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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.250 gesamt
Patent
09.10.2003
Plasma processor electrode and plasma processor
WO03083922
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2003
Method for forming insulation film
WO03083925
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2003
A system and method for determining the state of a film in a plasma reactor using an electrical property
WO03083911
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2003
Plasma processing device and baffle plate thereof
WO03083923
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.10.2003
Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln eines zu Behandelnden Artikels
EP1351283
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2003
Treating device, electrode, electrode plate, and treating method
WO03081657
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2003
Process monitoring using infrared optical diagnostics
WO03081216
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
02.10.2003
Method of plasma etching
WO03081656
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2003
An Improved Substrate Holder For Plasma Processing
WO03079404
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2003
Plasma device
WO03079740
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2003
Maintenance management point service system, server apparatus, terminal apparatus, program, recording medium, and maintenance management point service system processing method
WO03079255
Software & Datenverarbeitung
18.09.2003
Plasma device
WO03077299
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2003
Plasma processing apparatus
WO03077300
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2003
Plasma processing method, seasoning end detection method, and plasma processing device
WO03077303
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2003
Plasma processing device and plasma generating method
WO03077302
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2003
Plasma Processor
WO03077294
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2003
Plasma processing system and method for interrupting plasma processing
WO03077304
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2003
Method of etching and etching apparatus
WO03077301
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2003
Integrated Vi Probe
WO03075300
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2003
Magnetische Anordnung zur Effizienten Verwendung eines Targets Beim Zerstäuben eines Kegelstumpfförmigen Targets
EP1144713
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2003
Method of carrying substrate
WO03073495
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2003
Method for processing substrate
WO03073492
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2003
Process for producing semiconductor device
WO03073498
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2003
Faraday shields and plasma wafer processing
WO03073460
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2003
Optimierte Auskleidung für Doppel-Damaszener Verdrahtung
EP1340252
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2003
Waferbehandlungssystem mit Reduzierten Randkontakten und Verfahren zum Nachrüsten und Verwenden eines Solchen Systems
EP1340246
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.08.2003
Optimum service selection assisting system
WO03071460
Software & Datenverarbeitung
27.08.2003
Waferbearbeitungssystem mit einem Roboter
EP1338028
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2003
Polarization analyzing method
WO03069667
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2003
Semiconductor manufacturing method and semiconductor manufacturing apparatus
WO03069661
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2003
Pecvd zur Erzeugung von Tan-Schichten aus Tantalhalogenid-Vorläufern
EP1185722
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2003
Etching method and etching apparatus
WO03067643
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2003
Coating device and coating method
WO03066238
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2003
Plasmabehandlung von durch Thermische Cvd aus Tantalhalogenid-Vorläufern Erhaltenen Tan Schichten
EP1192292
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2003
Method and apparatus for process monitoring and control
WO03065132
Steuerungs- & Regelungstechnik
07.08.2003
Apparatus and method for improving microwave coupling to a resonant cavity
WO03065061
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2003
Method and apparatus for electron density measurement and verifying process status
WO03065131
Steuerungs- & Regelungstechnik
07.08.2003
Method and apparatus for monitoring and verifying equipment status
WO03065410
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2003
Plasma etching of ni-containing materials
WO03065419
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2003
Verfahren zum Ätzen einer Doppel-Damaszin-Struktur
EP1333483
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
790
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56

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