Pfeiffer Vacuum Patente

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Vakuumgerät, insbesondere Vakuumpumpe, Vakuummessgerät, Lecksuch- und/oder Vakuumkammergerät, mit zumindest einer Gerätekomponente und mit einer elektronischen Vorrichtung, insbesondere zur Gerätesteuerung und/oder - regelung, wobei die elektronische Vorrichtung eine Mehrzahl von Konfigurationsparametern zur Festlegung einer Gerätebetriebskonfiguration aufweist und wobei zumindest einer der Konfigurationsparameter durch Anschließen der elektronischen Vorrichtung an eine Schnittstelle der Gerätekomponente selbsttätig festlegbar und zumindest ein weiterer Konfigurationsparameter durch benutzerseitige Eingabe an der elektronischen Vorrichtung auswählbar ist.

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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Vakuumgeräts, insbesondere eines Vakuumpumpsystems, wobei das Vakuumgerät eine Steuereinheit mit einem Anschluss für eine Zubehöreinheit aufweist, wobei das Verfahren zumindest folgende Schritte aufweist: Ausgeben einer Nachricht über den Anschluss gemäß einem vorgegebenen Kommunikationsprotokoll; Ermitteln, ob über den Anschluss eine Antwort auf die Nachricht empfangen wird; falls ermittelt wird, dass eine Antwort auf die Nachricht nicht empfangen wird, Ermitteln, ob ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist; und falls ermittelt wird, dass ein elektrischer Widerstand an den Anschluss angeschlossen ist, Erkennen und/oder Ansteuern der Zubehöreinheit basierend auf dem angeschlossenen elektrischen Widerstand.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit wenigstens einem Pumpeneinlass und wenigstens einem Pumpenauslass, mit Rotorelementen, die an einer Rotorwelle angeordnet sind, und mit Statorelementen, die an einem Gehäuse oder an einem fest mit dem Gehäuse verbundenen Bauteil angeordnet sind, wobei sich Rotor- und Statorelemente gegenüberstehen bzw. benachbart sind und wobei wenigstens zwei Lager zur Lagerung der Rotorwelle vorgesehen sind, von welchen Lagern ein erstes Lager einem Hochvakuumbereich, insbesondere dem wenigstens einen Pumpeneinlass, zugeordnet ist und ein zweites Lager einem Vorvakuumbereich, insbesondere dem wenigstens einen Pumpenauslass, zugeordnet ist, wobei das Lager, welches dem Hochvakuumbereich zugeordnet ist, ein schmiermittelfreies Lager, insbesondere ein Permanentmagnetlager, ist und das Lager, welches dem Vorvakuumbereich zugeordnet ist, ein Wälzlager ist, wobei das Wälzlager einen Außenring und einen Innenring aufweist und zwischen dem Außenring und dem Innenring Wälzkörper angeordnet sind, gekennzeichnet durch eine Lagervorrichtung mit einer Lagerkassette zur Lagerung des Wälzlagers, wobei die Lagerkassette wenigstens teilweise ein Kunststoffmaterial aufweist und einen Aufnahmeabschnitt zur Aufnahme des Außenrings des Wälzlagers und einen Befestigungsabschnitt zur Befestigung der Lagerkassette an dem Gehäuse oder an einem mit dem Gehäuse fest verbundenen Bauteil umfasst.

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Herstellungsverfahren und Scrollpumpe (20) umfassend ein bewegliches, zum Erzeugen einer Pumpwirkung exzentrisch erregbares Spiralbauteil (30), wobei das Spiralbauteil (30) eine Grundplatte (66) und eine sich ausgehend von der Grundplatte (66) erstreckende Spiralwand (28) aufweist, wobei außen an der Grundplatte (66) wenigstens zwei über den Umfang der Grundplatte (66) beabstandete Haltevorsprünge (68) derart vorgesehen sind, dass während der Herstellung der Scrollpumpe (20) die Backen eines Backenfutters (78) an den Haltevorsprüngen (68) angreifen können, um das Spiralbauteil (30) einzuspannen.

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<div notation="docdba" type="abstract" xml:lang="de"><p>Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät, insbesondere Vakuumpumpe, mit einem ersten Bauteil, einem zweiten Bauteil und einer Einrichtung zum Verbinden des ersten und des zweiten Bauteils, wobei die Einrichtung zumindest ein am ersten Bauteil ausgebildetes Steckelement und wenigstens eine am zweiten Bauteil ausgebildete Aufnahme mit einer Aufnahmeöffnung für das Steckelement umfasst, und wobei das Steckelement und die Aufnahme derart ausgebildet sind, dass durch Einstecken des Steckelements in die Aufnahme eine Klemmverbindung zwischen den beiden Bauteilen herstellbar ist.</p></div>

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Die Erfindung betrifft einen Adapter zur elektrischen und/oder informationstechnischen Verbindung eines Vakuumgeräts mit einem Funktionselement für das Vakuumgerät, wobei der Adapter umfasst: ein Basiselement, einen ersten und einen zweiten Primärsteckverbinder jeweils zum Anschluss an eines von Vakuumgerät und Funktionselement, wobei die Primärsteckverbinder miteinander verbunden sind, und ein vom Basiselement separates Modul, welches den ersten Primärsteckverbinder aufweist und am Basiselement befestigt ist, wobei am Basiselement und am Modul jeweils ein Zwischenverbinder vorgesehen ist, die gemeinsam eine Zwischenverbindung bilden, über die der erste Primärsteckverbinder mit dem zweiten Primärsteckverbinder verbunden ist.

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Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät, insbesondere Vakuumpumpe, mit einer elektrisch betreibbaren Funktionseinheit, die zumindest teilweise in einem Vakuumbereich des Vakuumgerätes angeordnet und mit zumindest einem elektrischen Leiter verbunden ist, der an einem Austrittsbereich aus der Funktionseinheit austritt und in einen gegenüber dem Vakuumbereich abgedichteten Druckbereich führt, wobei der Austrittsbereich innerhalb des Druckbereiches gelegen ist.

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Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe umfassend: einen Rotor mit einer Mehrzahl von über seinen Umfang verteilt angeordneten Rotorschaufeln, der zu einer Rotation um eine Rotationsachse antreibbar ist, um eine Pumpwirkung zu erzeugen, und wenigstens eine Statorscheibe, welche eine Mehrzahl von über ihren Umfang verteilt angeordneten Statorschaufeln aufweist und mit welcher der Rotor zur Erzeugung der Pumpwirkung zusammenwirkt; wobei die Statorschaufeln der Statorscheibe in Bezug auf eine Scheibenebene, welche senkrecht zur Rotationsachse des Rotors verläuft, schräg ausgerichtet sind, wobei die Statorscheibe aus Blech herstellt ist, und wobei wenigstens eine Statorschaufel an einem axialen Ende eine Abplattung aufweist.

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Eine Vorrichtung zur Erfassung der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Objekts, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularpumpe, umfasst eine berührungslose Sensorik und eine dieser zugeordnete, bei einer Steuerfrequenz f c arbeitende digitale Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung. Dabei umfasst die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung Mittel zur Erzeugung eines periodischen elektrischen Erregungssignals mit einer Erregungsfrequenz f e , die durch die folgende Beziehung definiert ist: f e = M f c , wobei M eine natürliche Zahl ist. Die berührungslose Sensorik ist zur Modulation des Erregungssignals in Abhängigkeit von der Position des Objekts ausgeführt und liefert als Ausgangssignal ein entsprechend moduliertes analoges Sensorsignal. Die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung umfasst zudem Mittel zur A/D-Wandlung des modulierten analogen Sensorsignals in ein digitales Sensorsignal, durch die das modulierte analoge Sensorsignal mit einer bezüglich der Erregungsfrequenz f e asynchronen Abtastfrequenz f s abgetastet wird, für die die folgende Beziehung gilt: f s f e / N , wobei N eine weitere, von M unabhängige natürliche Zahl ist. Zudem umfasst die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung mit der Steuerfrequenz f c arbeitende Rechenmittel zur Berechnung der Position des Objekts auf der Basis des von den Mitteln zur A/D-Wandlung gelieferten digitalen Sensorsignals.

Ein Verfahren zum Regeln der Drehzahl eines Rotors einer Vakuumpumpe umfasst, dass eine Temperatur des Rotors ermittelt wird, dass eine maximal zulässige Drehzahl des Rotors in Abhängigkeit von der Temperatur des Rotors ermittelt wird und dass eine tatsächliche Drehzahl des Rotors in Abhängigkeit von der maximal zulässigen Drehzahl geregelt wird.

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Scrollpumpe umfassend ein bewegliches, zum Erzeugen einer Pumpwirkung exzentrisch erregbares Spiralbauteil (30), wobei das Spiralbauteil eine Grundplatte (66) und eine sich ausgehend von der Grundplatte erstreckende Spiralwand (28) aufweist, wobei: - außen an der Grundplatte wenigstens zwei über den Umfang der Grundplatte beabstandete Haltevorsprünge (68) vorgesehen sind und/oder - die Spiralwand (28) an ihrem der Grundplatte (66) abgewandten Ende eine Nut (114) aufweist, in der ein Dichtungselement (64) aufgenommen ist, wobei die Nut (114) durch zwei gegenüberliegende Seitenwände (116, 118) begrenzt ist, und wobei in einem ersten Spiralabschnitt (120) eine erste der Seitenwände (118) dicker ist als eine zweite der Seitenwände (116) im ersten Spiralabschnitt (120) und/oder als eine oder beide Seitenwände (116, 118) in einem zweiten Spiralabschnitt (122). Verfahren zur Herstellung einer Scrollpumpe.

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Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend eine Primärstruktur, welche im Betrieb der Pumpe vibriert, und eine Dämpfungseinrichtung zur Dämpfung der Vibration der Primärstruktur, wobei die Dämpfungseinrichtung eine Dämpfungsmasse aufweist, welche mittels eines Federelements mit der Primärstruktur verbunden ist.

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Regeln eines Permanentmagnetsynchronmotors, wobei der Permanentmagnetsynchronmotor einen Permanentmagnetrotor und eine Mehrzahl von, bevorzugt um eine Rotationsachse des Permanentmagnetrotors angeordnete, Spulen umfasst, die mit einem sich, bevorzugt um die Rotationsachse drehenden, Spannungsvektor ansteuerbar sind, wobei das Verfahren zumindest folgende Schritte umfasst: Ermitteln von zum Erreichen einer gewünschten Bewegung des Permanentmagnetrotors nötigen Zielspannungsvektor und Zielansteuergrad; Ermitteln eines ersten Zeitraums zum Ansteuern der Spulen mit einem ersten Spannungsvektor und eines zweiten Zeitraums zum Ansteuern der Spulen mit einem zweiten Spannungsvektor, so, dass eine aus der Ansteuerung der Spulen während des ersten Zeitraums und des zweiten Zeitraums resultierende Ansteuerung der Spulen äquivalent ist zu einer Ansteuerung der Spulen mit dem Zielspannungsvektor und dem Zielansteuergrad; Ansteuern der Spulen mit dem ersten Spannungsvektor für den ersten Zeitraum; vor oder nach dem ersten Zeitraum, Ansteuern der Spulen mit dem zweiten Spannungsvektor für den zweiten Zeitraum; Ermitteln einer Stromsteigung basierend auf einer Stromänderung in den Spulen während des ersten Zeitraums und/oder während des zweiten Zeitraums; und Regeln des Permanentmagnetsynchronmotors basierend auf der ermittelten Stromsteigung.