Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
09.09.2011	09.09.2011 Method for producing semiconductor device WO2011108280 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.03.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.09.2011	09.09.2011 Property measurement device, property measurement method, thin-film substrate manufacturing system, and program WO2011108462 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.09.2011	09.09.2011 Annealing device, annealing method, and thin-film substrate manufacturing system WO2011108463 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.09.2011	09.09.2011 Plasma etching method, method for producing semiconductor device, and plasma etching device WO2011108663 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.03.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2011	01.09.2011 Joining method, program, and computer recording medium WO2011105325 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2011	01.09.2011 Joining device WO2011105326 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.08.2011	31.08.2011 Schichtherstellungsverfahren, Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung, Halbleitervorrichtung und Substratverarbeitungssystem EP2284875 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.07.2004 Anhängig Vertretung Lucke, Andreas · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2011	25.08.2011 Method for manufacturing a semiconductor device WO2011102140 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2011	25.08.2011 Application method and application device WO2011102201 Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.01.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2011	25.08.2011 Method and device for manufacturing a semiconductor device WO2011102135 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2011	25.08.2011 Imprinting method WO2011102240 Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2011	25.08.2011 Substrate cleaning method and substrate cleaning device WO2011102279 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2011	25.08.2011 Optical waveguide, optical integrated circuit and a manufacturing method for producing said optical waveguide WO2011102239 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2011	25.08.2011 Method for planarising the rear surface of a substrate WO2011102278 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2011	25.08.2011 Heat insulator and process for producing heat insulator WO2011102337 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.08.2011	24.08.2011 Vorrichtung und Verfahren zur Substratbehandlung EP1788615 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.11.2006 Anhängig Vertretung Waldren, Robin Michael · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2011	18.08.2011 Parallel input/output signal distributor and parallel input/output signal distribution method WO2011099159 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.02.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2011	18.08.2011 Substrate processing method WO2011099221 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.08.2011	18.08.2011 Mounting table structure, and processing device WO2011099481 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.08.2011	17.08.2011 Magnetron-Sputtervorrichtung EP1953257 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.10.2006 Erteilt am 17.08.2011 Vertretung Glawe, Ulrich · München Glawe Delfs Moll · Hamburg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.08.2011	17.08.2011 Verfahren und Vorrichtung zur Physikalischen Dampfabscheidung mittels Ionen EP1243016 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.11.2000 Erteilt am 17.08.2011 Vertretung Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.08.2011	17.08.2011 Vorrichtung zur Herstellung von Filmen EP1371751 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.02.2002 Erteilt am 17.08.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2011	11.08.2011 Substrate holder, substrate transfer apparatus, and substrate processing apparatus WO2011096208 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.02.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.08.2011	10.08.2011 Verfahren zur Abscheidung von Metallschichten aus Metallcarbonylvorläufern EP1828430 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.10.2005 Erteilt am 10.08.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.08.2011	10.08.2011 Entfeuchtungssystem und Entfeuchtungsverfahren EP1508359 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.05.2003 Erteilt am 10.08.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.08.2011	04.08.2011 Method and system for self-learning and self-improving a semiconductor manufacturing tool WO2011094592 Software & Datenverarbeitung	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.01.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2011	28.07.2011 Bonding apparatus, bonding method, and computer storage medium WO2011089827 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2011	28.07.2011 Bonding apparatus, bonding method, and computer storage medium WO2011089826 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2011	28.07.2011 Plasma processing apparatus and method for processing substrate using the apparatus WO2011090076 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.01.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.07.2011	28.07.2011 Etching method, etching apparatus, and ring member WO2011090109 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.01.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2011	21.07.2011 Substrate processing apparatus WO2011087049 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.01.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2011	21.07.2011 Electromagnetic-radiation power-supply mechanism and microwave introduction mechanism WO2011087094 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.01.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2011	21.07.2011 Switchable Neutral Beam Source WO2011087984 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.01.2011 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.07.2011	13.07.2011 Ätzmethode EP1225621 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2000 Erteilt am 13.07.2011 Vertretung Goddar, Heinz J · München Boehmert & Boehmert Goddar, Heinz J., Dr · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.07.2011	13.07.2011 Verdampfer und Halbleiter-Verarbeitungsvorrichtung EP1630859 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.05.2004 Erteilt am 13.07.2011 Vertretung Schwahn, Hartmut · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.07.2011	07.07.2011 Mounting method and mounting device WO2011081093 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.07.2011	07.07.2011 Mounting table structure and processing apparatus WO2011081049 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.07.2011	07.07.2011 Mounting method and mounting device WO2011081095 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.07.2011	06.07.2011 Verfahren zur Messung der Temperatur einer Wärmeplatte, Vorrichtung zur Substratverarbeitung und Computerprogramm zur Messung der Temperatur einer Wärmeplatte EP1791166 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.08.2005 Erteilt am 06.07.2011 Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.07.2011	06.07.2011 Batch-Erzeugungsvorrichtung, Substratverarbeitungssystem, Batch-Erzeugungsverfahren, und Speichermedium EP1780784 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.10.2006 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen