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KLA Corporation Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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1.908 gesamt
Patent
31.07.2014
Methods of attaching a module on wafer substrate
WO2014116925
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2014
Festkörperlaser und Überprüfungssystem mit 193NM-Laser
EP2759027
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2014
Charge drain coating for electron-optical mems
WO2014113720
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2014
Lineare Stufe für Reflektierende Elektronenstrahl-Lithographie
EP2754173
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2014
Lasererzeugte Euv-Plasmaquelle mit Reduzierter Rückstanderzeugung
EP2754213
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
16.07.2014
Passive Positionskompensation einer Spindel, Plattform oder Komponente unter Wärmebelastung
EP2754171
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
10.07.2014
Detecting Defects On A Wafer
WO2014107522
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2014
Determining a position of inspection system output in design data space
WO2014107667
Software & Datenverarbeitung
10.07.2014
High Temperature Sensor Wafer For In-Situ Measurements in Active Plasma
WO2014107665
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2014
Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung und Korrektur Problematischer Forgeschrittener Prozesssteuerungsparameter
EP2751832
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2014
Flexible Optical Aperture Mechanisms
WO2014099939
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2014
Adaptable illuminating apparatus, system, and method for extreme ultra-violet light
WO2014100644
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2014
Apparatus, system, and method for separating gases and mitigating debris in a controlled pressure environment
WO2014099975
Elektrische Energietechnik
26.06.2014
Spectral control system
WO2014099959
Optik & Fototechnik
26.06.2014
Integrated use of model-based metrology and a process model
WO2014100037
Software & Datenverarbeitung
26.06.2014
Generating an Array Of Spots On Inclined Surfaces
WO2014100480
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
26.06.2014
Two dimensional optical detector with multiple shift registers
WO2014100023
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2014
Überlagerungsmetrologie durch Pupillenphasenanalyse
EP2745313
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2014
Nachweis von Grossen Partikeln für Multispot- Oberflächenabtastungsinspektionssysteme
EP2745312
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Apparatus and method for optical inspection, magnetic field and height mapping
WO2014093730
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.06.2014
Method and device using photoelectrons for in-situ beam power and stability monitoring in euv systems
WO2014093636
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
19.06.2014
Optical component with blocking surface and method thereof
WO2014093355
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.06.2014
Carbon as grazing incidence euv mirror and spectral purity filter
WO2014093728
Optik & Fototechnik
19.06.2014
Verfahren und Vorrichtung zur Schnellen Erfassung von Bewegten Bildern Mithilfe von Gepulster Belichtung
WO2014093341
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
19.06.2014
Delta die Intensity Map Measurement
WO2014093732
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2014
Tilt-Imaging Scanning Electron Microscope
WO2014085406
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2014
Resonant cavity conditioning for improved nonlinear crystal performance
WO2014085339
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2014
Methods and apparatus for measurement of relative critical dimensions
WO2014085343
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2014
Methods of using polished silicon wafer strips for euv homogenizer
WO2014085442
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
05.06.2014
Apodization for pupil imaging scatterometry
WO2014085338
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2014
In-Situ Metrology
WO2014081909
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2014
Inspection beam shaping for improved detection sensitivity
WO2014081896
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2014
Process compatible segmented targets and design methods
WO2014081913
Software & Datenverarbeitung
30.05.2014
Apparatus and methods for detecting defects in vertical memory
WO2014081902
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2014
Multi-spectral defect inspection for 3d wafers
WO2014081899
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2014
Method and system for universal target based inspection and metrology
WO2014081897
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2014
Analytic continuations to the continuum limit in numerical simulations of wafer response
WO2014074416
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2014
Apparatus and method for optical metrology with optimized system parameters
WO2014074813
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2014
Metrology Target Characterization
WO2014074893
Software & Datenverarbeitung
15.05.2014
Phase grating for mask inspection system
WO2014074904
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7

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