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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
26.03.2020
Radiation system
WO2020057924
Optik & Fototechnik
26.03.2020
Apparatus and method for detecting time-dependent defects in a fast-charging device
WO2020058142
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2020
Metrology method and apparatus thereof
WO2020058388
Optik & Fototechnik
25.03.2020
Betätigungsmechanismus, Optische Vorrichtung, Lithografievorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
EP2906994
Optik & Fototechnik
25.03.2020
Kathodenanordnung, Elektronenkanone und Lithografiesystem mit Solch einer Elektronenkanone
EP3090438
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.03.2020
Teilchenstrahlvorrichtung, Defektreparaturverfahren, Verfahren zur Lithographischen Belichtung und Lithographisches System
EP3627225
Optik & Fototechnik
25.03.2020
Optisches System, Metrologievorrichtung und Zugehöriges Verfahren
EP3627226
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.03.2020
Method and apparatus for monitoring beam profile and power
WO2020052943
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2020
Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
EP3623868
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.03.2020
Verfahren zum Messen eines Parameters einer Struktur, die mit einem Lithografischen Verfahren hergestellt Wurde
EP3623869
Optik & Fototechnik
12.03.2020
Method and apparatus for configuring spatial dimensions of a beam during a scan
WO2020048693
Optik & Fototechnik
12.03.2020
Metrology apparatus
WO2020048692
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
11.03.2020
Metrologievorrichtung
EP3620857
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.03.2020
Multi-beam inspection methods and systems
WO2020043367
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2020
Electromagnetic actuator, position control system and lithographic apparatus
WO2020043401
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
05.03.2020
Measurement method and apparatus
WO2020043474
Optik & Fototechnik
05.03.2020
Systems and methods of optimal metrology guidance
WO2020043525
Optik & Fototechnik
05.03.2020
Compact Alignment Sensor Arrangements
WO2020043582
Optik & Fototechnik
05.03.2020
Time-dependent defect inspection apparatus
WO2020043583
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2020
Hessian free calculation of product of hessian matrix and vector for lithography optimization
WO2020043675
Optik & Fototechnik
04.03.2020
Substrathalter und Verfahren zur Herstellung eines Substrathalters
EP2810127
Optik & Fototechnik
04.03.2020
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung
EP3137944
Optik & Fototechnik
04.03.2020
Verfahren und Systeme zur Inspektion mit mehreren Elektronenstrahlen
EP3618095
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2020
Verfahren und Vorrichtung zum Konfigurieren der Räumlichen Abmessungen eines Strahls Während einer Abtastung
EP3617800
Optik & Fototechnik
27.02.2020
Apparatus and method for measuring a position of alignment marks
WO2020038629
Optik & Fototechnik
27.02.2020
High Harmonic Generation Radiation Source
WO2020038648
Elektronik & Schaltungstechnik
27.02.2020
Substrate support, lithographic apparatus, substrate inspection apparatus, device manufacturing method
WO2020038661
Optik & Fototechnik
27.02.2020
Stage apparatus and method for calibrating an object loading process
WO2020038677
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2020
Metrology apparatus
WO2020038642
Optik & Fototechnik
27.02.2020
Pulse stretcher and method
WO2020038707
Optik & Fototechnik
27.02.2020
Matching Pupil Determination
WO2020038756
Optik & Fototechnik
26.02.2020
Strahlenquelle basierend auf der Erzeugung Hoher Oberwellen
EP3614813
Elektronik & Schaltungstechnik
26.02.2020
Metrologievorrichtung
EP3614207
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.02.2020
Bestimmung einer Pupillenanpassung
EP3614194
Optik & Fototechnik
20.02.2020
Metrology apparatus and photonic crystal fiber
WO2020035201
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.02.2020
Apparatus and method for clearing and detecting marks
WO2020035203
Optik & Fototechnik
20.02.2020
Piezoelectric actuator, actuator system, substrate support, and lithographic apparatus including the actuator
WO2020035242
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.02.2020
Method for controlling a manufacturing process and associated apparatuses
WO2020035211
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
20.02.2020
Method and metrology apparatus for determining estimated scattered radiation intensity
WO2020035275
Optik & Fototechnik
20.02.2020
Model calibration and guided metrology based on smart sampling
WO2020035272
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

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Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.232
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Elektronik & Schaltungstechnik
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Software & Datenverarbeitung
277
Elektrische Energietechnik
171
Steuerungs- & Regelungstechnik
92
Maschinenelemente & Fluidtechnik
67
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
60
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55
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39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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