängig
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11.07.2013
Vapor treatment process for pattern smoothing and inline critical dimension slimming
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2012
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04.07.2013
Increasing masking layer etch rate and selectivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.03.2012
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04.07.2013
Plasma treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.12.2012
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27.06.2013
Plasma creation device and plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2012
Anhängig
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27.06.2013
Substrate processing device
Verpackungs- & Fördertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 17.12.2012
Anhängig
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27.06.2013
Highly selective spacer etch process with reduced sidewall spacer slimming
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2012
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27.06.2013
Mounting table and plasma processing apparatus
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2012
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20.06.2013
Film forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2012
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20.06.2013
Production efficiency improvement system, production efficiency improvement device and production efficiency improvement method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2012
Anhängig
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20.06.2013
Plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.12.2012
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20.06.2013
Acoustic wave generating device and method for producing acoustic wave generating device
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Angemeldet am 13.12.2012
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20.06.2013
Antenna for plasma generation, plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2012
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20.06.2013
Plasma-treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2012
Anhängig
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20.06.2013
Device and method for forming gallium nitride film, and hydrogenated gallium generator
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 19.11.2012
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13.06.2013
Organic transistor and method for manufacturing same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.11.2012
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13.06.2013
Neutralizing jig, substrate treatment device using same, and method for neutralizing substrate treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.11.2012
Anhängig
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13.06.2013
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.12.2012
Anhängig
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13.06.2013
Method for forming a semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2012
Anhängig
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13.06.2013
Plasma treatment method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 03.12.2012
Anhängig
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06.06.2013
Conveyance device and substrate processing system
Verpackungs- & Fördertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 28.11.2012
Anhängig
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06.06.2013
Plating apparatus, plating method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 12.11.2012
Anhängig
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06.06.2013
Plating apparatus, plating method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 12.11.2012
Anhängig
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06.06.2013
Substrate Housing Container
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2012
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28