KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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15.05.2014
Film thickness, refractive index, and extinction coefficient determination for film curve creation and defect sizing in real time
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.11.2013
Anhängig
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15.05.2014
Method and system for providing a target design displaying high sensitivity to scanner focus change
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2013
Anhängig
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15.05.2014
Reducing Algorithmic Inaccuracy in Scatterometry Overlay Metrology
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2013
Anhängig
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15.05.2014
System and method for detecting cracks in a wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.11.2013
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14.05.2014
Winkelspektroskopellipsometrie für Mehrere Analysegeräte
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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08.05.2014
Illumination Energy Management in Surface Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 29.10.2013
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08.05.2014
Automated interface apparatus and method for use in semiconductor wafer handling systems
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.10.2013
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07.05.2014
Hintergrundreduzierungssystem mit einer Jalousie
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.05.2014
Metrology systems and methods for high aspect ratio and large lateral dimension structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.10.2013
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01.05.2014
Sample inspection system detector
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.10.2013
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24.04.2014
Symmetric Target Design in Scatterometry Overlay Metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2013
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23.04.2014
Spektrometer auf Waferebene
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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17.04.2014
System and method to emulate finite element model based prediction of in-plane distortions due to semiconductor wafer chucking
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 11.10.2013
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16.04.2014
Verwendung Dreidimensionaler Darstellungen für Störungsbehebungsanwendungen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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10.04.2014
System and method for compressed data transmission in a maskless lithography system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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Status
Angemeldet am 01.10.2013
Anhängig
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10.04.2014
System and method for determining size and location of minimum beam spot
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 02.10.2013
Anhängig
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03.04.2014
Particle control near reticle and optics using showerhead
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2013
Anhängig
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03.04.2014
Particle and chemical control using tunnel flow
Verfahrens- & Trenntechnik
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Angemeldet am 26.09.2013
Anhängig
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27.03.2014
Model-based registration and critical dimension metrology
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 24.09.2013
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20.03.2014
Solid state illumination source and inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 10.09.2013
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20.03.2014
Selecting parameters for defect detection methods
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 09.09.2013
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20.03.2014
Apparatus and method for shielding a controlled pressure environment
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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Status
Angemeldet am 11.09.2013
Anhängig
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19.03.2014
Hitzeschildmodul für eine Metrologievorrichtung mit einem Substrat
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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13.03.2014
Device correlated metrology (dcm) for ovl with embedded sem structure overlay targets
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.09.2013
Anhängig
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13.03.2014
Monitoring Incident Beam Position in A Wafer Inspection System
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.09.2013
Anhängig
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13.03.2014
Method for estimating and correcting misregistration target inaccuracy
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 05.09.2013
Anhängig
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06.03.2014
Object carrier, system and method for back light inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 26.08.2013
Anhängig
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06.03.2014
Wave front aberration metrology of optics of euv mask inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2013
Anhängig
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06.03.2014
Image intensifier tube design for aberration correction and ion damage reduction
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.08.2013
Anhängig
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06.03.2014
Multi directional illumination for a microscope and microscope
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 28.08.2013
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20.02.2014
Optical Characterization Systems Employing Compact Synchrotron Radiation Sources
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.08.2013
Anhängig
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06.02.2014
Method and apparatus to fold optics in tools for measuring shape and/or thickness of a large and thin substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.07.2013
Anhängig
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16.01.2014
Apparatus and method for in-tray and bottom inspection of semiconductor devices
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 03.07.2013
Anhängig
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16.01.2014
Model building and analysis engine for combined x-ray and optical metrology
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 08.07.2013
Anhängig
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16.01.2014
Reducing the spectral bandwidth of lasers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.07.2013
Anhängig
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16.01.2014
Apparatus and method for cross-flow purge for optical components in a chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 08.07.2013
Anhängig
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08.01.2014
Genaues und Schnelles Training eines Neuronalen Netzwerks für Bibliotheksbasierte Metrologie mit Kritischer Dimension
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 28.02.2012
Anhängig
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
Manley, Nicholas Michael · Liverpool
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03.01.2014
Diode laser based broad band light sources for wafer inspection tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2013
Anhängig
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03.01.2014
Device-Like Scatterometry Overlay Targets
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2013
Anhängig
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03.01.2014
Laser sustained plasma light source with electrically induced gas flow
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.06.2013
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7