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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
20.02.2020
Utilize Machine Learning in Selecting High Quality Averaged Sem Images From Raw Images Automatically
WO2020035285
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.02.2020
Metrology data correction using image quality metric
WO2020035516
Optik & Fototechnik
19.02.2020
Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Asymmetrie einer Mikrostruktur, Positionsmessverfahren, Positionsmessvorrichtung, Lithografievorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP2976679
Optik & Fototechnik
19.02.2020
Verfahren und Metrologievorrichtung zur Bestimmung von Geschätzter Gestreuter Strahlungsintensität
EP3611568
Optik & Fototechnik
19.02.2020
Metrologievorrichtung und Photonische Kristallfaser
EP3611569
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.02.2020
Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens und Zugehörige Vorrichtungen
EP3611570
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
19.02.2020
Piezoelektrischer Aktuator sowie Aktuatorsystem, Substratträger und Lithographievorrichtung mit dem Aktuator
EP3611770
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.02.2020
Ladungsteilchenquellenmodul
EP3610493
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.02.2020
Elektronenstrahlbelichtungssystem
EP2701178
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2020
Metrology apparatus and method for determining a characteristic of one or more structures on a substrate
WO2020025231
Optik & Fototechnik
06.02.2020
Optical Maskless
WO2020025246
Optik & Fototechnik
05.02.2020
Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft einer oder mehrerer Strukturen auf einem Substrat
EP3605230
Optik & Fototechnik
05.02.2020
Optische Maskenlose Lithographie
EP3605231
Optik & Fototechnik
30.01.2020
Substrate positioning device with remote temperature sensor
WO2020020564
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2020
Tool for modifying a support surface
WO2020020568
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
30.01.2020
Method for determining an etch profile of a layer of a wafer for a simulation system
WO2020020759
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
29.01.2020
Substratpositionierungsvorrichtung mit Temperatur-Fernsensor
EP3599632
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2020
Metrology apparatus and method for determining a characteristic relating to one or more structures on a substrate
WO2020015947
Optik & Fototechnik
23.01.2020
Particle beam inspection apparatus
WO2020016087
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.01.2020
System and method for bare wafer inspection
WO2020016262
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2020
Vorrichtung mit mehreren Ladungsträgerteilstrahlen
EP2715768
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2020
Strahlungsgitterentwurf
EP3020062
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2020
Metrologievorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Eigenschaft in Bezug auf eine oder Mehrere Strukturen auf einem Substrat
EP3598235
Optik & Fototechnik
22.01.2020
Lagervorrichtung, Magnetschwerkraftkompensator, Vibrationsisolationssystem, Lithografische Vorrichtung, Verfahren zur Steuerung eines Schwerkraftkompensators mit Negativer Steifigkeit und Feder
EP3596547
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
16.01.2020
Hidden defect detection and epe estimation based on the extracted 3d information from e-beam images
WO2020011507
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.01.2020
Utilize pattern recognition to improve sem contour measurement accuracy and stability automatically
WO2020011513
Optik & Fototechnik
16.01.2020
Sem image enhancement methods and systems
WO2020011580
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.01.2020
Pattern grouping method based on machine learning
WO2020011648
Software & Datenverarbeitung
15.01.2020
Vorbereitungseinheit für eine Lithographiemaschine
EP2399280
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2020
Ladungsträgersystem enthaltend eine Manipulatorvorrichtung zum Manipulieren eines oder mehrerer Bündel Geladener Teilchen
EP2702595
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
15.01.2020
Modul zur Schwingungsisolierung und Substratverarbeitungssystem
EP2753979
Optik & Fototechnik
15.01.2020
Verfahren zum Kennzeichnen von Substraten basierend auf Prozessparametern
EP3594749
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
15.01.2020
Verdeckte Fehlererkennung und Epe-Schätzung auf Basis der Extrahierten 3D-Informationen aus E-Beam-Bildern
EP3594750
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.01.2020
A lithographic apparatus and cooling apparatus
WO2020007533
Optik & Fototechnik
09.01.2020
Position Sensor
WO2020007558
Optik & Fototechnik
09.01.2020
Sensor apparatus and method for lithographic measurements
WO2020007588
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
02.01.2020
Method for performing a manufacturing process and associated apparatuses
WO2020001831
Optik & Fototechnik
02.01.2020
Tuning patterning apparatus based on optical characteristic
WO2020001965
Optik & Fototechnik
02.01.2020
Wavefront optimization for tuning scanner based on performance matching
WO2020002143
Optik & Fototechnik
01.01.2020
Immersionslithographievorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
EP3172624
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

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Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Elektrische Energietechnik
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67
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60
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55
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39
Metallurgie & Oberflächentechnik
35

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