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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
11.07.2019
Compensating for scanning electron microscope beam distortion-induced metrology error using design
WO2019136182
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.07.2019
Variable Resolution Spectrometer
WO2019136183
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
11.07.2019
Systems and methods for combined x-ray reflectometry and photoelectron spectroscopy
WO2019136189
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10.07.2019
System und Verfahren zur Prozessinduzierten Verzerrungsvorhersage Während der Waferabscheidung
EP3507825
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
20.06.2019
Enhancing Metrology Target Information Content
WO2019118039
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.06.2019
Measurement methodology of advanced nanostructures
WO2019113395
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2019
Verfahren und System zur Bereitstellung von Korrekturwerten für Prozessgeräte unter Verwendung eines Optimierten Abtastschemas mit Intelligenter Interpolation
EP2537180
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.06.2019
Measurement of overlay error using device inspection system
WO2019108260
Optik & Fototechnik
05.06.2019
Elektronenbombardierte Ladungsgekoppelte Vorrichtung (ebccd) und Inspektionssysteme mit Ebccd-Detektoren
EP2791961
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.05.2019
Automatic optimization of measurement accuracy through advanced machine learning techniques
WO2019099594
Software & Datenverarbeitung
22.05.2019
Differentielle Verfahren und Vorrichtung zur Metrologie von Halbleiter-Targets
EP3031073
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
16.05.2019
System and method for aligning semiconductor device reference images and test images
WO2019094310
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.05.2019
Single Cell Scatterometry Overlay Targets
WO2019089483
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.05.2019
Minimizing Field Size To Reduce Unwanted Stray Light
WO2019090006
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2019
Borhaltige Elektronenstrahlemitter mit Hoher Helligkeit zur Verwendung in einem Vakuum
EP3479392
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2019
Laser marking focus feedback system
WO2019084237
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2019
Reduction Or Elimination Of Pattern Placement Error in Metrology Measurements
WO2019083560
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2019
Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Musterplatzierung und Mustergrösse und Computerprogramm dafür
EP3475972
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.04.2019
Liquid metal rotating anode x-ray source for semiconductor metrology
WO2019079630
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2019
Swath selection for semiconductor inspection
WO2019079139
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2019
Utilizing Overlay Misregistration Error Estimations in Imaging Overlay Metrology
WO2019078901
Optik & Fototechnik
18.04.2019
Nano-Structured Non-Polarizing Beamsplitter
WO2019074774
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2019
Lens design for spectroscopic ellipsometer or reflectometer
WO2019074808
Optik & Fototechnik
18.04.2019
Optical measurement of a highly absorbing film layer over highly reflective film stacks
WO2019074861
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2019
Image sensors with grounded or otherwise biased channel-stop contacts
WO2019075152
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2019
Systems and methods for metrology beam stabilization
WO2019067331
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
04.04.2019
Detection and measurement of dimensions of asymmetric structures
WO2019067375
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.04.2019
Hermetic sealing of a nonlinear crystal for use in a laser system
WO2019067376
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.03.2019
Unified neural network for defect detection and classification
WO2019050992
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
13.03.2019
Linderung von durch Laser Herbeigeführten Schäden an Optischen Materialien durch Unterdrückung der Formation von Übergangsfarbzentren sowie zur Steuerung der Phonon-Population
EP2522056
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2019
Identifying nuisances and defects of interest in defects detected on a wafer
WO2019046428
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2019
Design Criticality Analysis Augmented Process Window Qualification Sampling
WO2019046495
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2019
Training a learning based defect classifier
WO2019046141
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2019
Improving defect location accuracy using shape based grouping guided defect centering
WO2019046665
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2019
Quick adjustment of metrology measurement parameters according to process variation
WO2019045780
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2019
Rekonfigurierbares Spektralellipsometer
EP2707696
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.03.2019
Prozessbewusste Metrologie
EP2758990
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.02.2019
Measuring thin films on grating and bandgap on grating
WO2019040515
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.02.2019
In-situ passivation of nonlinear optical crystals
WO2019040300
Optik & Fototechnik
27.02.2019
Apparat und Verfahren zur Vorhersage eines Halbleiter-Parameters über Einenwaferbereich
EP2188832
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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