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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
27.09.2012
Film forming apparatus, film forming method, method for manufacturing organic light emitting element, and organic light emitting element
WO2012127982
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2012
Method for controlling dangling bonds in fluorocarbon films
WO2012129122
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2012
Verfahren zur Wartung eines Prozessors
EP1300874
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2012
Bonding device, bonding system and bonding method
WO2012121046
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2012
Plasma generating apparatus, plasma processing apparatus, and plasma processing method
WO2012121132
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2012
Production efficiency improving apparatus, production efficiency improving method, and computer program
WO2012121378
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2012
Method of etching silicon nitride films
WO2012122064
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2012
Treatment Liquid Flow Rate Meter
WO2012120984
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2012
Joining method, joining device, and joining system
WO2012121044
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2012
Surface Wave Plasma Processing Device, Microwave Plasma Source, And Microwave Introduction Mechanism Used in Same
WO2012121289
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.09.2012
Joining method, joining device, and joining system
WO2012121045
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2012
Halogen elimination device for processing substrate to be processed, device for processing substrate to be processed, and method for processing substrate to be processed.
WO2012117943
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2012
Vapor-deposition device, vapor-deposition method, organic el display, and lighting device
WO2012118199
Metallurgie & Oberflächentechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
07.09.2012
Annealing method and annealing equipment
WO2012118119
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.09.2012
Antenne zur Erzeugung von Oberflächenwellenplasma und Verarbeitungsvorrichtung für Oberflächenwellenplasma
EP2495749
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2012
Junction device, junction system and junction method
WO2012114825
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2012
Pattern-forming method and method for manufacturing semiconductor device
WO2012115043
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2012
Silicon nitride film deposition method, organic electronic device manufacturing method, and silicon nitride film deposition device
WO2012114856
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
30.08.2012
Junction device, junction system and junction method
WO2012114826
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2012
Wiring formation method and device
WO2012115108
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
30.08.2012
Film forming method and film forming device
WO2012115165
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
29.08.2012
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung von Störern in Kommunikationssystemen
EP1232569
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23.08.2012
Etch process control using optical metrology and sensor devices
WO2012112959
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.08.2012
Method for conveying object to be processed, and device for processing object to be processed
WO2012111669
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.08.2012
Template processing method, computer storage medium, template processing apparatus, and imprinting system
WO2012111359
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2012
Beschichtungs- und Entwicklungsvorrichtung, Beschichtungs- und Entwicklungsverfahren und Aufzeichnungsmedium
EP2228684
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2012
Substrate relay device, substrate relay method and substrate treatment device
WO2012108439
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2012
Method of etching features in silicon nitride films
WO2012109159
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2012
Plasma etching method
WO2012108445
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2012
Plating apparatus, plating method, and storage medium
WO2012102097
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.08.2012
Plating apparatus, plating method, and recording medium
WO2012102062
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2012
Filtration filter and filtration filter production method
WO2012102408
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
02.08.2012
Method for treating metal film and treatment device
WO2012102139
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2012
Plating apparatus, plating method, and storage medium
WO2012102098
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.07.2012
Photoresist management device and method
WO2012098673
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2012
Abnormality determination system of processing device and abnormality determination method of same
WO2012099106
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2012
Photoresist management device and method
WO2012099201
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2012
Substrate inverting device, substrate inverting method, and peeling system
WO2012098986
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2012
Improving tool performance by linking spectroscopic information with tool operational parameters and material measurements
WO2012099907
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2012
Vacuum processing apparatus
WO2012098871
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28

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