Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.414 gesamt| Patent | |||
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25.08.2011
Substrate cleaning method and substrate cleaning device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.02.2011
Anhängig
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25.08.2011
Optical waveguide, optical integrated circuit and a manufacturing method for producing said optical waveguide
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.02.2011
Anhängig
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25.08.2011
Method for planarising the rear surface of a substrate
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.02.2011
Anhängig
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25.08.2011
Heat insulator and process for producing heat insulator
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 15.02.2011
Anhängig
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18.08.2011
Parallel input/output signal distributor and parallel input/output signal distribution method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.02.2010
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18.08.2011
Substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2010
Anhängig
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18.08.2011
Mounting table structure, and processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.02.2011
Anhängig
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17.08.2011
Magnetron-Sputtervorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.10.2006
Erteilt am 17.08.2011
Vertretung
Glawe, Ulrich · München
Glawe Delfs Moll · Hamburg
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17.08.2011
Verfahren und Vorrichtung zur Physikalischen Dampfabscheidung mittels Ionen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2000
Erteilt am 17.08.2011
Vertretung
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11.08.2011
Substrate holder, substrate transfer apparatus, and substrate processing apparatus
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.02.2011
Anhängig
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10.08.2011
Verfahren zur Abscheidung von Metallschichten aus Metallcarbonylvorläufern
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 03.10.2005
Erteilt am 10.08.2011
Vertretung
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04.08.2011
Method and system for self-learning and self-improving a semiconductor manufacturing tool
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 28.01.2011
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28.07.2011
Bonding apparatus, bonding method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.12.2010
Anhängig
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28.07.2011
Bonding apparatus, bonding method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.12.2010
Anhängig
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28.07.2011
Plasma processing apparatus and method for processing substrate using the apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.01.2011
Anhängig
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28.07.2011
Etching method, etching apparatus, and ring member
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.01.2011
Anhängig
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21.07.2011
Substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.01.2011
Anhängig
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21.07.2011
Electromagnetic-radiation power-supply mechanism and microwave introduction mechanism
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.01.2011
Anhängig
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21.07.2011
Switchable Neutral Beam Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.01.2011
Anhängig
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07.07.2011
Mounting method and mounting device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 24.12.2010
Anhängig
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07.07.2011
Mounting table structure and processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.12.2010
Anhängig
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07.07.2011
Mounting method and mounting device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 24.12.2010
Anhängig
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06.07.2011
Verfahren zur Messung der Temperatur einer Wärmeplatte, Vorrichtung zur Substratverarbeitung und Computerprogramm zur Messung der Temperatur einer Wärmeplatte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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30.06.2011
Apparatus for drying substrate and method for drying substrate
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2010
Anhängig
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30.06.2011
Method of manufacturing semiconductor device and system for manufacturing semiconductor device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.12.2010
Anhängig
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23.06.2011
Temperature measuring apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2010
Anhängig
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23.06.2011
Substrate and method for manufacturing same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.12.2010
Anhängig
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16.06.2011
Method to remove capping layer of insulation dielectric in interconnect structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.12.2010
Anhängig
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09.06.2011
Method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.11.2010
Anhängig
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09.06.2011
Branch wire system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.12.2010
Anhängig
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19.05.2011
Plasma processing apparatus and microwave transmitter
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.11.2010
Anhängig
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12.05.2011
Control valve device
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 29.10.2010
Anhängig
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12.05.2011
Film forming method and method for forming capacitor
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.10.2010
Anhängig
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12.05.2011
Substrate processing apparatus, substrate transfer apparatus, and method for controlling substrate processing apparatus
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2010
Anhängig
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05.05.2011
Power Connection Conductor
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2010
Anhängig
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28.04.2011
Sample table and microwave plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 29.09.2010
Anhängig
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14.04.2011
Film-forming method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.10.2010
Anhängig
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14.04.2011
Film-forming device, film-forming head, and film-forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 30.09.2010
Anhängig
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14.04.2011
Actuator element and sheet-like actuator
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.09.2010
Anhängig
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14.04.2011
Pressure sensor element and sheet-like pressure sensor
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 28.09.2010
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28