Pfeiffer Vacuum Patente
🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
624 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
28.03.2024
Station for measuring airborne molecular contamination
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.09.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.03.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung der Dichtigkeit eines Transportbehälters zur Atmosphärischen Förderung und Lagerung von Halbleitersubstraten
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.11.2017
Erteilt am 27.03.2024
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.03.2024
Vakuumpumpe mit Separat Ansteuerbarem Lüfter
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.06.2022
Erteilt am 27.03.2024
Vertretung
Zusammenfassung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Drehschieber-Vakuumpumpe, mit zumindest einer Pumpstufe (56) und einem ersten Elektromotor (50), der antriebswirksam mit der Pumpstufe (56) verbunden ist. Die Vakuumpumpe verfügt ferner über zumindest einen von einem zweiten Elektromotor (68) angetriebenen Lüfter (66), mittels dessen sich die Vakuumpumpe kühlen lässt. |
|||
|
21.03.2024
Station and method for measuring the particle contamination of a transport enclosure for the atmospheric transport and storage of semiconductor wafers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 21.07.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.03.2024
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.08.2017
Erteilt am 20.03.2024
Vertretung
Zusammenfassung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe, mit zumindest einer Pumpstufe und mit einer Druckermittlungseinheit zur Bestimmung eines an einer Saugseite der Vakuumpumpe herrschenden Drucks, die eine Messeinrichtung umfasst, wobei ein Messabgriff der Messeinrichtung im Bereich der Pumpstufe oder stromabwärts der Pumpstufe vorgesehen ist. |
|||
|
06.03.2024
Scroll-Vakuumpumpe mit Permanentmagnet-Synchronmotor und Verfahren zur Herstellung der Scroll-Vakuumpumpe
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.08.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.02.2024
Vakuumgerät
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.11.2018
Erteilt am 28.02.2024
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.01.2024
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.10.2021
Erteilt am 17.01.2024
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.01.2024
Turbomolecular vacuum pump and methods for manufacturing a rotor
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.01.2024
Vakuumpumpe und Verfahren zum Überwachen einer Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 10.03.2021
Erteilt am 10.01.2024
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe oder ein zumindest eine Vakuumpumpe umfassendes Vakuumsystem, wobei der Vakuumpumpe eine Inertialmesseinheit zugeordnet ist, die zumindest einen Inertialsensor umfasst, der dazu ausgebildet ist, Bewegungen der Vakuumpumpe und/oder die Orientierung der Vakuumpumpe zu erfassen und diesbezügliche Messdaten und/oder durch Auswerten dieser Messdaten erhaltene Informationen bereitzustellen. |
|||
|
28.12.2023
Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.04.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.12.2023
Pumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.10.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Eine Pumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst einen Stator mit zumindest einem Statorelement und einen von einem Motor zu einer Drehung um eine Rotationsachse antreibbaren Rotor mit zumindest einem Rotorelement, die zusammen eine Pumpstufe bilden, die in einem Pumpengehäuse angeordnet ist, wobei die Rotationsachse eine axiale Richtung definiert und das Pumpengehäuse einen Pumpeneinlass und zumindest einen Pumpenauslass definiert, wobei der zumindest eine Pumpenauslass in der axialen Richtung gesehen seitlich versetzt in Bezug auf die Rotationsachse ausgebildet ist, wobei der Pumpeneinlass zumindest eine Einlassöffnung, insbesondere genau eine Einlassöffnung, aufweist, die eine Einlassebene definiert und der zumindest eine Pumpenauslass zumindest eine Auslassöffnung, insbesondere genau eine Auslassöffnung, aufweist, die eine Auslassebene definiert, wobei die Einlassebene und die Auslassebene die gleiche Ebene oder parallele Ebenen sind oder wobei die Einlassebene und die Auslassebene einen Winkel von größer als 90° bis kleiner als 180° einschließen. |
|||
|
20.12.2023
Turbomolekularpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.07.2016
Erteilt am 20.12.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, die in einem gemeinsamen Pumpengehäuse ausgebildet sind, zumindest einer Turbomolekularpumpstufe, die einen dem Pumpeneinlass zugeordneten Einlassbereich und einen Auslassbereich aufweist, und wenigstens einer zwischen dem Auslassbereich der Turbomolekularpumpstufe und dem Pumpenauslass wirksamen Vorpumpstufe, die dazu ausgebildet ist, von der Turbomolekularpumpstufe gefördertes Gas zu verdichten und gegen einen Gasdruck von mehr als 1 mbar, insbesondere gegen Atmosphärendruck, auszustoßen, wobei die Vorpumpstufe in die Turbomolekularpumpe integriert ist. |
|||
|
14.12.2023
Improved leak detection method and associated device
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.05.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.12.2023
Leak detection facility and method for inspecting a seal
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.05.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.12.2023
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.09.2021
Erteilt am 13.12.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpraum, einem mit dem Pumpraum verbundenen Einlass und einem mit dem Pumpraum verbundenen Auslass, wobei in dem Pumpraum ein zu förderndes Gas von dem Einlass zu dem Auslass förderbar ist, wobei an den Einlass eine zu evakuierende Kammer anschließbar ist, wobei die Vakuumpumpe für das Zuführen eines Gasballasts in den Pumpraum ausgebildet ist, wobei die Vakuumpumpe ein Steuergerät umfasst, welches ausgebildet ist, eine Ballastpumpdauer zu berechnen, die angibt, wie lange Gasballast gepumpt werden muss, um im Pumpraum vorhandenes oder vermutetes Wasser auszupumpen, wobei das Steuergerät ferner ausgebildet ist, ein Zuführen des Gasballasts für eine Zuführdauer zu bewirken, wobei die Zuführdauer von der berechneten Ballastpumpdauer abhängt. |
|||
|
13.12.2023
Vorrichtung und Verfahren zur Kommunikation mit einem Vakuumgerät
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.12.2021
Erteilt am 13.12.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Vorrichtung zur Kommunikation mit einem Vakuumgerät, umfassend ein erstes Schnittstellenelement, das ausgebildet ist, mit einem von der Vorrichtung getrennt ausgebildeten Kommunikationsgerät zu kommunizieren, ein zweites Schnittstellenelement, das ausgebildet ist, mit dem Vakuumgerät zu kommunizieren, ein Speicherelement und ein Prozessorelement, das ausgebildet ist, Daten von dem Kommunikationsgerät über das erste Schnittstellenelement an das Speicherelement bereitzustellen und Daten von dem Speicherelement über das zweite Schnittstellenelement an das Vakuumgerät bereitzustellen, und/oder Daten von dem Vakuumgerät über das zweite Schnittstellenelement an das Speicherelement bereitzustellen und Daten von dem Speicherelement über das erste Schnittstellenelement an das Kommunikationsgerät bereitzustellen. |
|||
|
07.12.2023
Vacuum pump and mounting method
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.04.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
07.12.2023
Vertical Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.04.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.11.2023
Vakuumpumpe mit Kühlrippen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.04.2015
Erteilt am 22.11.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
09.11.2023
Turbomolecular vacuum pump and assembly method thereof
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.02.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.11.2023
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.09.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.10.2023
Vakuumventil
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 23.12.2021
Erteilt am 18.10.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.10.2023
Leckerkennungsmodul und Verfahren zur Kontrolle der Dichtheit eines Objekts mit Tracergas
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.08.2020
Erteilt am 11.10.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.10.2023
Verfahren zur Herstellung einer Vakuumpumpe
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.08.2018
Erteilt am 04.10.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.09.2023
Vacuum Pump
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.02.2023
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.09.2023
Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.12.2021
Erteilt am 13.09.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Eine Vakuumpumpe weist eine Schnittstelle zum Verbinden der Vakuumpumpe mit einer Zubehöreinrichtung, einen Controller, der mit der Schnittstelle in Verbindung steht, und eine Entstörungseinrichtung auf, die mit der Schnittstelle und dem Controller verbunden ist. Der Controller ist ausgebildet, um zumindest zwei unterschiedliche Typen eines Signals zu erkennen, das an der Schnittstelle der Vakuumpumpe anliegt, und um die Entstörungseinrichtung in Abhängigkeit von dem erkannten Typ des an der Schnittstelle anliegenden Signals zu aktivieren. |
|||
|
13.09.2023
Molekularvakuumpumpe und Verfahren zum Beeinflussen des Saugvermögens einer Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.12.2020
Erteilt am 13.09.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
31.08.2023
Turbomolecular vacuum pump and associated method
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.11.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.08.2023
Pumpe und Verfahren zur Herstellung einer Gleitschicht
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 29.09.2021
Erteilt am 23.08.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Pumpe, insbesondere Vakuumpumpe, umfassend eine Gleitschicht (152), wobei die Gleitschicht eine, insbesondere durch anodische Oxidation in einem säurehaltigen Elektrolyten gebildete, Oxidschicht sowie eine Polymer basierte Versiegelung, insbesondere auf Basis eines fluorhaltigen Polymers, umfasst, und wobei die Oxidschicht zumindest teilweise von der Versiegelung bedeckt und/oder mit der Versiegelung imprägniert ist. Verfahren zur Herstellung einer Gleitschicht (152), umfassend die folgenden Schritte: a) Erzeugen einer Oxidschicht, insbesondere durch anodische Oxidation, in einem, vorzugsweise Oxalsäure enthaltenden, Elektrolyten; und b) Beschichten der Oxidschicht mit einer Versiegelung. |
|||
|
23.08.2023
Monolithischer Permanentmagnet, Pemanentmagnetlager, Vakuumpumpe und Verfahren zur Herstellung eines Monolithischen Permanentmagnets
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.01.2016
Erteilt am 23.08.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem gegenüber einem Stator der Vakuumpumpe um eine Rotationsachse drehbaren Rotor, zu dessen drehbarer Lagerung wenigstens ein Permanentmagnetlager vorgesehen ist, ist dadurch gekennzeichnet, dass das Permanentmagnetlager wenigstens einen, insbesondere ring- oder hohlzylinderförmig ausgebildeten, monolithischen Permanentmagnet umfasst, der zwei oder mehr in axialer Richtung aufeinanderfolgende Abschnitte aufweist, und bei dem zueinander benachbarte Abschnitte eine zumindest im Wesentlichen entgegengesetzte Magnetpolorientierung aufweisen. |
|||
|
19.07.2023
Vakuumpumpe mit Optimierter Holweck-Pumpstufe zur Kompensation Temperaturbedingter Leistungseinbussen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 26.05.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.07.2023
Leak detector and method for checking the tightness of an object to be tested
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.11.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.07.2023
Method for checking the tightness of an object to be tested and leak detector
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.11.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
05.07.2023
Vakuumpumpe und Vakuumsystem
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 04.01.2022
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
28.06.2023
Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe oder eines Rotors einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Maschinenelemente & Fluidtechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.03.2015
Erteilt am 28.06.2023
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.06.2023
Vakuumsystem und Verfahren zum Betreiben eines Solchen
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Status
Angemeldet am 16.12.2022
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.06.2023
Vacuum line and installation having the vacuum line
Verfahrens- & Trenntechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 01.12.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.06.2023
Pumping and processing device and method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.11.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.06.2023
Vacuum line, pumping device intended to be connected to the vacuum line and installation comprising the vacuum line
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
|
|||
|
Status
Angemeldet am 18.11.2022
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Pfeiffer Vacuum?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Pfeiffer Vacuum vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil