Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.725 gesamt| Patent | |||
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12.11.2020
Voltage and current probe
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.04.2020
Anhängig
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12.11.2020
Closed-Loop Multiple-Output Radio Frequency (rf) Matching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.04.2020
Anhängig
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12.11.2020
Electrostatic chuck system
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.05.2020
Anhängig
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05.11.2020
Modulated Atomic Layer Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.07.2019
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05.11.2020
Protection of seed layers during electrodeposition of metals in semiconductor device manufacturing
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.04.2020
Anhängig
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05.11.2020
Atomic layer etching for subtractive metal etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.04.2020
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05.11.2020
Systems and methods for multi-level pulsing in rf plasma tools
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 24.04.2020
Anhängig
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05.11.2020
Atomic layer etch and selective deposition process for extreme ultraviolet lithography resist improvement
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2020
Anhängig
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05.11.2020
Dual-Frequency, Direct-Drive Inductively Coupled Plasma Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.04.2020
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29.10.2020
Electrostatic chuck with spatially tunable rf coupling to a wafer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 14.04.2020
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29.10.2020
High Temperature Heating Of A Substrate in A Processing Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 21.04.2020
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22.10.2020
Rapid Flush Purging During Atomic Layer Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.04.2020
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22.10.2020
High Density, Controlled Integrated Circuits Factory
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.04.2020
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22.10.2020
Foreline assembly for quad station process module
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2020
Anhängig
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22.10.2020
Modular-component system for gas delivery
Maschinenelemente & Fluidtechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.04.2020
Anhängig
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22.10.2020
Early warning systems and methods for determining capacitor failures
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.04.2020
Anhängig
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22.10.2020
Surface Coating Treatment
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.04.2020
Anhängig
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15.10.2020
High Step Coverage Tungsten Deposition
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.04.2020
Anhängig
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15.10.2020
Cooling for a plasma-based reactor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 07.04.2020
Anhängig
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08.10.2020
Wafer Placement Correction in Indexed Multi-Station Processing Chambers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.03.2020
Anhängig
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08.10.2020
Model-based scheduling for substrate processing systems
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Angemeldet am 24.03.2020
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01.10.2020
Method for providing doped silicon
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.03.2020
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01.10.2020
High Etch Selectivity, Low Stress Ashable Carbon Hard Mask
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2020
Anhängig
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01.10.2020
Showerhead Shroud
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.03.2020
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01.10.2020
Process Cooling-Water Isolation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.03.2020
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01.10.2020
Etch Stop Layer
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.03.2020
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30.09.2020
Verstärkter Bolzen zur Verwendung in einem Drehfutter und Drehfutter mit einem Solchen Verstärkten Bolzen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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24.09.2020
Carbon based depositions used for critical dimension control during high aspect ratio feature etches and for forming protective layers
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2020
Anhängig
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24.09.2020
Rapid tuning of critical dimension non-uniformity by modulating temperature transients of multi-zone substrate supports
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2020
Anhängig
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24.09.2020
Turbomolecular pump and cathode assembly for etching reactor
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2020
Anhängig
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24.09.2020
Friction Stir Welding in Semiconductor Manufacturing Applications
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.03.2020
Anhängig
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24.09.2020
Reducing roughness of extreme ultraviolet lithography resists
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 17.03.2020
Anhängig
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17.09.2020
Electrostatic Chuck Heater Resistance Measurement To Approximate Temperature
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2020
Anhängig
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17.09.2020
Precursors for deposition of molybdenum-containing films
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.03.2020
Anhängig
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17.09.2020
Plasma etch tool for high aspect ratio etching
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.03.2020
Anhängig
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17.09.2020
Chuck for plasma processing chamber
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 04.03.2020
Anhängig
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17.09.2020
Apparatus for cleaning plasma chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 06.03.2020
Anhängig
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17.09.2020
Selective silicon dioxide removal using low pressure low bias deuterium plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 12.03.2020
Anhängig
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17.09.2020
Multi-station semiconductor processing with independently adjustable pedestals
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.03.2020
Anhängig
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17.09.2020
Lamellar Ceramic Structure
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 12.03.2020
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31