ASML Logo

ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

5.380 gesamt
Patent
09.09.2020
Pod zur Aufbewahrung einer Musterungsvorrichtung
Verpackungs- & Fördertechnik Optik & Fototechnik
09.09.2020
Anordnung zur Verwendung in der Halbleiter-Fotolithografie und Verfahren zu Ihrer Herstellung
Optik & Fototechnik
03.09.2020
Radiation measurement system
Optik & Fototechnik
03.09.2020
Method of reducing effects of lens heating and/or cooling in a lithographic process
Optik & Fototechnik
03.09.2020
Method for determining stochastic variation of printed patterns
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
03.09.2020
Inspection apparatus, lithographic apparatus, measurement method
Optik & Fototechnik
03.09.2020
Target supply control apparatus and method in an extreme ultraviolet light source
Elektronik & Schaltungstechnik
03.09.2020
Improve gauge selection for model calibration
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2020
Apparatus for assembly of a reticle assembly
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2020
Prüfsubstrat und Prüfverfahren
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.09.2020
Pellikelrahmen und Pellikelanordnung
Optik & Fototechnik
02.09.2020
Reflektorherstellungsverfahren und Zugehöriger Reflektor
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
02.09.2020
Ausrichtungsverfahren und Zugehörige Metrologievorrichtung
Optik & Fototechnik
27.08.2020
Method for training machine learning model to determine optical proximity correction for mask
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
27.08.2020
Dose control for an extreme ultraviolet optical lithography system
Elektronik & Schaltungstechnik
27.08.2020
A method for characterizing a manufacturing process of semiconductor devices
Optik & Fototechnik
27.08.2020
Laser roughening: engineering the roughness of the burl top
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2020
Wafer alignment using form birefringence of targets or product
Optik & Fototechnik
27.08.2020
Metrology system, lithographic apparatus, and method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.08.2020
Verfahren und Vorrichtung für Metrologie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.08.2020
Verfahren zum Festklemmen eines Substrats und Klemmenvorbereitungseinheit
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2020
A metrology apparatus with radiation source having multiple broadband outputs
Optik & Fototechnik
20.08.2020
Lithographic apparatus and method with a thermal control system
Optik & Fototechnik
20.08.2020
Apparatus for and method of controlling an energy spread of a charged-particle beam
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2020
Metrology system, lithographic apparatus, and calibration method
Optik & Fototechnik
20.08.2020
Intermediate layer for mechanical interface
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Maschinenelemente & Fluidtechnik
19.08.2020
Substrathalter zur Verwendung in einer Lithografischen Vorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2020
Verfahren und Lithographievorrichtung zur Messung eines Strahlungsbündels
Optik & Fototechnik
19.08.2020
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Monochromatischen Ladungsteilchenstrahls
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.08.2020
Metrologievorrichtung mit Strahlungsquelle mit mehreren Breitbandausgängen
Optik & Fototechnik
19.08.2020
Metrologievorrichtung mit Strahlungsquelle mit mehreren Breitbandausgängen
Optik & Fototechnik
19.08.2020
Elektrostatische Klemme, lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer elektrostatischen Klemme
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2020
Electronic system, accelerometer, calibration method, lithographic apparatus and device manufacturing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.08.2020
Radiation system
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
12.08.2020
Vorrichtung mit Verwendung Geladener Teilchenstrahlen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.08.2020
Verfahren zur Entscheidungsfindung in einem Halbleiterherstellungsverfahren
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
12.08.2020
Lithographische Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
12.08.2020
Strukturierungsvorrichtung und Verfahren zur Verwendung davon
Optik & Fototechnik
06.08.2020
Apparatus and method for property joint interpolation and prediction
Software & Datenverarbeitung
06.08.2020
Methods and apparatus for controlling a lithographic process
Optik & Fototechnik

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen