Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.253 gesamt| Patent | |||
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11.04.2013
Cobalt-film-forming method, cobalt-film-forming material, and novel compound
Organische Chemie
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 04.10.2012
Anhängig
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11.04.2013
Method for forming photoresist pattern and method for forming etching mask
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.09.2012
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11.04.2013
Semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.10.2012
Anhängig
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11.04.2013
Plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.10.2012
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11.04.2013
Semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.09.2012
Anhängig
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04.04.2013
Dry cleaning method for recovering etch process condition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.09.2012
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04.04.2013
Conveyance device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.09.2012
Anhängig
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04.04.2013
Substrate processing device, alarm management method of substrate processing device and storage medium
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 27.09.2012
Anhängig
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04.04.2013
Etching method and device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.09.2012
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04.04.2013
Combined silicon oxide etch and contamination removal process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.09.2012
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04.04.2013
Deposit removal method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 25.09.2012
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04.04.2013
Microwave radiating mechanism, surface wave plasma source, and surface wave plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.08.2012
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04.04.2013
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 25.09.2012
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04.04.2013
Multi-Layer Pattern From Alternate Ald Processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.09.2012
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04.04.2013
Three-dimensional mounting device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 10.08.2012
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04.04.2013
Plasma Tuning Rods in Microwave Processing Systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.09.2012
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04.04.2013
Thermal spray powder and film that contain rare-earth element, and member provided with film
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 26.09.2012
Anhängig
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04.04.2013
Upper electrode, plasma processing device, and method for controlling electric field intensity distribution
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.09.2012
Anhängig
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04.04.2013
Method for three-dimensionally mounting chip
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.08.2012
Anhängig
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04.04.2013
Thermal spray powder and film that contain rare-earth element, and member provided with film
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 26.09.2012
Anhängig
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04.04.2013
Drive device and substrate processing system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Angemeldet am 25.09.2012
Anhängig
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04.04.2013
Plasma etching method and method for manufacturing semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.09.2012
Anhängig
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03.04.2013
Verfahren zur Flüssigkeitsverarbeitung, Computerprogramm und Speichermedium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.04.2013
Reinigungsgase und Ätzgase
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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03.04.2013
Substratverarbeitungsvorrichtung
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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28.03.2013
Pipe Joint
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Angemeldet am 11.09.2012
Anhängig
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28.03.2013
Method of forming metal carbide barrier layers for fluorocarbon films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.09.2012
Anhängig
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28.03.2013
Substrate treatment device, substrate treatment method and computer-readable storage medium which stores substrate treatment program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2012
Anhängig
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28.03.2013
Semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 14.08.2012
Anhängig
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27.03.2013
Substratverarbeitungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.03.2013
Filmablagerungsvorrichtung, Filmablagerungsverfahren und computerlesbares Speichermedium
Metallurgie & Oberflächentechnik
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27.03.2013
Berechnungseffizienz durch Verkürzung Iterativer Räumlicher Harmonien
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 18.05.2011
Anhängig
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
Manley, Nicholas Michael · Liverpool
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27.03.2013
Mikrowellenverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Behandeln eines zu verarbeitenden Objekts
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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27.03.2013
Mikrowellenverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Verarbeiten eines Objekts
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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21.03.2013
Plasma processing apparatus and method for manufacturing silicon thin-film solar cells using same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2012
Anhängig
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21.03.2013
Gas-detection system and method for detecting gas
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 04.09.2012
Anhängig
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20.03.2013
Vorrichtung zur Bearbeitung von Substraten
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.03.2013
Joining method, computer recording medium, and joining system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.08.2012
Anhängig
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14.03.2013
Catalyst adsorption method and adsorption device
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 08.08.2012
Anhängig
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14.03.2013
Liquid treatment apparatus for substrate, and method for controlling liquid treatment apparatus for substrate
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.09.2012
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.300
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56