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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
30.08.2023
Verfahren zur Steuerung einer Lithographischen Vorrichtung
EP4018263
Optik & Fototechnik
30.08.2023
Optische Komponente auf Basis einer Photonischen Hohlkernkristallfaser zur Breitbandstrahlungserzeugung
EP4235984
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2023
Verfahren in dem Herstellungsverfahren einer Vorrichtung, Computerlesbares Medium und zur Durchführung des Verfahrens Konfiguriertes System
EP4235305
Optik & Fototechnik
23.08.2023
Inspektionswerkzeug und Barriere zur Verwendung Darin
EP4231097
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.08.2023
Metrologieverfahren
EP4231096
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
23.08.2023
Superkontinuumstrahlungsquelle und Zugehörige Metrologievorrichtungen
EP4231090
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.08.2023
Klemme
EP4227738
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2023
Substrathalter, Trägersystem mit einem Substrathalter und Lithografische Vorrichtung
EP4226214
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.08.2023
Euv-Lithographiesystem mit einem Gasbindenden Bauteil
WO2023147925
Optik & Fototechnik
09.08.2023
Metrologisches Verfahren
EP4224255
Optik & Fototechnik
09.08.2023
Metrologisches Verfahren und Zugehörige Metrologische Vorrichtung
EP4224254
Optik & Fototechnik
09.08.2023
Verfahren für Bestimmte Korrekturen für ein Strukturierungsverfahren
EP3879345
Optik & Fototechnik
09.08.2023
Inspektionsvorrichtung und -Verfahren
EP4222560
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.08.2023
System zum Halten eines Objekts in einem Halbleiterherstellungsverfahren, Lithographiegerät mit Diesem System und Verfahren
EP4220302
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2023
Strahlungsquelle
EP3469425
Optik & Fototechnik
26.07.2023
Hochspannungsdurchführung und Verbinder für eine Vorrichtung mit Geladenen Teilchen
EP4214738
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2023
Objektivlinsen-Array-Anordnung, Elektronenoptisches System, Elektronenoptisches System-Array, Fokussierungsverfahren und Objektivlinsen-Anordnung
EP4214737
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2023
Beurteilungswerkzeug für Geladene Teilchen, Inspektionsverfahren
EP4214736
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2023
Verfahren zur Steuerung eines Produktionssystems und Verfahren zur Thermischen Steuerung wenigstens eines Teils einer Umgebung
EP4216106
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
19.07.2023
Elektronenoptische Anordnung mit Elektromagnetischer Abschirmung
EP4211711
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2023
System zur Bewertung Geladener Partikel
EP4213176
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2023
System zur Verwendung in einem Lithographischen Gerät
EP4212960
Optik & Fototechnik
19.07.2023
Lithographische Leistungsqualifikation und Zugehörige Vorrichtungen
EP4212961
Optik & Fototechnik
12.07.2023
Hierarchisches Anomalieerkennungs- und Datenrepräsentationsverfahren zur Identifizierung von Degradation auf Systemebene
EP4209846
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
12.07.2023
Optische Vorrichtung
EP4209840
Optik & Fototechnik
12.07.2023
Verfahren zur Optimierung eines Prozessfensters
EP3105636
Optik & Fototechnik
12.07.2023
Membran für die Membran einer Lithographischen Vorrichtung
EP4208755
Optik & Fototechnik
05.07.2023
Verfahren zur Strukturierung einer Zielschicht, Vorrichtung zur Strukturierung einer Zielschicht
EP4206823
Optik & Fototechnik
05.07.2023
Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas, Halbleitersubstratmessvorrichtung, Lithografische Vorrichtung
EP3973358
Optik & Fototechnik
05.07.2023
Objekthalter, Lithographische Vorrichtung mit einem Solchen Objekthalter und Verfahren für einen Objekthalter
EP4206822
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.07.2023
Kompaktes Zweidurchgangsinterferometer für ein Planspiegelinterferometer
EP4204758
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
28.06.2023
Gefäss für eine Strahlungsquelle
EP4203626
Elektronik & Schaltungstechnik
28.06.2023
Detektormodul mit Leiterplatte zum Abdichten einer Vakuumkammer
EP4200890
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.06.2023
Membran für Euv-Lithographie
EP4202545
Optik & Fototechnik
28.06.2023
Substrat mit einer Zielanordnung, Assoziierte Strukturierungsvorrichtung, Lithographisches Verfahren und Messverfahren
EP4202550
Optik & Fototechnik
28.06.2023
Verfahren und Computerprogramm zur Ausrichtungsbestimmung
EP4202970
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Mechanischen Eigenschaft einer auf einem Substrat Aufgebrachten Schicht und Zugehörige Vorrichtungen
EP4202551
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2023
Flüssigmetallzuführanordnung
EP4202447
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.06.2023
Elektronenoptische Vorrichtung mit Kompensation von Eigenschaftsschwankungen von Teilstrahlen
EP4202969
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2023
Wellenleiter und Herstellungsverfahren dafür
EP4202508
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Elektronik & Schaltungstechnik
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Software & Datenverarbeitung
132
Elektrische Energietechnik
125
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
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37
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34
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33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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