ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336

Patente

2000–2026

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
02.01.2008	02.01.2008 Kompensation der Doppelbrechung in kubisch kristallinen Projektionslinsen und optischen Systemen EP1780570 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.05.2002 Anhängig Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2007	27.12.2007 Optical apparatus WO2007147498 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.12.2007	27.12.2007 Lithographic apparatus, device manufacturing method and radiation collector WO2007148968 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.06.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2007	26.12.2007 Imprint-Lithografie EP1724639 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.05.2006 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Roberts, Peter David · Manchester Weenink, Willem · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2007	19.12.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels EP1324138 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.12.2002 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2007	19.12.2007 Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren dafür EP1837705 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2006 Anhängig Vertretung Leeming, John Gerard · London Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2007	19.12.2007 Lithographische Vorrichtung und Verfahren EP1852746 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.05.2007 Anhängig Vertretung Weenink, Willem · Veldhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Roberts, Peter David · Manchester Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2007	12.12.2007 Lithographievorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren EP1864188 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.03.2006 Anhängig Vertretung Raukema, Age · Veldhoven Doolaar, Frans · Enschede Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2007	12.12.2007 Gekühltes Spiegelarray für die Lithographie EP1865359 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.05.2007 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Roberts, Peter David · Manchester Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2007	05.12.2007 Beleuchtungssystem EP1793278 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.11.2006 Anhängig Vertretung Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven Slenders, Petrus J. W · Eindhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2007	28.11.2007 Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren unter Verwendung mehrerer Belichtungsarten und mehrere Belichtungsarten EP1860505 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2006 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.11.2007	22.11.2007 Contamination barrier and lithographic apparatus WO2007133072 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.05.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2007	21.11.2007 Lithographisches Gerät und zugehöriges Herstellungsverfahren EP1278089 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2002 Erteilt am 21.11.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2007	21.11.2007 Kennzeichnungsverfahren für ein Substrat, Verfahren zur Kennzeichnung eines Arbeitsganges, Geräteherstellungsverfahren und Computerprogramm EP1731968 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.05.2006 Erteilt am 21.11.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2007	21.11.2007 Lithographische Vorrichtung und Herstellungsverfahren dafür EP1857881 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.05.2007 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven van Loon, C.J.J · Den Haag van Os, Lodewijk Hubertus · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.11.2007	15.11.2007 Anti-reflection coating for euv mask WO2007129890 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2007	14.11.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels EP1372039 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.06.2003 Erteilt am 14.11.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2007	14.11.2007 Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren unter Verwendung mehrerer Belichtungsarten und mehrere Belichtungsarten EP1855161 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2006 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2007	31.10.2007 Lithographischer Apparat EP1566695 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2001 Erteilt am 31.10.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2007	31.10.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1610183 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2005 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven Winckels, Johannes Hubertus F · Den Haag Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2007	31.10.2007 Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1637931 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.09.2005 Erteilt am 31.10.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2007	31.10.2007 Immersionsflüssigkeit, Belichtungsvorrichtung und Belichtungsprozess EP1849040 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.02.2006 Anhängig Vertretung Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2007	24.10.2007 Lithographischer Apparat mit einer Maskenklemmvorrichtung EP1107066 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.11.2000 Erteilt am 24.10.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.10.2007	24.10.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung EP1251402 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.03.2002 Erteilt am 24.10.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2007	17.10.2007 Lithographischer Apparat mit einem ausbalancierten Positionierungssystem EP1111469 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2000 Erteilt am 17.10.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2007	17.10.2007 Lithografischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung unter Verwendung von Datenfilterung EP1708030 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.03.2006 Anhängig Vertretung Leeming, John Gerard · London Van den Hooven, Jan · Veldhoven Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2007	17.10.2007 Lithographische Projektionsvorrichtung und Herstellungsverfahren dafür EP1818977 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.02.2007 Anhängig Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.10.2007	11.10.2007 Rotatable contamination barrier and lithographic apparatus comprising same WO2007114695 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2007	04.10.2007 Lithographic apparatus and patterning device WO2007110777 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.10.2007	04.10.2007 Contamination barrier and lithographic apparatus comprising same WO2007111504 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.03.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2007	03.10.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels EP1353233 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2003 Anhängig Vertretung Maas, Abraham Johannes · Veldhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2007	03.10.2007 Lithographischer Apparat und Methode zur Kompensation von thermischer Deformation in einem lithographischen Apparat EP1513021 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.08.2004 Erteilt am 03.10.2007 Vertretung Winckels, Johannes Hubertus F · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2007	03.10.2007 Haltestruktur und Lithographische Vorrichtung EP1839091 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.12.2004 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven van Loon, C.J.J · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.10.2007	03.10.2007 Verfahren zur Vermeidung oder Verringerung der Verschmutzung eines Immersionsprojektors und ein lithografisches Immersionsgerät EP1793276 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.11.2006 Anhängig Vertretung Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven Weenink, Willem · Veldhoven Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2007	26.09.2007 EUV-lithographische Projektionsvorrichtung mit einem optischen Element mit Deckschicht EP1065568 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.06.2000 Erteilt am 26.09.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.09.2007	26.09.2007 Schutzkappe für eine Lampe und Verfahren zum Einbau einer Lichtquelle in einem lithographischen Apparat EP1602980 Verpackungs- & Fördertechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.05.2005 Anhängig Vertretung Van den Hooven, Jan · Veldhoven van Westenbrugge, Andries · Den Haag Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.09.2007	19.09.2007 Prisma zur Benutzung in einer lithografischen Vorrichtung EP1764655 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2003 Anhängig Vertretung Doolaar, Frans · Enschede Leeming, John Gerard · London Van den Hooven, Jan · Veldhoven Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.09.2007	05.09.2007 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltungsanordnung EP1321824 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.11.2001 Erteilt am 05.09.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2007	29.08.2007 Lithographischer Apparat mit Filter EP1107065 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.11.2000 Erteilt am 29.08.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.08.2007	29.08.2007 Verfahren zur Aberrationsmessung in einem optischen Abbildungssystem EP1128217 Optik & Fototechnik erteilt	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2001 Erteilt am 29.08.2007 Vertretung Leeming, John Gerard · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen