Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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13.10.2011
Plasma nitriding treatment method and plasma nitriding treatment device.
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.03.2011
Anhängig
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13.10.2011
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.03.2011
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12.10.2011
Substrathalter, vertikale Vorrichtung zur Wärmebehandlung und Wärmebehandlungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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06.10.2011
Method of slimming radiation-sensitive material lines in lithographic applications
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 29.03.2011
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06.10.2011
Plasma processing apparatus, and dielectric window
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 23.03.2011
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06.10.2011
Method for integrating low-k dielectrics
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.03.2011
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06.10.2011
Surface cleaning and selective deposition of metal-containing cap layers for semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.03.2011
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06.10.2011
Atomic layer deposition of silicon and silicon-containing films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.03.2011
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06.10.2011
Method and system for optical metrology optimization using ray tracing
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 31.03.2011
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29.09.2011
Substrate processing device, substrate processing method, program, and computer recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 02.03.2011
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29.09.2011
Differential Metal Gate Etching Process
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 21.03.2011
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22.09.2011
Mask holding apparatus and thin film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 17.02.2011
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22.09.2011
Template processing method, computer storage medium and template processing apparatus
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2011
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22.09.2011
Deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.03.2011
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22.09.2011
Silicon oxide film forming method, and plasma oxidation apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.03.2011
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22.09.2011
Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Thin film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Film forming method and film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.03.2011
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22.09.2011
Substrate cleaning device and substrate cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Resist removal device and resist removal method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Film forming device, film forming method, rotational frequency optimisation method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Semiconductor manufacturing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Substrate attachment and detachment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
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15.09.2011
Method for cleaning a substrate, and semiconductor manufacturing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2011
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15.09.2011
Substrate wiring method and semiconductor manufacturing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 23.02.2011
Anhängig
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15.09.2011
Joining system, joining method, program and computer memory media
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2011
Anhängig
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15.09.2011
Heating apparatus and annealing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2011
Anhängig
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15.09.2011
Method for performing preventative maintenance in a substrate processing system
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.03.2011
Anhängig
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09.09.2011
Substrate storing device
Verpackungs- & Fördertechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 21.02.2011
Anhängig
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09.09.2011
Method for producing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 04.03.2011
Anhängig
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09.09.2011
Property measurement device, property measurement method, thin-film substrate manufacturing system, and program
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 25.02.2011
Anhängig
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09.09.2011
Annealing device, annealing method, and thin-film substrate manufacturing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.02.2011
Anhängig
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09.09.2011
Plasma etching method, method for producing semiconductor device, and plasma etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2011
Anhängig
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01.09.2011
Joining method, program, and computer recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2011
Anhängig
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01.09.2011
Joining device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 21.02.2011
Anhängig
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31.08.2011
Schichtherstellungsverfahren, Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung, Halbleitervorrichtung und Substratverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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25.08.2011
Method for manufacturing a semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 18.02.2011
Anhängig
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25.08.2011
Application method and application device
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 27.01.2011
Anhängig
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25.08.2011
Method and device for manufacturing a semiconductor device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.02.2011
Anhängig
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25.08.2011
Imprinting method
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.02.2011
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28