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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt
Patent
14.03.2013
Separation method, computer storage medium, and separation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Joining method, computer storage medium, and joining system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Joining method and joining system
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Semiconductor device manufacturing method and substrate treatment system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2013
Joining method, computer storage medium and joining system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2013
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2013
Substratpositionsausrichtungsmechanismus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2013
Mikrowellen Bearbeitungs Vorrichtung und zugehörige Kontroll Methode
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.03.2013
Heat treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2013
Liquid-treatment device and liquid-treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2013
Method for plasma etching and plasma etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2013
Film forming method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.02.2013
Method for forming ge-sb-te film, method for forming ge-te film, method for forming sb-te film, and program
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.02.2013
Conveyance Mechanism
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.02.2013
Plasma processor, microwave introduction device, and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2013
Vorrichtung zur Wärmebehandlung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2013
Substratverarbeitungssystem und Substrattransferverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2013
Method and device for processing carbon nanotubes
Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2013
Film formation device and film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2013
Semiconductor manufacturing device and processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2013
Organic transistor and method for manufacturing same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2013
Liquid processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2013
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device, and jig for forming wiring
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2013
Plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2013
Particle monitor method and particle monitor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2013
Plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.02.2013
Film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2013
Treatment liquid supply device, treatment liquid supply method and computer storage medium
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2013
Pretreatment method and carbon nanotube formation method
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
31.01.2013
Shower head apparatus and film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2013
Cleaning method, processing device, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2013
Stage temperature control device and substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.01.2013
Bonding system, substrate processing system, and bonding method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2013
Plasmaverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.01.2013
Plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.01.2013
Etching method and device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2013
Gaszusammensetzungen zum Reinigen des Reaktorinneren sowie zum Ätzen von Filmen aus siliciumhaltigen Verbindungen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik
10.01.2013
Film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2013
Plating processing device, plating processing method, and recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik

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