Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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6.253 gesamt| Patent | |||
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13.10.2011
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.03.2011
Anhängig
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13.10.2011
Dielectric window for plasma processing device, plasma processing device, and method for attaching dielectric window for plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 24.03.2011
Anhängig
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13.10.2011
Nitriding treatment method and nitriding treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 25.03.2011
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13.10.2011
Mask pattern formation method and manufacturing method for semiconductor device
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.03.2011
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13.10.2011
Plasma nitridization method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.03.2011
Anhängig
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13.10.2011
Plasma nitriding treatment method and plasma nitriding treatment device.
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.03.2011
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13.10.2011
Plasma processing device and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.03.2011
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12.10.2011
Substrathalter, vertikale Vorrichtung zur Wärmebehandlung und Wärmebehandlungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.10.2011
Verfahren und Vorrichtung zum Mischen chemischer Flüssigkeiten zum Reinigen von Substraten wie beispielsweise Halbleiterwaferplatten
Verfahrens- & Trenntechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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06.10.2011
Method of slimming radiation-sensitive material lines in lithographic applications
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 29.03.2011
Anhängig
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06.10.2011
Plasma processing apparatus, and dielectric window
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 23.03.2011
Anhängig
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06.10.2011
Method for integrating low-k dielectrics
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 28.03.2011
Anhängig
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06.10.2011
Surface cleaning and selective deposition of metal-containing cap layers for semiconductor devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.03.2011
Anhängig
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06.10.2011
Atomic layer deposition of silicon and silicon-containing films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 26.03.2011
Anhängig
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06.10.2011
Method and system for optical metrology optimization using ray tracing
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Angemeldet am 31.03.2011
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05.10.2011
System zur Wärmebehandlung von Halbleiter
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.03.2002
Erteilt am 05.10.2011
Vertretung
Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart
Gleiss, Alf-Olav · Stuttgart
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29.09.2011
Substrate processing device, substrate processing method, program, and computer recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.03.2011
Anhängig
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29.09.2011
Differential Metal Gate Etching Process
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 21.03.2011
Anhängig
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28.09.2011
Halbleiterbauelement, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Gas für Plasma-Cvd
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.08.2004
Erteilt am 28.09.2011
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22.09.2011
Mask holding apparatus and thin film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Angemeldet am 17.02.2011
Anhängig
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22.09.2011
Template processing method, computer storage medium and template processing apparatus
Kunststoff- & Polymertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 08.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Silicon oxide film forming method, and plasma oxidation apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Thin film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Film forming method and film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Substrate cleaning device and substrate cleaning method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Resist removal device and resist removal method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Film forming device, film forming method, rotational frequency optimisation method, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Semiconductor manufacturing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
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22.09.2011
Substrate attachment and detachment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 16.03.2011
Anhängig
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21.09.2011
Plasmaätzverfahren, Plasmaätzvorrichtung und computerlesbares Speichermedium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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15.09.2011
Method for cleaning a substrate, and semiconductor manufacturing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2011
Anhängig
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15.09.2011
Substrate wiring method and semiconductor manufacturing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.02.2011
Anhängig
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15.09.2011
Joining system, joining method, program and computer memory media
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.03.2011
Anhängig
Zusammenfassung
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15.09.2011
Heating apparatus and annealing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.03.2011
Anhängig
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15.09.2011
Method for performing preventative maintenance in a substrate processing system
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 11.03.2011
Anhängig
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14.09.2011
Plasmaverarbeitungseinrichtung und Verfahren zu Ihrer Reinigung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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14.09.2011
Verfahren zur Herstellung eines Fluorierten Kohlenstofffilms
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.05.2004
Erteilt am 14.09.2011
Vertretung
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09.09.2011
Substrate storing device
Verpackungs- & Fördertechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.02.2011
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.300
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56