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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
07.03.2019
Method for monitoring a manufacturing process
WO2019042783
Optik & Fototechnik
07.03.2019
Optical systems, metrology apparatus and associated methods
WO2019042809
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
07.03.2019
Electron beam inspection apparatus stage positioning
WO2019043204
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2019
Memory device with predetermined start-up value
WO2019045087
Optik & Fototechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung
07.03.2019
Apparatus for and method cleaning a support inside a lithography apparatus
WO2019042682
Optik & Fototechnik
06.03.2019
Lithographischer Immersionsapparat und Verfahren zum Betrieb davon
EP1528433
Optik & Fototechnik
06.03.2019
Substrat, Metrologievorrichtung und Zugehörige Verfahren für einen Lithographischen Prozess
EP3451060
Optik & Fototechnik
06.03.2019
Verfahren zur Überwachung eines Herstellungsprozesses
EP3451061
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
28.02.2019
A clear-out tool, a lithographic apparatus and a device manufacturing method
WO2019037964
Optik & Fototechnik
28.02.2019
Method of calibrating focus measurements, measurement method and metrology apparatus, lithographic system and device manufacturing method
WO2019037953
Optik & Fototechnik
28.02.2019
Method of determining a parameter of a pattern transfer process, device manufacturing method
WO2019038054
Optik & Fototechnik
28.02.2019
Receptacle for capturing material that travels on a material path
WO2019038103
Elektronik & Schaltungstechnik
27.02.2019
Verfahren zur Kalibrierung von Fokusmessungen, Messverfahren und Metrologievorrichtung, Lithographisches System und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3447580
Optik & Fototechnik
27.02.2019
Ausräumwerkzeug, Lithographische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3447581
Optik & Fototechnik
27.02.2019
Verfahren zur Anpassung von Datensätzen, Verfahren zur Planung der Wartung und Vorrichtung
EP3446262
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
27.02.2019
Verfahren und System zur Entfernung Und/oder Vermeidung von Verunreinigungen in Ladungsteilchenstrahlsystemen
EP3446325
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2019
Breitbandstrahlung durch Superkontinuumerzeugung unter Verwendung einer Konischen Optischen Faser
EP3446181
Optik & Fototechnik
21.02.2019
Optical Detector
WO2019034321
Optik & Fototechnik
21.02.2019
Method of adapting feed-forward parameters
WO2019034342
Optik & Fototechnik
21.02.2019
Alignment measurement system
WO2019034318
Optik & Fototechnik
21.02.2019
Method to determine a patterning process parameter
WO2019034409
Optik & Fototechnik
21.02.2019
Metrology method
WO2019034411
Optik & Fototechnik
20.02.2019
Optischer Detektor
EP3444675
Optik & Fototechnik
20.02.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung eines Strukturierungsverfahrensparameters
EP3444674
Optik & Fototechnik
20.02.2019
Verfahren zur Anpassung Vorwärtsgekoppelter Parameter
EP3444673
Optik & Fototechnik
20.02.2019
Metrologieverfahren, Vorrichtung und Computerprogramm
EP3444676
Optik & Fototechnik
20.02.2019
Effiziente Dunkelstromsubtraktion in einem Bildsensor
EP3404909
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
14.02.2019
Vibration isolation system and lithographic apparatus
WO2019029908
Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik
14.02.2019
Computational Metrology
WO2019029933
Optik & Fototechnik
13.02.2019
Rechnerische Metrologie
EP3441819
Optik & Fototechnik
13.02.2019
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Position eines Strahlungspunktes sowie Inspektionsvorrichtung
EP3441820
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.02.2019
A device manufacturing method and a computer program product
WO2019025142
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
07.02.2019
Systems and methods for charged particle flooding to enhance voltage contrast defect signal
WO2019025188
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2019
Verfahren zur Bestimmung der Mechanischen Eigenschaft einer auf ein Substrat Aufgetragenen Schicht, Steuerungsverfahren für eine Lithographievorrichtung und Lithographievorrichtung
EP3438749
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
06.02.2019
Vorrichtungsherstellungsverfahren und Computerprogrammprodukt
EP3438750
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
31.01.2019
Determining an Edge Roughness Parameter Of A Periodic Structure
WO2019020291
Optik & Fototechnik
31.01.2019
Metrology method and apparatus and computer program
WO2019020292
Optik & Fototechnik
31.01.2019
Particle suppression systems and methods
WO2019020443
Optik & Fototechnik
31.01.2019
Gas injection systems for particle suppression
WO2019020449
Optik & Fototechnik
31.01.2019
Particle traps and barriers for particle suppression
WO2019020445
Optik & Fototechnik

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55
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35

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