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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt
Patent
03.01.2013
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2013
Material supply device, film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.01.2013
Plating processing device, plating processing method, and recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.01.2013
Surface modification apparatus, bonding system, and surface modification method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2013
Plating method, plating apparatus, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.01.2013
Substratmontagetisch, Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratstemperatursteuerungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2013
Säule für Chromatografie, Herstellungsverfahren dafür und Analysegerät
Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.01.2013
Vorrichtung zur Herstellung einer Farbstoffsensibilisierten Solarzelle sowie Verfahren zur Herstellung einer Farbstoffsensibilisierten Solarzelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2013
Schieberventil und Substratverarbeitungssystem damit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Detachment system, detachment method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Electric Actuator
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Method for setting substrate-treatment time, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Passive element drive device and substrate heating device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Apparatus for fixing solar cell panel
Hochbau & Gebäudetechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.12.2012
Plating apparatus, plating method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
27.12.2012
Method of optimizing an optical parametric model for structural analysis using optical critical dimension (ocd) metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
26.12.2012
Beschichtung und Entwicklungsvorrichtung und -verfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2012
Chromatographiesäule
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.12.2012
Plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2012
Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device
Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2012
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device, semiconductor device manufacturing apparatus, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2012
Process gas diffuser assembly for vapor deposition system
Metallurgie & Oberflächentechnik
19.12.2012
Zwischenschichtisolationsfilm und Herstellungsverfahren dafür
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.12.2012
Hochfrequenzleistungsverteilungsvorrichtung und Substratverarbeitungsvorrichtung damit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2012
Method for treating substrate, device for treating substrate and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2012
Method for forming gate insulating film, and device for forming gate insulating film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.11.2012
Plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.11.2012
Verfahren und System zur Beschichtung und zur Entwicklung eines Films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.11.2012
Verfahren zum Testen einer Halbleitervorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2012
Deposit removal method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2012
Film-forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
14.11.2012
Verfahren zur Herstellung eines Kupferfilms
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2012
Film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2012
Substrate processing method, computer memory medium, substrate processing device, and imprinting system
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2012
Plasma evaluation method, plasma processing method and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2012
Film formation method, computer memory medium, and film formation device
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2012
Separation device, separation system, and separation method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2012
Process monitor apparatus used in substrate processing apparatus, process monitor method, and substrate processing apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2012
Film-forming apparatus and film-forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2012
Separation method, separation device, and separation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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