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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
26.12.2025
Etching of a bottle-shaped feature
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Rotational indexers with wafer centering capability
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Molybdenum Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.12.2025
Systems and methods for recovering rf energy using modular resonant circuits
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2025
Fluidic disconnect for semiconductor processing
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.12.2025
Hybrid plasma chamber with split top electrode to reduce ion tilting and plasma non-uniformity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2025
C-Mantel-Modifikation für Plasmagleichförmigkeit ohne Auswirkung auf die Mechanische Festigkeit oder Lebensdauer des C-Mantel-Körpers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Systems and methods for creating an iedf using a non-sinusoidal generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Cyclic Directional/isotropic Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.12.2025
Conversion of organometal films using oxidants for beol metallization
Metallurgie & Oberflächentechnik
11.12.2025
Multizone showerhead for semiconductor processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Process Navigator For Doe Results Checking in Virtual Fabrication Platform
Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung
04.12.2025
Passivation for selective etching semiconductor materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Provision of rf signals to a multi-station fabrication chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.12.2025
Coating surfaces within a pumping path of a processing tool
Metallurgie & Oberflächentechnik
04.12.2025
Dual backside gas supply system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Etch and deposition of substrate bevel edge region by tuning gas introduction via pez rings
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Pulsed dc systems and methods for controlling etch rate using an lc circuit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Reacting radical species with undeposited film precursor
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Utilizing infrared data for control of fabrication processes
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Durable backside layer of a semiconductor substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
27.11.2025
An Assembly For A Semiconductor Processing Chamber With an Aluminum Nitride Containing Gasket
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Cryogenic etch using acid forming gas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Selective etch of stack using a nitrogen and fluorine containing gas
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Metallization precursors and onboard combinatorial chemical synthesis
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2025
Cooling sleeve for processing tool valve
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
20.11.2025
Showerhead for supplying metastable activated radicals
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Confinement ring with tapered bottom slots and side slots
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Thermal interface material for substrate processing systems
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.11.2025
Carbon film deposition using plasma power modulation
Metallurgie & Oberflächentechnik
20.11.2025
Monitoring and detection of transient phenomena
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Passivation for etching of semiconductor materials with seam-like defects
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Monitoring Substrate Properties By Transmitting Laser Light Through A Ceramic Layer Of an Electrostatic Chuck
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2025
Voltage control for semiconductor fabrication equipment
Elektrische Energietechnik
06.11.2025
Mold stack for high aspect ratio plasma etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Temperature control of substrate processing chamber plates using pwm to analog converters and proportional valves
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.11.2025
Methods and apparatus for distortion and bow compensation
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Semiconductor processing techniques configured for use of a flexible and malleable temperature probe
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2025
Methods To Enhance Glass Substrate Handling in Semiconductor Processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2025
Remote Plasma-Based Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik

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