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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
02.09.2020
Reflektorherstellungsverfahren und Zugehöriger Reflektor
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
26.08.2020
Verfahren zum Festklemmen eines Substrats und Klemmenvorbereitungseinheit
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.08.2020
Verfahren und Vorrichtung für Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.08.2020
Substrathalter zur Verwendung in einer Lithografischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2020
Metrologievorrichtung mit Strahlungsquelle mit mehreren Breitbandausgängen
Optik & Fototechnik
19.08.2020
Metrologievorrichtung mit Strahlungsquelle mit mehreren Breitbandausgängen
Optik & Fototechnik
19.08.2020
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Monochromatischen Ladungsteilchenstrahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2020
Verfahren und Lithographievorrichtung zur Messung eines Strahlungsbündels
Optik & Fototechnik
12.08.2020
Vorrichtung mit Verwendung Geladener Teilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.08.2020
Verfahren zur Entscheidungsfindung in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
12.08.2020
Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
12.08.2020
Strukturierungsvorrichtung und Verfahren zur Verwendung davon
Optik & Fototechnik
05.08.2020
Mehrzellendetektor für Geladene Teilchen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.07.2020
Feldprogrammierbare Detektoranordnung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.07.2020
Schaltmatrixdesign für ein Strahlbildsystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.07.2020
Ladungsteilchenstrahlvorrichtung sowie Systeme und Verfahren zum Betreiben der Vorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.07.2020
Wellenfrontsensor und Zugehörige Messvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
29.07.2020
Lithographisches Verfahren sowie System und Inline-Elektronenstrahlflutungswerkzeug
Optik & Fototechnik
22.07.2020
Substrathalter und Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
22.07.2020
Verfahren zur Erzeugung und Optimierung eines Probenschemas
Optik & Fototechnik
15.07.2020
Verfahren und Vorrichtung zum Konfigurieren der Räumlichen Abmessungen eines Strahls Während einer Abtastung
Optik & Fototechnik
15.07.2020
Lithografieverfahren und -Vorrichtung
Optik & Fototechnik
01.07.2020
Elektrostatische Klemmvorrichtung
Optik & Fototechnik
24.06.2020
Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
24.06.2020
Verfahren zur Messung eines Parameters eines Strukturierungsprozesses, Metrologievorrichtung, Ziel
Optik & Fototechnik
24.06.2020
Elektronenstrahlbelichtungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2020
Positionierungsvorrichtung, Steifigkeitsreduktionsvorrichtung und Elektronenstrahlvorrichtung
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
24.06.2020
Interferometriemodul
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.06.2020
Kathodenanordnung, Elektronenkanone und Lithografiesystem mit Solch einer Elektronenkanone
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.06.2020
Für Elektronenstrahlinspektionsvorrichtung Geeignete Stufenvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.06.2020
Verfahren zur Messung eines Parameters eines Lithografischen Verfahrens, Metrologievorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.06.2020
Element zur Blockierung Geladener Teilchen, Belichtungsapparat mit einem Solchen Element und Verfahren zur Verwendung eines Solchen Belichtungsapparates
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.06.2020
Verfahren und Gerät zur Vorhersage der Wachstumsrate Abgeschiedener Verunreinigungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.06.2020
Verfahren zur Anpassung eines Zielmerkmals in einem Modell eines Musterungsverfahrens auf Basis von Lokalen Elektrischen Feldern
Optik & Fototechnik
10.06.2020
Hochspannungsvakuumdurchführung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2020
Sem-Fov-Fingerabdruck in Stochastischen Epe und Positionsmessungen in Grossen Fov-Sem-Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
03.06.2020
Ausrichtung eines Interferometrie-Moduls für ein Belichtungsgerät
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.06.2020
Verfahren zur Verringerung der Unsicherheit bei Modellvorhersagen des Maschinellen Lernens
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.06.2020
Systeme und Verfahren zur Kompensation der Dispersion eines Strahltrenners in einem Mehrstrahlgerät
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2020
Verfahren und Strukturierungsvorrichtungen sowie Vorrichtungen zur Messung der Fokusleistung einer Lithografievorrichtung, Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
Optik & Fototechnik

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