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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
27.05.2020
Verfahren zur Messung eines Fokusparameters in Bezug auf eine Struktur, die Mithilfe eines Lithographischen Verfahrens hergestellt Wurde
Optik & Fototechnik
27.05.2020
Maskenloses Lithographiesystem mit Verbesserter Zuverlässigkeit
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.05.2020
Partikelkontaminationsmessverfahren und -Vorrichtung
Optik & Fototechnik
20.05.2020
Verfahren zur Gewinnung von Trainingsdaten zum Trainieren eines Modells eines Halbleiterherstellungsprozesses
Optik & Fototechnik
20.05.2020
Verfahren zur Überwachung einer Lithographischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik
13.05.2020
Verbesserungen an Messzielen
Optik & Fototechnik
13.05.2020
Vorhersage eines Wertes eines Halbleiterherstellungsverfahrensparameters
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
13.05.2020
Verfahren im Herstellungsverfahren einer Vorrichtung, Übergangsloses Computerlesbares Medium und zur Ausführung des Verfahrens Konfiguriertes System
Optik & Fototechnik
13.05.2020
Verfahren zum Bestimmen des Beitrags einer Verarbeitungsvorrichtung zu einem Substratparameter
Optik & Fototechnik
06.05.2020
Tragetisch für eine Lithografische Vorrichtung, Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Vorrichtung
Optik & Fototechnik
06.05.2020
Verfahren zur Bestimmung eines Wertes eines Interessierenden Parameters eines Strukturierungsprozesses, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.05.2020
Verfahren zum Steuern der Einstellung des Dosisprofils einer Lithografischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
06.05.2020
Verfahren zur Charakterisierung von Nachbearbeitungsdaten in Bezug auf Individuelle Beiträge von Verarbeitungsstationen
Optik & Fototechnik
06.05.2020
Optische Fasern und Herstellungsverfahren dafür
Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.04.2020
Vorrichtung aus mehreren Geladenen Teilchenstrahlen mit einer Mehrachsigen Magnetischen Linse
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2020
Euv-Belichtungsgerät
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
22.04.2020
Durchlässiger Diffusor
Optik & Fototechnik
22.04.2020
System und Verfahren zum Erleichtern des Chemisch-Mechanischen Polierens
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.04.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion einer Struktur und Zugehörige Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
22.04.2020
Pellikel und Pellikelanordnung
Optik & Fototechnik
15.04.2020
Verfahren zur Kalibrierung einer Vielzahl von Metrologievorrichtungen, Verfahren zur Bestimmung eines Parameters von Interesse und Metrologievorrichtung
Optik & Fototechnik
15.04.2020
Verfahren zur Messung der Fokusleistung einer Lithografievorrichtung
Optik & Fototechnik
15.04.2020
Anreicherung und Radioisotopproduktion
Verfahrens- & Trenntechnik Elektrische Energietechnik
01.04.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Pupillenform
Optik & Fototechnik
01.04.2020
Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Strahlungsintensitätsprofils
Optik & Fototechnik
01.04.2020
Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2020
Bereitstellung eines Trainierten Neuronalen Netzwerks und Bestimmung einer Eigenschaft eines Physikalischen Systems
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
01.04.2020
Verfahren zur Bestimmung der Entfernung zwischen Zwei Teilstrahlen bei einer Multi-Beamlet-Belichtungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.04.2020
Lithographiesystem, Klemmverfahren und Wafertisch
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.03.2020
Teilchenstrahlvorrichtung, Defektreparaturverfahren, Verfahren zur Lithographischen Belichtung und Lithographisches System
Optik & Fototechnik
25.03.2020
Optisches System, Metrologievorrichtung und Zugehöriges Verfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.03.2020
Kathodenanordnung, Elektronenkanone und Lithografiesystem mit Solch einer Elektronenkanone
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.03.2020
Betätigungsmechanismus, Optische Vorrichtung, Lithografievorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
Optik & Fototechnik
18.03.2020
Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.03.2020
Verfahren zum Messen eines Parameters einer Struktur, die mit einem Lithografischen Verfahren hergestellt Wurde
Optik & Fototechnik
11.03.2020
Metrologievorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.03.2020
Substrathalter und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
Optik & Fototechnik
04.03.2020
Verfahren und Systeme zur Inspektion mit mehreren Elektronenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2020
Verfahren und Vorrichtung zum Konfigurieren der Räumlichen Abmessungen eines Strahls Während einer Abtastung
Optik & Fototechnik
04.03.2020
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
Optik & Fototechnik

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