Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
30.06.2011	30.06.2011 Apparatus for drying substrate and method for drying substrate WO2011077937 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.06.2011	30.06.2011 Method of manufacturing semiconductor device and system for manufacturing semiconductor device WO2011078083 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.06.2011	23.06.2011 Temperature measuring apparatus WO2011074434 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.06.2011	23.06.2011 Substrate and method for manufacturing same WO2011074436 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.06.2011	22.06.2011 Belichtungstransfermaske und Verfahren zum Auswechseln von Belichtungstransfermaskenmustern EP1557869 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.07.2003 Erteilt am 22.06.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.06.2011	16.06.2011 Method to remove capping layer of insulation dielectric in interconnect structures WO2011071825 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.06.2011	15.06.2011 Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren EP1926126 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.11.2007 Anhängig Vertretung Hoffmann Eitle · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.06.2011	09.06.2011 Method for manufacturing semiconductor device WO2011068029 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.11.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.06.2011	09.06.2011 Branch wire system WO2011068118 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.12.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.05.2011	19.05.2011 Plasma processing apparatus and microwave transmitter WO2011058921 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.11.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.05.2011	18.05.2011 Mehrkammerfilmvorläufer-Verdunstungssystem und Dünnfilmauftragungssystem damit EP1863950 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.11.2005 Erteilt am 18.05.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.05.2011	12.05.2011 Control valve device WO2011055688 Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.10.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.05.2011	12.05.2011 Film forming method and method for forming capacitor WO2011055671 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.10.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.05.2011	12.05.2011 Substrate processing apparatus, substrate transfer apparatus, and method for controlling substrate processing apparatus WO2011055822 Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.11.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.05.2011	11.05.2011 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements, hergestellt auf einer Oberfläche aus Silizium mit 110-Kristallebenenrichtung EP1434253 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.10.2002 Erteilt am 11.05.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.05.2011	05.05.2011 Power Connection Conductor WO2011052301 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.04.2011	28.04.2011 Sample table and microwave plasma processing apparatus WO2011048917 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.04.2011	27.04.2011 Vertikalwärmebehandlungseinrichtung und Verfahren zum Übertragen von zu Behandelnden Objekten EP1752725 Verpackungs- & Fördertechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.03.2005 Erteilt am 27.04.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2011	14.04.2011 Film-forming method and plasma processing apparatus WO2011043263 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2011	14.04.2011 Film-forming device, film-forming head, and film-forming method WO2011043244 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2011	14.04.2011 Actuator element and sheet-like actuator WO2011043223 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2011	14.04.2011 Pressure sensor element and sheet-like pressure sensor WO2011043224 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2011	14.04.2011 Thin film, method for forming same, and semiconductor light-emitting element comprising the thin film WO2011043414 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.10.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2011	14.04.2011 Method of providing stable and adhesive interface between fluorine-based low-k material and metal barrier layer WO2011044053 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.10.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.04.2011	13.04.2011 Wärmebehandlungssystem EP1480262 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.11.2002 Erteilt am 13.04.2011 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Positioning pin compatible with deformation caused by difference in coefficient of thermal expansion WO2011039881 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.10.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Methods for multi-step copper plating on a continuous ruthenium film in recessed features WO2011041522 Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Bonding apparatus and bonding method WO2011040116 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Semiconductor device, method for fabricating the same and apparatus for fabricating the same WO2011040047 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.10.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Probe Card WO2011040134 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Developing method WO2011040140 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Film forming apparatus, film forming method and substrate processing apparatus WO2011040173 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Method for transferring subject to be processed and apparatus for processing subject to be processed WO2011040301 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Transfer apparatus WO2011040300 Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Antenna for generating surface wave plasma, microwave introducing mechanism, and apparatus for processing surface wave plasma WO2011040328 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Method for forming silicon nitride film, and method for producing semiconductor memory device WO2011040396 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Process for production of ni film WO2011040385 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Method for forming crystalline silicon film and plasma cvd device WO2011040394 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Process for manufacturing semiconductor device WO2011040426 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.04.2011	07.04.2011 Template processing device, imprint system, template processing method, and computer storage medium WO2011040466 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen