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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
03.10.2019
Mode selection for inspection
WO2019191342
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2019
Multilayer targets for calibration and alignment of x-ray based measurement systems
WO2019191335
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2019
Auto-correlation of wafer characterization data and generation of composite wafer metrics during semiconductor device fabrication
WO2019191152
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2019
Erkennung von Defekten auf einem Wafer unter Verwendung von Defektspezifischen Informationen
EP2907157
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
26.09.2019
Methods and systems for real time measurement control
WO2019183011
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2019
Sample transport device with integrated metrology
WO2019183433
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2019
Design Aided Image Reconstruction
WO2019183477
Software & Datenverarbeitung
26.09.2019
Targeted recall of semiconductor devices based on manufacturing data
WO2019183008
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2019
System and method for pumping laser sustained plasma and enhancing selected wavelengths of output illumination
WO2019182921
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2019
Semi-Supervised Anomaly Detection in Scanning Electron Microscope Images
WO2019182922
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2019
Training a machine learning model with synthetic images
WO2019183153
Software & Datenverarbeitung
26.09.2019
Nuisance mining for novel defect discovery
WO2019182923
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2019
Systeme und Verfahren zur Erhöhung der Prüfempfindlichkeit eines Prüfwerkzeugs
EP3271939
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
19.09.2019
Measurement models of nanowire semiconductor structures based on re-usable sub-structures
WO2019178424
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2019
Previous Layer Nuisance Reduction Through Oblique Illumination
WO2019178012
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2019
Defect detection, classification, and process window control using scanning electron microscope metrology
WO2019177800
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2019
Combining simulation and optical microscopy to determine inspection mode
WO2019178011
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
19.09.2019
Process-Induced Excursion Characterization
WO2019177895
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2019
Verfahren, Computersystem und Vorrichtung zur Rezepterstelljung für eine Automatisierten Inspektion von Halbleitervorrichtungen
EP2828882
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.09.2019
Konturenbasierte Arrayinspektion von Strukturierten Defekten
EP2951859
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2019
Fremdkörperschutzsystem für Reflektierende Optik unter Verwendung eines Gasstroms
EP2984907
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
12.09.2019
Detecting die Repeating Programmed Defects Located in Backgrounds With Non-Repeating Features
WO2019173746
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2019
Visualization of three-dimensional semiconductor structures
WO2019173170
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2019
Region of interest and pattern of interest generation for critical dimension measurement
WO2019173655
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2019
Inspection-Beam Shaping On A Sample Surface At an Oblique Angle Of Incidence
WO2019160781
Optik & Fototechnik
14.08.2019
Vorrichtung und Verfahren zur Synchronisierung einer Probentischbewegung mit einer Zeitverzögerungsintegrations-Ladungskopplungsvorrichtung in einem Halbleiterprüfwerkzeug
EP2839505
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2019
Verfahren zur Bestimmung einer Asymmetrischen Eigenschaft einer Struktur
EP2625487
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
14.08.2019
Messung der Lebensdauer einer Kristallstelle in einem Nichtlinearen Optischen Kristall
EP2638566
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2019
Waferinspektion
EP2652776
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2019
Optische Nahfeldmetrologie
EP3519762
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.08.2019
Position feedback for multi-beam particle detector
WO2019147872
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
01.08.2019
High-Power Short-Pass Total Internal Reflection Filter
WO2019147874
Optik & Fototechnik
01.08.2019
High-Power Short-Pass Total Internal Reflection Filter
WO2019147932
Optik & Fototechnik
25.07.2019
On the fly target acquisition
WO2019143371
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.07.2019
Method Of Eliminating Thermally Induced Beam Drift in an Electron Beam Separator
WO2019143873
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.07.2019
Metrology targets and methods with oblique periodic structures
WO2019139685
Optik & Fototechnik
17.07.2019
Geschwindigkeitsverbesserung von Chromatischer Konfokaler Metrologie
EP3510350
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
17.07.2019
Vorrichtung und Verfahren zur Korrektur von Array-Astigmatismus in einem Mehrspaltigen Rasterelektronenmikroskopiesystem
EP3510623
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.07.2019
Semiconductor metrology and defect classification using electron microscopy
WO2019136015
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.07.2019
Defect discovery using electron beam inspection and deep learning with real-time intelligence to reduce nuisance
WO2019136190
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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