Lam Research Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.725 gesamt| Patent | |||
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10.09.2020
Surface coating for aluminum plasma processing chamber components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2020
Anhängig
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10.09.2020
Laminated aerosol deposition coating for aluminum components for plasma processing chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.03.2020
Anhängig
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10.09.2020
Fixture for automatic calibration of substrate transfer robot
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 27.02.2020
Anhängig
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10.09.2020
Measurement system to measure a thickness of an adjustable edge ring for a substrate processing system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 28.02.2020
Anhängig
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10.09.2020
Integrated Tool Lift
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.02.2020
Anhängig
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03.09.2020
Semiconductor mask reshaping using a sacrificial layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.02.2020
Anhängig
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03.09.2020
Ion beam etching with sidewall cleaning
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.02.2020
Anhängig
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02.09.2020
Systeme und Verfahren zur Verhinderung der Haftreibung von Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis Und/oder zur Reparatur von Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.10.2018
Anhängig
Vertretung
Kontrus, Gerhard · Villach
Mewburn Ellis LLP · München
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27.08.2020
Electrostatic chuck with powder coating
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 14.02.2020
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27.08.2020
Photoresists for making euv patternable hard masks
Kunststoff- & Polymertechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.02.2020
Anhängig
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20.08.2020
Anomalous Plasma Event Detection And Mitigation in Semiconductor Processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.02.2020
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20.08.2020
Gold Through Silicon Mask Plating
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.02.2020
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20.08.2020
Electrostatic chuck with ceramic monolithic body
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 27.01.2020
Anhängig
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20.08.2020
Data capture and transformation to support data analysis and machine learning for substrate manufacturing systems
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 11.02.2020
Anhängig
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20.08.2020
Trim and deposition profile control with multi-zone heated substrate support for multi-patterning processes
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.02.2020
Anhängig
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20.08.2020
Selective etch using a sacrificial mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.02.2020
Anhängig
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20.08.2020
Tungsten feature fill with inhibition control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.02.2020
Anhängig
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13.08.2020
Pedestals For Modulating Film Properties in Atomic Layer Deposition (ald) Substrate Processing Chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 30.01.2020
Anhängig
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13.08.2020
Plasma resistant component for a plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2020
Anhängig
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13.08.2020
Substrate processing tool capable of modulating one or more plasma temporally and/or spatially
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2020
Anhängig
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13.08.2020
Textured Silicon Semiconductor Processing Chamber Components
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.02.2020
Anhängig
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13.08.2020
Substrate location detection and adjustment
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.02.2020
Anhängig
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06.08.2020
Multi-channel liquid delivery system for advanced semiconductor applications
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2020
Anhängig
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06.08.2020
Low stress films for advanced semiconductor applications
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.01.2020
Anhängig
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06.08.2020
Showerhead with configurable gas outlets
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 15.01.2020
Anhängig
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06.08.2020
Ion beam etching with gas treatment and pulsing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2020
Anhängig
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06.08.2020
Sacrificial protection layer for environmentally sensitive surfaces of substrates
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2020
Anhängig
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06.08.2020
Cooling system for processing chamber
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.01.2020
Anhängig
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06.08.2020
Fill process optimization using feature scale modeling
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.01.2020
Anhängig
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06.08.2020
Showerhead for deposition tools having multiple plenums and gas distribution chambers
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.01.2020
Anhängig
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06.08.2020
Deposition of metal films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.01.2020
Anhängig
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30.07.2020
Differential-Pressure-Based Flow Meters
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 17.01.2020
Anhängig
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30.07.2020
Substrate processing system including dual ion filter for downstream plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.01.2020
Anhängig
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30.07.2020
Coil and window for plasma processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.01.2020
Anhängig
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30.07.2020
Resistive random access memory with preformed filaments
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.01.2020
Anhängig
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30.07.2020
Integrated Wafer Bow Measurements
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.01.2020
Anhängig
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23.07.2020
Metal atomic layer etch and deposition apparatuses and processes with metal-free ligands
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.01.2020
Anhängig
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16.07.2020
Fibonacci coil for plasma processing chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.01.2020
Anhängig
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16.07.2020
In-situ clean of turbo molecular pump
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.01.2020
Anhängig
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16.07.2020
Defect classification and source analysis for semiconductor equipment
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 10.01.2020
Anhängig
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Wer vertritt Lam Research?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Lam Research vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.172
Metallurgie & Oberflächentechnik
774
Elektronik & Schaltungstechnik
177
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
Verfahrens- & Trenntechnik
105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31