Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.414 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
19.01.2012
Vorrichtung zur Plasmaverarbeitung und Verfahren zur Plasmaverarbeitung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.07.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.01.2012
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.07.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.01.2012
Etch process for reduccing silicon recess
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.01.2012
Fördervorrichtungen und Bearbeitungssystem damit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.01.2012
Method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.01.2012
Etching method and device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.01.2012
Metal-film forming device
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.01.2012
Metal film formation system, metal film formation method, and computer storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.01.2012
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.01.2012
Substrate treatment device, and method for cleaning of substrate treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.01.2012
Trap device and substrate processing device
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.01.2012
Film forming method and processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.01.2012
Verfahren und Vorrichtung zur Farbstoffabsorption für einen Photosensibilisator-Farbstoff, Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Farbstoffsensibilisierten Solarzelle und Farbstoffsensibilisierte Solarzelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.02.2010
Anhängig
Vertretung
Diehl & Partner · München
Diehl & Partner GbR · München
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.12.2011
Plasma doping device, plasma doping method, method for manufacturing semiconductor element, and semiconductor element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.12.2011
Film formation method, semiconductor-device fabrication method, insulating film and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
29.12.2011
Sealing film formation method, sealing film formation device, and organic light-emitting element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.12.2011
Sputterverfahren unter Verwendung von Virtueller Verschlussvorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.06.2000
Erteilt am 28.12.2011
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.12.2011
Pitch change device and substrate conveyance robot using pitch change device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.06.2010
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.12.2011
Process for production of semiconductor device, and semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.12.2011
Method of selectively etching an insulation stack for a metal interconnect
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.06.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.12.2011
Data acquisition method of substrate processing device, and sensor substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 31.05.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.11.2011
Method for supplying treatment liquid, and computer storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.11.2011
Substrate etching method and computer recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.11.2011
Imprint system, imprint method, and computer memory medium
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.05.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.11.2011
Imprinting system, imprinting method, and computer storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.05.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.11.2011
Imprinting system, imprinting method, and computer storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.05.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.11.2011
Metal film forming system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.11.2011
Metal film forming system, method for forming metal film and computer recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.11.2011
Metal film forming system, metal film forming method, and computer storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.11.2011
Chemical supply system, substrate processing apparatus provided with same, and application/development system provided with the substrate processing apparatus
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
03.11.2011
Method for forming carbon nanotubes, and carbon nanotube film-forming apparatus
Anorganische Chemie & Werkstoffe
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.11.2011
Filmablagerungsvorrichtung und Gasausgabeglied
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.10.2011
Vertikales Wärmebearbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.10.2011
Contact structure and method for manufacturing contact structure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.04.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.10.2011
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.03.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.10.2011
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.03.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.10.2011
Dielectric window for plasma processing device, plasma processing device, and method for attaching dielectric window for plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.03.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.10.2011
Nitriding treatment method and nitriding treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.03.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.10.2011
Mask pattern formation method and manufacturing method for semiconductor device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 28.03.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.10.2011
Plasma nitridization method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.03.2011
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28