KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
09.01.2020	09.01.2020 Dual-Interferometry Sample Thickness Gauge WO2020010031 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.07.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2019	26.12.2019 Correlating sem and optical images for wafer noise nuisance identification WO2019245830 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2019	26.12.2019 Process and metrology control, process indicators and root cause analysis tools based on landscape information WO2019245829 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2019	26.12.2019 Hybrid Design Layout To Identify Optical Proximity Correction-Related Systematic Defects WO2019245806 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2019	26.12.2019 Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor WO2019245999 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.12.2019	26.12.2019 Embedded particle depth binning based on multiple scattering signals WO2019245785 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.12.2019	25.12.2019 Verfahren und System zur Objektbasierten Metrologie für Erweiterte Waferoberflächen-Nanotopographie EP2663998 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.01.2012 Erteilt am 25.12.2019 Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin Lukaszyk, Szymon Kancelaria Patentowa Lukaszyk FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.12.2019	25.12.2019 Euv-Licht-Quelle mit Kryogenen Tröpfchen-Targets in der Maskeninspektion EP2951643 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.01.2014 Erteilt am 25.12.2019 Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.12.2019	19.12.2019 Integrated scanning electron microscopy and optical analysis techniques for advanced process control WO2019241054 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.12.2019	18.12.2019 Elektronenstrahlgerät mit Doppel-Linsen-Elektronenkanone und Verfahren zur Hochauflösenden Bilderzeugung mit Hohen und Niedrigen Strahlströmen EP2896062 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.09.2013 Erteilt am 18.12.2019 Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.12.2019	18.12.2019 Facettenspiegelvorrichtung zur Bildgebung und Verfahren zur Verwendung davon EP2972226 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.03.2014 Erteilt am 18.12.2019 Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.12.2019	18.12.2019 Cw-Duv-Laser mit Verbesserter Stabilität EP3008779 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.06.2014 Erteilt am 18.12.2019 Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2019	12.12.2019 Overlay measurement using phase and amplitude modeling WO2019236084 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2019	12.12.2019 Active learning for defect classifier training WO2019236506 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2019	12.12.2019 Cross layer common-unique analysis for nuisance filtering WO2019236624 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2019	12.12.2019 High Resolution Electron Energy Analyzer WO2019236610 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2019	12.12.2019 In-situ temperature sensing substrate, system, and method WO2019236507 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.12.2019	12.12.2019 Neutral atom imaging system WO2019236927 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.06.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.12.2019	11.12.2019 Prozessstabile Überlagerungsmetrologie auf Basis Optischer Scatterometrie EP3577444 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.03.2018 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2019	05.12.2019 Charge control device for a system with multiple electron beams WO2019231866 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2019	05.12.2019 Space Charge Insensitive Electron Gun Designs WO2019231868 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.12.2019	05.12.2019 System and method for pumping laser sustained plasma with a frequency converted illumination source WO2019232089 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2019	28.11.2019 Performance monitoring of design-based alignment WO2019226579 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2019	28.11.2019 Reflection-mode electron-beam inspection using ptychographic imaging WO2019226578 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.11.2019	28.11.2019 Target selection improvements for better design alignment WO2019226322 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.11.2019	27.11.2019 Euv-Prüfsystem mit Hohem Durchlauf zur Fehlererkennung auf Strukturierten Euv-Masken, Maskenrohlinge und Wafer EP2443440 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.06.2010 Erteilt am 27.11.2019 Vertretung Lukaszyk, Szymon Kancelaria Patentowa Lukaszyk FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.11.2019	21.11.2019 Phase Filter For Enhanced Defect Detection in Multilayer Structure WO2019221938 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2019	14.11.2019 Creating defect samples for array regions WO2019217123 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2019	14.11.2019 Capture of repeater defects on a semiconductor wafer WO2019217604 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.11.2019	14.11.2019 Capture of repeater defects on a semiconductor wafer WO2019217224 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.05.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.11.2019	06.11.2019 Verfahren zur Prüfung einer Probe mit verschiedenen Prüfparametern EP2256487 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.09.2004 Erteilt am 06.11.2019 Vertretung Lukaszyk, Szymon Kancelaria Patentowa Lukaszyk Lohr, Georg · Puchheim FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.11.2019	06.11.2019 Halbleitermetrologiesysteme mit mehreren Einfallswinkeln und Verfahren EP3047520 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.09.2014 Erteilt am 06.11.2019 Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2019	31.10.2019 Multi-spot analysis system with multiple optical probes WO2019209550 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.10.2019	31.10.2019 Process-Induced Displacement Characterization During Semiconductor Production WO2019209384 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2018 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.10.2019	30.10.2019 Vorrichtung und Verfahren zur Retikelhandhabung in einem Euv-Retikelinspektionswerkzeug EP2831673 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.03.2013 Erteilt am 30.10.2019 Vertretung Keane, Paul Fachtna · Dublin FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.10.2019	30.10.2019 Rückbeleuchteter Sensor mit Borschicht EP3236501 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2013 Erteilt am 30.10.2019 Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.10.2019	17.10.2019 Shape metric based scoring of wafer locations WO2019199617 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.04.2019 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2019	16.10.2019 Verfahren und System zur Aberrationskorrektur in einem Elektronenstrahlsystem EP3552222 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2017 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.10.2019	16.10.2019 System und Verfahren zur Messung der Substrat- und Schichtdickenverteilung EP3551964 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.02.2018 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.10.2019	09.10.2019 Reduzierte Coulomb-Interaktionen in einer Mehrstrahlensäule EP3549154 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.01.2018 Anhängig Vertretung FRKelly · Dublin Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen