ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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01.02.2024
Droplet Generator Nozzle
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 03.07.2023
Anhängig
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01.02.2024
Method and apparatuses for fourier transform spectrometry
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 29.06.2023
Anhängig
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01.02.2024
Methods of mitigating crosstalk in metrology images
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.06.2023
Anhängig
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31.01.2024
Verfahren zum Vermindern des Übersprechens in Metrologischen Bildern
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a method of determining an orthonormalized structure of interest reference image, the orthonormalized structure of interest reference image for applying to a measured image of the structure of interest to correct for the effect of crosstalk from at least one nuisance structure. The method comprises determining a structure of interest reference image based on knowledge of the structure of interest; determining at least one nuisance structure reference image based on knowledge of the at least one nuisance structure; and orthonormalizing the structure of interest reference image to the at least one nuisance reference image to obtain the orthonormalized structure of interest reference image. |
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31.01.2024
Verfahren und Geräte für die Fourier-Transformationsspektrometrie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Zusammenfassung
Disclosed is a Fourier-transform spectrometer comprising a beamsplitting arrangement operable to define a first radiation source and a second radiation source from a common radiation source, and at least one detector operable to detect interferogram data as a function of detection position in at least a first detection plane direction of a detection plane, the interferogram data resulting from interference of a first diverging beam emitted from said first radiation source and a second diverging beam emitted from said second radiation source. A processor is operable to:perform a linearization correction to said interferogram data to obtain linearized interferogram data; and Fourier transform the linearized interferogram data to obtain spectral characteristic data relating to the common radiation source. |
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31.01.2024
Tröpfchenerzeugerdüse
Elektronik & Schaltungstechnik
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31.01.2024
Kontaminationsbestimmung
Optik & Fototechnik
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31.01.2024
Kontrol-System und Verfahren für eine Lithographie-Vorrichtung
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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31.01.2024
Substratbelichtungssystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.12.2017
Erteilt am 31.01.2024
Vertretung
Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven
ASML Netherlands B.V · Veldhoven
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25.01.2024
Systems and methods for optimizing metrology marks
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.07.2023
Anhängig
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25.01.2024
Deep learning models for determining mask designs associated with semiconductor manufacturing
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 14.07.2023
Anhängig
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25.01.2024
Electron-optical apparatus and method of obtaining topographical information about a sample surface
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.07.2023
Anhängig
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25.01.2024
Charged particle assessment system and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.07.2023
Anhängig
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25.01.2024
Enhanced alignment apparatus for lithographic systems
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.07.2023
Anhängig
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24.01.2024
Systeme und Verfahren zum Modifizieren und Trainieren von Neuromorphen Photonischen Schaltungen
Optik & Fototechnik
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24.01.2024
Manipulator, Manipulatoranordnung, Geladenes Teilchenwerkzeug, Mehrstrahliges Teilchenwerkzeug und Verfahren zum Manipulieren eines Geladenen Teilchenstrahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
A manipulator for manipulating a charged particle beam in a projection system, the manipulator comprising a substrate having opposing major surfaces in each of which is defined an aperture and a through-passage having an interconnecting surface extending between the apertures; wherein the interconnecting surface comprises one or more electrodes; the manipulator further comprising a potential divider comprising two or more resistive elements connected in series, the potential divider comprising an intermediate node between each pair of adjacent resistive elements, wherein at least one resistive element is formed within the substrate so as to extend between the opposing major surfaces; wherein the intermediate node is electrically connected to at least one of the one or more electrodes. |
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24.01.2024
Detektor für Geladene Teilchen für die Mikroskopie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.01.2024
Elektronenoptisches Gerät und Verfahren zur Erlangung von Topographischen Informationen über eine Probenoberfläche
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.01.2024
Hohlkern-Lichtleitfaserbasierte Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
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24.01.2024
Sem-Bildverbesserung
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.01.2024
Klemmelektrodenmodifizierung für Verbesserte Überlagerung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.01.2024
Euv-Pellikel
Optik & Fototechnik
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18.01.2024
Picture mode resolution enhancement for e-beam detector
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 13.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Determining mask rule check violations and mask design based on local feature dimension
Optik & Fototechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 12.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Stochastic-aware source mask optimization based on edge placement probability distribution
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Method of assessing a sample, apparatus for assessing a sample
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Obtaining High Resolution Information From Low Resolution Images
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Electron-Optical Assembly
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Charged particle-optical apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Method and system of overlay measurement using charged-particle inspection apparatus
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 06.07.2023
Anhängig
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18.01.2024
Systems and methods for predicting post-etch stochastic variation
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 15.06.2023
Anhängig
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18.01.2024
Metrology target and associated metrology method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.06.2023
Anhängig
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17.01.2024
Isolierender Abstandshalter für Elektronenoptische Anordnung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.01.2024
Elektronenoptische Anordnung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.01.2024
Verfahren zur Bewertung einer Probe, Vorrichtung zur Bewertung einer Probe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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17.01.2024
Metrologie- und Steuerungssystem
Elektronik & Schaltungstechnik
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17.01.2024
Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines Halbleiterherstellungsverfahrens
Optik & Fototechnik
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17.01.2024
Substrathandhabungssystem einer Lithografievorrichtung und Verfahren dafür
Optik & Fototechnik
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11.01.2024
Method of determining a parasitic force of an actuator of an optical component, control method for an actuator, optical system, projection system and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.06.2023
Anhängig
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11.01.2024
A fluid handling system, method and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 01.06.2023
Anhängig
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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