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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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3.336 gesamt
Patent
25.11.2020
Antischleifmechanismus für Objektträger zur Verbesserung der Lebensdauer von Wälzlagern
EP3742471
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
25.11.2020
Detektionsvorrichtung zur Gleichzeitigen Aufnahme mehrerer Verschiedener Bilder eines Objekts
EP3742230
Optik & Fototechnik
25.11.2020
Systeme und Verfahren zur Anpassung von Vorhersagemodellen zwischen Anlagenstandorten
EP3742229
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
18.11.2020
Metrologiewerkzeuge mit Aplanatischem Objektiv-Singulett
EP3739389
Optik & Fototechnik
11.11.2020
Objekthalter, Lithographischer Apparat und Lithographisches Verfahren
EP2856261
Optik & Fototechnik
04.11.2020
Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen
EP3325950
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.11.2020
Teilfeldsteuerung eines Lithografischen Prozesses und Zugehörige Vorrichtung
EP3734366
Optik & Fototechnik
04.11.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Photolithografischen Bildgebung
EP3734365
Optik & Fototechnik
04.11.2020
Verfahren zur Erzeugung eines Steuerschemas und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3734364
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
04.11.2020
Bestimmung eines Layouts von Markierungen auf einer Strukturierungsvorrichtung oder einem Substrat
EP3734363
Optik & Fototechnik
28.10.2020
Auf Rechnerischer Metrologie Basierende Korrektur und Steuerung
EP3729197
Optik & Fototechnik
28.10.2020
Metrologieverfahren und -Vorrichtung, Computerprogramm und Lithografisches System
EP3731020
Optik & Fototechnik
28.10.2020
Verfahren zur Bestimmung einer Messteilmenge von Messpunkten auf einem Substrat, Zugehörige Vorrichtung und Computerprogramm
EP3731019
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.10.2020
Verfahren zur Erneuten Bildgebung eines Bildes und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP3731018
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.10.2020
Fluidhandhabungsstruktur, Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Verwendung einer Fluidhandhabungsstruktur
EP3724722
Optik & Fototechnik
21.10.2020
Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung eines Zustands im Zusammenhang mit einer Pellikel
EP3724721
Optik & Fototechnik
14.10.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Formung einer Strukturierten Materialschicht
EP3722457
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
07.10.2020
Systeme und Verfahren zur Bildverbesserung für ein Mehrstrahliges Ladungspartikelinspektionssystem
EP3719831
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.10.2020
Herstellung eines Reflektierenden Beugungsgitters
EP3719545
Optik & Fototechnik
07.10.2020
Optische Faser
EP3719551
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.09.2020
Frequenzverbreiterungsvorrichtung und -Verfahren
EP3715945
Optik & Fototechnik
30.09.2020
Substrathalter, Substratträger und Verfahren zum Festklemmen eines Substrats an einem Klemmsystem
EP3714329
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.09.2020
Frequenzverbreiterungsvorrichtung und -Verfahren
EP3715944
Optik & Fototechnik
30.09.2020
Poröses Graphitisches Pellikel
EP3714330
Optik & Fototechnik
30.09.2020
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2917785
Optik & Fototechnik
30.09.2020
Substratpositionierungsvorrichtung und Elektronenstrahlinspektionswerkzeug
EP3716310
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.09.2020
Positionsmetrologievorrichtung und Zugehörige Optische Elemente
EP3715951
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.09.2020
Blendenanordnung mit Integrierter Strommessung
EP3716313
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.09.2020
Vorrichtung und Verfahren zur Gemeinsamen Interpolation und Vorhersage von Eigenschaften
EP3712817
Software & Datenverarbeitung
16.09.2020
Metrologieverfahren
EP3709082
Optik & Fototechnik
16.09.2020
Metall-Silicid-Nitrierung zur Spannungsverminderung
EP3707558
Optik & Fototechnik
09.09.2020
Verfahren zur Bestimmung der Grundursachen von Ereignissen eines Halbleiterherstellungsprozesses und zur Überwachung eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP3705959
Steuerungs- & Regelungstechnik
09.09.2020
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
EP3705942
Optik & Fototechnik
09.09.2020
Extrahieren eines Merkmals aus einem Datensatz
EP3705944
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
09.09.2020
Pod zur Aufbewahrung einer Musterungsvorrichtung
EP3705943
Verpackungs- & Fördertechnik Optik & Fototechnik
09.09.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Schätzung einer Substratform
EP3705945
Optik & Fototechnik
09.09.2020
Lithografische Vorrichtung mit Aktiver Grundrahmenstütze
EP3394676
Optik & Fototechnik
02.09.2020
Reflektorherstellungsverfahren und Zugehöriger Reflektor
EP3703114
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
02.09.2020
Ausrichtungsverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
EP3702840
Optik & Fototechnik
02.09.2020
Pellikelrahmen und Pellikelanordnung
EP3701331
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

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727
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Elektronik & Schaltungstechnik
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Software & Datenverarbeitung
132
Elektrische Energietechnik
125
Steuerungs- & Regelungstechnik
60
Maschinenelemente & Fluidtechnik
37
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
34
Verfahrens- & Trenntechnik
33
Anorganische Chemie & Werkstoffe
33
Metallurgie & Oberflächentechnik
20

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