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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
28.02.2024
Verfahren zur Parameterrekonstruktion einer Metrologievorrichtung und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4328670
Optik & Fototechnik
22.02.2024
Method to stabilize a wavelength of a tunable laser device, tunable laser device, and position measurement system provided with the tunable laser device
WO2024037799
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.02.2024
Classifying Product Units
WO2024037797
Steuerungs- & Regelungstechnik
22.02.2024
Superconductive magnet assembly, planar motor and lithographic apparatus
WO2024037849
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
22.02.2024
Method and apparatus for contactless inspection of a substrate
WO2024037834
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.02.2024
Method for radiation spectrum aware souce mask optimization for lithography
WO2024037859
Optik & Fototechnik
21.02.2024
Lithographisches System für die Bearbeitung eines Artikels, Wie einer Halbleiterscheibe, und Verfahren zum Betreiben eines Lithographischen Systems für die Bearbeitung eines Artikels, Wie einer Halbleiterscheibe
EP2699968
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2024
Flüssigkeitshandhabungssystem, Verfahren und Lithografische Vorrichtung
EP4323841
Optik & Fototechnik
21.02.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Berührungslosen Inspektion eines Substrats
EP4325229
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
15.02.2024
Fluid dispensing system and method
WO2024032987
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2024
Inference Model Training
WO2024033005
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
15.02.2024
A Radiation Source
WO2024033025
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.02.2024
Metrology method and associated metrology device
WO2024033036
Optik & Fototechnik
15.02.2024
Metrology method and associated metrology device
WO2024033035
Optik & Fototechnik
15.02.2024
Debris handling apparatus and method for an extreme ultraviolet light source
WO2024033020
Optik & Fototechnik
15.02.2024
Particle detector with reduced inter-symbol interference
WO2024033071
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2024
Dynamic switching of a detector switch matrix
WO2024033070
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2024
Switch matrix configuration for improved bandwidth performance
WO2024033097
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2024
Verfahren zur Modellierung von Messdaten über einen Substratbereich und Zugehörige Vorrichtungen
EP4320483
Optik & Fototechnik
14.02.2024
Verfahren zur Bestimmung von mindestens einem Ziellayout und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP4320482
Optik & Fototechnik
14.02.2024
Fluidausgabesystem und -Verfahren
EP4321934
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.02.2024
Strahlungsquelle
EP4321933
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.02.2024
Reflective member for euv lithography
WO2024027999
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
08.02.2024
Sensor module, illuminator, metrology device and associated metrology method
WO2024028046
Optik & Fototechnik
08.02.2024
Detector for detecting radiation, method of detecting radiation, assessment system
WO2024028075
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
08.02.2024
Semiconductor charged particle detector and methods thereof
WO2024028076
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.02.2024
System, apparatus and method for selective surface treatment
WO2024028147
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
08.02.2024
Contamination Measurement
WO2024028327
Optik & Fototechnik
08.02.2024
High-Throughput Load Lock Chamber
WO2024028194
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2024
System und Verfahren zur Bestimmung Lokaler Fokuspunkte Während der Inspektion in einem System mit Geladenen Teilchen
EP4315387
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2024
Mehrfach-Ladungsträgerstrahlgerät mit Geringem Übersprechen
EP4315386
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2024
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Korrektur der Belichtungsuniformität
EP4314947
Optik & Fototechnik
07.02.2024
System, Gerät und Verfahren zur Selektiven Oberflächenbehandlung
EP4318133
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
07.02.2024
Kontaminationsmessung
EP4318132
Optik & Fototechnik
07.02.2024
Sensormodul, Beleuchtungsvorrichtung, Metrologievorrichtung und Zugehöriges Metrologieverfahren
EP4318131
Optik & Fototechnik
01.02.2024
Contamination Determination
WO2024022773
Optik & Fototechnik
01.02.2024
Droplet Generator Nozzle
WO2024022745
Elektronik & Schaltungstechnik
01.02.2024
Apparatus for and method of supplying gas to a lithography system
WO2024022796
Optik & Fototechnik
01.02.2024
Method and apparatus for particle removal
WO2024022729
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
01.02.2024
Training a machine learning model to generate mrc and process aware mask pattern
WO2024022854
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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