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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
28.01.2021
In Situ Real-Time Sensing And Compensation Of Non-Uniformities in Substrate Processing Systems
WO2021016223
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2021
Modulation of oxidation profile for substrate processing
WO2021011950
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2021
Thermoelectric cooling pedestal for substrate processing systems
WO2021011288
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2021
Sealing interface to adjust radial and angular offset
WO2021007076
Maschinenelemente & Fluidtechnik
07.01.2021
Method for etching features using a targeted deposition for selective passivation
WO2021003224
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Deposition of self assembled monolayer for enabling selective deposition and etch
WO2020264170
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Temperature control of a multi-zone pedestal
WO2020263719
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Alternating etch and passivation process
WO2020263757
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Processing tool capable for forming carbon layers on substrates
WO2020264133
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Byproduct Removal From Electroplating Solutions
WO2020263795
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.12.2020
Vapor cleaning of substrate surfaces
WO2020263766
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Chamber-Accumulation Extension Via In-Situ Passivation
WO2020264054
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.12.2020
Selective Carbon Deposition
WO2020263718
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2020
Electrodeposition of cobalt tungsten films
WO2020263837
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.12.2020
Systems and methods for compensating for rf power loss
WO2020256899
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2020
Bidirectional indexing apparatus
WO2020257311
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik
24.12.2020
Use of vacuum during transfer of substrates
WO2020257147
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2020
Use of rotation to correct for azimuthal non-uniformities in semiconductor substrate processing
WO2020257141
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2020
Coated O-Ring For Protecting an Electro- Static Chuck in A Plasma Processing Chamber
WO2020251809
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2020
Power And Data Transmission To Substrate Support in Plasma Chambers Via Optical Fiber
WO2020251876
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation
17.12.2020
Sealant coating for plasma processing chamber components
WO2020252020
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2020
Polymerization Protective Liner For Reactive Ion Etch in Patterning
WO2020247977
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2020
Variable inductor device
WO2020247135
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2020
Systems and methods for tuning a mhz rf generator within a cycle of operation of a khz rf generator
WO2020247138
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2020
Automated transfer of edge ring requiring rotational alignment
WO2020247146
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2020
Independently Adjustable Flowpath Conductance in Multi-Station Semiconductor Processing
WO2020247966
Metallurgie & Oberflächentechnik
10.12.2020
In-situ control of film properties during atomic layer deposition
WO2020247548
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2020
High selectivity, low stress, and low hydrogen diamond-like carbon hardmasks by high power pulsed low frequency rf
WO2020243342
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2020
Electrochemical deposition system including optical probes
WO2020242838
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.12.2020
Showerhead insert for uniformity tuning
WO2020242710
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2020
Rf immune sensor probe for monitoring a temperature of an electrostatic chuck of a substrate processing system
WO2020243377
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2020
Chamber component cleanliness measurement system
WO2020236803
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
26.11.2020
Vapor accumulator for corrosive gases with purging
WO2020236844
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2020
Cooling of air actuated valve using actuating air
WO2020236504
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2020
Nucleation-Free Tungsten Deposition
WO2020236749
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.11.2020
Substrate sticking and breakage mitigation
WO2020236497
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2020
Automated process module ring positioning and replacement
WO2020231611
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2020
Method and system for automated frequency tuning of radiofrequency (rf) signal generator for multi-level rf power pulsing
WO2020231881
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2020
Extreme ultraviolet (euv) lithography using an intervening layer or a multi-layer stack with varying mean free paths for secondary electron generation
WO2020232329
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.11.2020
Filter box for a substrate processing system
WO2020227252
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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118
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116
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105
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50
Elektrische Energietechnik
44
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42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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