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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
14.04.2011
Thin film, method for forming same, and semiconductor light-emitting element comprising the thin film
WO2011043414
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.04.2011
Method of providing stable and adhesive interface between fluorine-based low-k material and metal barrier layer
WO2011044053
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Positioning pin compatible with deformation caused by difference in coefficient of thermal expansion
WO2011039881
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Methods for multi-step copper plating on a continuous ruthenium film in recessed features
WO2011041522
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
07.04.2011
Bonding apparatus and bonding method
WO2011040116
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Semiconductor device, method for fabricating the same and apparatus for fabricating the same
WO2011040047
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Probe Card
WO2011040134
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Developing method
WO2011040140
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Film forming apparatus, film forming method and substrate processing apparatus
WO2011040173
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Method for transferring subject to be processed and apparatus for processing subject to be processed
WO2011040301
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Transfer apparatus
WO2011040300
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
07.04.2011
Antenna for generating surface wave plasma, microwave introducing mechanism, and apparatus for processing surface wave plasma
WO2011040328
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Method for forming silicon nitride film, and method for producing semiconductor memory device
WO2011040396
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Process for production of ni film
WO2011040385
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Method for forming crystalline silicon film and plasma cvd device
WO2011040394
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Process for manufacturing semiconductor device
WO2011040426
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Template processing device, imprint system, template processing method, and computer storage medium
WO2011040466
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Plasma treatment method and plasma treatment apparatus
WO2011040537
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Selective plasma nitriding method and plasma nitriding device
WO2011040455
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Substrate processing system
WO2011040538
Verpackungs- & Fördertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
07.04.2011
Plasma processing apparatus and slow-wave plate used therein
WO2011040465
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2011
Method for reworking a silicon-containing arc layer on a substrate
WO2011041268
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2011
Process for production of carbon nanotube film
WO2011036973
Anorganische Chemie & Werkstoffe
31.03.2011
Method and apparatus for cooling subject to be processed, and computer-readable storage medium
WO2011037020
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2011
Placing table structure and plasma film forming apparatus
WO2011037107
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2011
Method for forming metal oxide film, method for forming manganese oxide film, and computer-readable storage medium
WO2011037090
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2011
High Normality Solution For Removing Freeze Material in Lithographic Applications
WO2011037809
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2011
Method for forming cu wiring
WO2011033920
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2011
Motor control method, motor control device, and motor system
WO2011033940
Elektrische Energietechnik
24.03.2011
Film-forming method and storage medium
WO2011033916
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2011
Film forming method and storage medium
WO2011033917
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2011
Film forming device, film forming method and storage medium
WO2011033918
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2011
Method for formation of metal silicide film
WO2011033903
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2011
Film-forming method, semiconductor element manufacturing method, insulating film and semiconductor element
WO2011033987
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2011
Electron source, method for producing electron source, and electron emission method
WO2011033989
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2011
Plasma processing apparatus and gas supply mechanism for plasma processing apparatus
WO2011034057
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2011
Particle injection device and method
WO2011030459
Optik & Fototechnik
17.03.2011
Method for manufacturing a semiconductor device
WO2011030753
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2011
Substrate inspecting apparatus and aligning method employed in substrate inspecting apparatus
WO2011030834
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2011
Stable Surface Wave Plasma Source
WO2011031571
Metallurgie & Oberflächentechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28

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