KLA Corporation Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
24
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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1.908 gesamt| Patent | |||
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03.01.2014
Flexible Coupling
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Angemeldet am 26.06.2013
Anhängig
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01.01.2014
Risikobewertung einer Vorrichtung auf Entwurfsbasis
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Angemeldet am 20.02.2012
Anhängig
Vertretung
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27.12.2013
Laser Crystal Degradation Compensation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.06.2013
Anhängig
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19.12.2013
Optical surface scanning systems and methods
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 12.06.2013
Anhängig
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19.12.2013
Auger Elemental Identification Algorithm
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 12.06.2013
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18.12.2013
Bibliothek für Metrologie mit Breitem Prozessbereich
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.02.2012
Anhängig
Vertretung
Keane, Paul Fachtna · Dublin
Manley, Nicholas Michael · Liverpool
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12.12.2013
Focus monitoring method using asymmetry embedded imaging target
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.06.2013
Anhängig
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05.12.2013
Super resolution inspection system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.05.2013
Anhängig
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05.12.2013
Small Spot Size Spectroscopic Ellipsometer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.05.2013
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05.12.2013
Photomultiplier tube with extended dynamic range
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2013
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28.11.2013
Design alteration for wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 20.05.2013
Anhängig
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28.11.2013
Photoemission monitoring of euv mirror and mask surface contamination in actinic euv systems
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.05.2013
Anhängig
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28.11.2013
Überlagerungsziele mit Orthogonaler Unterschicht- Dummy-Füllung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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20.11.2013
Vorrichtung zur Euv-Bildgebung und Verfahren zu Ihrer Verwendung
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 06.01.2012
Anhängig
Vertretung
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14.11.2013
Metrology tool with combined x-ray and optical scatterometers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.05.2013
Anhängig
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14.11.2013
Measurement recipe optimization based on spectral sensitivity and process variation
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.05.2013
Anhängig
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14.11.2013
Measurement model optimization based on parameter variations across a wafer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.05.2013
Anhängig
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14.11.2013
Variable spacing four-point probe pin device and method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 07.05.2013
Anhängig
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13.11.2013
Verfahren und Systeme für Verbesserte Lokalisierte Merkmalsquantifizierung in Oberflächenmetrologiewerkzeugen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.01.2012
Anhängig
Vertretung
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07.11.2013
Efficient Material Handling in Semiconductor Wafer Processing
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.05.2013
Anhängig
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24.10.2013
Critical dimension uniformity monitoring for extreme ultra-violet reticles
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.04.2013
Anhängig
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17.10.2013
Multiplexing Euv Sources in Reticle Inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.04.2013
Anhängig
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17.10.2013
Variable Polarization Wafer Inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.04.2013
Anhängig
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17.10.2013
Advanced debris mitigation of euv light source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.04.2013
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17.10.2013
Indexing Optics For an Actinic Extreme Ultra-Violet (euv) Reticle Inspection Tool
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 12.04.2013
Anhängig
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17.10.2013
Smart memory alloys for an inspection, metrology, review or formation apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 12.04.2013
Anhängig
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10.10.2013
Protective fluorine-doped silicon oxide film for optical components
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.04.2013
Anhängig
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26.09.2013
Illumination system with time multiplexed sources for reticle inspection
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.03.2013
Anhängig
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26.09.2013
Laser with integrated multi line or scanning beam capability
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.03.2013
Anhängig
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26.09.2013
Pillar-supported array of micro electron lenses
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.03.2013
Anhängig
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19.09.2013
Calibration of an optical metrology system for critical dimension application matching
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 12.03.2013
Anhängig
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19.09.2013
System and method for particle control near a reticle
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 12.03.2013
Anhängig
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12.09.2013
Wafer inspection with multi-spot illumination and multiple channels
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.03.2013
Anhängig
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12.09.2013
Imaging overlay metrology target and complimentary overlay metrology measurement system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2013
Anhängig
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06.09.2013
Variable pressure four-point coated probe pin device and method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 28.02.2013
Anhängig
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15.08.2013
System and method for apodization in a semiconductor device inspection system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.02.2013
Anhängig
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15.08.2013
Extended defect sizing range for wafer inspection
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 01.02.2013
Anhängig
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25.07.2013
Segmentation for wafer inspection
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 17.01.2013
Anhängig
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25.07.2013
Apparatus and method of measuring roughness and other parameters of a structure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 17.01.2013
Anhängig
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25.07.2013
Generating a wafer inspection process using bit failures and virtual inspection
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.01.2013
Anhängig
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Wer vertritt KLA Corporation?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die KLA Corporation vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
1.175
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
824
Optik & Fototechnik
468
Software & Datenverarbeitung
295
Elektronik & Schaltungstechnik
47
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
23
Steuerungs- & Regelungstechnik
20
Metallurgie & Oberflächentechnik
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
10
Maschinenelemente & Fluidtechnik
7