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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
05.04.2012
Transfer apparatus and processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2012
Low-Temperature Dielectric Film Formation By Chemical Vapor Deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2012
Method for forming a pattern and a semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2012
Plasmaverarbeitungseinrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2012
Verfahren zur automatischen Neueinstellung einer Verarbeitungsvorrichtung
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2012
Verfahren einer zur Ansteuerung einer Verarbeitungsvorrichtung verwendeten Selbstdiagnose-Software
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.03.2012
Semiconductor device production process and semiconductor device production system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.03.2012
Substrate processing apparatus
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.03.2012
Conveyance device, substrate processing system, and attitude control mechanism
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
15.03.2012
Microwave introduction mechanism, microwave plasma source and microwave plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.03.2012
Chemical substance detection sensor and chemical substance detection method
Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik Organische Chemie
08.03.2012
Pickup method and pickup device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2012
Etching method and etching system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2012
Method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2012
Etching method and etching apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Plasma treatment device, and optical monitor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Separation system, separation method, program and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Joint system, substrate processing system, joint method, program and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Etching method, substrate processing method, pattern forming method, method for manufacturing semiconductor element, and semiconductor element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Peeling apparatus, peeling system, peeling method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Peeling system, peeling method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Joining system, joining method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Joining system, joining method, and computer storage medium
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.03.2012
Vapor deposition processing device and vapor deposition processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.02.2012
Dampfablagerungsvorrichtung und Dampfablagerungsverfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.02.2012
Method for high aspect ratio patterning in spin-on layer
Optik & Fototechnik
23.02.2012
Microlens array manufacturing method and microlens array
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2012
Substrate processing system, transfer module, substrate processing method, and method for manufacturing semiconductor element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2012
Substrate processing method and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2012
Cvd-Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung der Cvd-Vorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2012
Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung einer Cvd-Anlage
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2012
Mikrokanalvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Mikrokanalvorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.02.2012
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
26.01.2012
Droplet transfer device, droplet transfer method, plasma separation device and plasma separation method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.01.2012
Fluid processing device and fluid processing method
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
26.01.2012
Interlayer insulating layer formation method and semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.01.2012
Placing table structure and processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2012
Cluster-Tool und Verfahren zur Transportsteuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2012
Developer liquid for photoresist and developing apparatus
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.01.2012
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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