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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
07.10.2020
Systeme und Verfahren zur Bildverbesserung für ein Mehrstrahliges Ladungspartikelinspektionssystem
EP3719831
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2020
Method for controlling a lithographic apparatus and associated apparatuses
WO2020193010
Optik & Fototechnik
01.10.2020
Method of measuring an alignment mark or an alignment mark assembly, alignment system, and lithographic tool
WO2020193039
Optik & Fototechnik
01.10.2020
Frequency broadening apparatus and method
WO2020193075
Optik & Fototechnik
01.10.2020
Method for determining pattern in a patterning process
WO2020193095
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
01.10.2020
Substrate positioning device and electron beam inspection tool
WO2020193259
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.09.2020
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP2917785
Optik & Fototechnik
30.09.2020
Substrathalter, Substratträger und Verfahren zum Festklemmen eines Substrats an einem Klemmsystem
EP3714329
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.09.2020
Poröses Graphitisches Pellikel
EP3714330
Optik & Fototechnik
30.09.2020
Frequenzverbreiterungsvorrichtung und -Verfahren
EP3715944
Optik & Fototechnik
30.09.2020
Substratpositionierungsvorrichtung und Elektronenstrahlinspektionswerkzeug
EP3716310
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.09.2020
Positionsmetrologievorrichtung und Zugehörige Optische Elemente
EP3715951
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
30.09.2020
Blendenanordnung mit Integrierter Strommessung
EP3716313
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.09.2020
Frequenzverbreiterungsvorrichtung und -Verfahren
EP3715945
Optik & Fototechnik
24.09.2020
A substrate container, a lithographic apparatus and a method using a lithographic apparatus
WO2020187473
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.09.2020
Metrology method and apparatus, computer program and lithographic system
WO2020187514
Optik & Fototechnik
24.09.2020
Training method for machine learning assisted optical proximity error correction
WO2020187578
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
24.09.2020
Lithographic apparatus and method for motor temperature control
WO2020187671
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
24.09.2020
Micromanipulator devices and metrology system
WO2020187713
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.09.2020
Vorrichtung und Verfahren zur Gemeinsamen Interpolation und Vorhersage von Eigenschaften
EP3712817
Software & Datenverarbeitung
17.09.2020
Methods and apparatus for estimating substrate shape
WO2020182379
Optik & Fototechnik
17.09.2020
Metrology method and apparatus, computer program and lithographic system
WO2020182468
Optik & Fototechnik
17.09.2020
Method and apparatus for diffraction pattern guided source mask optimization
WO2020182440
Optik & Fototechnik
17.09.2020
Providing Substantially Laminar Fluid Flow in A Lithographic Apparatus
WO2020182540
Optik & Fototechnik
17.09.2020
Lithographic apparatus, metrology apparatus, optical system and method
WO2020182488
Optik & Fototechnik
17.09.2020
Electrostatic clamp for a lithographic apparatus
WO2020182637
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
16.09.2020
Metall-Silicid-Nitrierung zur Spannungsverminderung
EP3707558
Optik & Fototechnik
16.09.2020
Metrologieverfahren
EP3709082
Optik & Fototechnik
16.09.2020
Verkürzte Flachdrahtspule
EP3707733
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2020
Object positioner device and device manufacturing method
WO2020177949
Optik & Fototechnik
10.09.2020
Object Holder Comprising an Electrostatic Clamp
WO2020177971
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2020
Hollow-core photonic crystal fiber based optical component for broadband radiation generation
WO2020178008
Optik & Fototechnik
10.09.2020
Alignment method and associated metrology device
WO2020178003
Optik & Fototechnik
10.09.2020
Method and apparatus for imaging using narrowed bandwidth
WO2020177979
Optik & Fototechnik
10.09.2020
Laser System For Source Material Conditioning in an Euv Light Source
WO2020178244
Elektronik & Schaltungstechnik
09.09.2020
Lithografische Vorrichtung mit Aktiver Grundrahmenstütze
EP3394676
Optik & Fototechnik
09.09.2020
Verfahren zur Bestimmung der Grundursachen von Ereignissen eines Halbleiterherstellungsprozesses und zur Überwachung eines Halbleiterherstellungsprozesses
EP3705959
Steuerungs- & Regelungstechnik
09.09.2020
Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung
EP3705942
Optik & Fototechnik
09.09.2020
Extrahieren eines Merkmals aus einem Datensatz
EP3705944
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
09.09.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Schätzung einer Substratform
EP3705945
Optik & Fototechnik

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