Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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10.04.2014
Antenna and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2013
Anhängig
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10.04.2014
Method for manufacturing target for x-ray generation and target for x-ray generation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2013
Anhängig
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03.04.2014
Substrate cleaning method, substrate cleaning device, and vacuum processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2013
Anhängig
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03.04.2014
Heat treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 14.08.2013
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03.04.2014
Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.09.2013
Anhängig
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03.04.2014
Substrate-cleaning device and substrate-cleaning method
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.08.2013
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27.03.2014
Method for producing filtration filter
Verfahrens- & Trenntechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2013
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27.03.2014
Plasma etching method and plasma etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 17.09.2013
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27.03.2014
Substrate treatment system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2013
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27.03.2014
Gas supply method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 10.09.2013
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27.03.2014
Bonding system, bonding method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.08.2013
Anhängig
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20.03.2014
Method for manufacturing dye-sensitized solar cell and dye-sensitized solar cell
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.09.2013
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20.03.2014
Plasma processing device
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 11.09.2013
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20.03.2014
Method for treatment of treated substrate, and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2013
Anhängig
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20.03.2014
Detachment control method and plasma processing device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 11.09.2013
Anhängig
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20.03.2014
Plasma processing device and filter unit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 09.09.2013
Anhängig
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13.03.2014
Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.08.2013
Anhängig
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13.03.2014
Calculation method, calculation device, and recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2013
Anhängig
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06.03.2014
Euv Resist Sensitivity Reduction
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.08.2013
Anhängig
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06.03.2014
Plasma processing apparatus and substrate processing apparatus provided with same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.06.2013
Anhängig
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06.03.2014
Etching method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 27.08.2013
Anhängig
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06.03.2014
Gate valve and substrate processing system
Verpackungs- & Fördertechnik
Maschinenelemente & Fluidtechnik
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Status
Angemeldet am 28.06.2013
Anhängig
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06.03.2014
Plasma emission device and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.07.2013
Anhängig
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06.03.2014
Vapor deposition device, vapor deposition method, organic el display, and organic el lighting device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.08.2013
Anhängig
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27.02.2014
Film forming apparatus, method of forming low-permittivity film, sico film, and damascene interconnect structure
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.06.2013
Anhängig
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27.02.2014
Dual workfunction semiconductor devices and methods for forming thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.08.2013
Anhängig
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27.02.2014
Method for forming silicon nitride film, method for manufacturing organic electronic device, and apparatus for forming silicon nitride film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.08.2013
Anhängig
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27.02.2014
Substrate transportation device and substrate processing system
Verpackungs- & Fördertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 28.06.2013
Anhängig
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20.02.2014
Method for manufacturing target for x-ray emission, and target for x-ray emission
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.08.2013
Anhängig
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13.02.2014
Substrate processing device, data collection method, and program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.07.2013
Anhängig
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13.02.2014
Multi-layer film etching method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.07.2013
Anhängig
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13.02.2014
Plasma etching method and plasma etching apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.08.2013
Anhängig
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13.02.2014
Plasma processing apparatus and high frequency generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 29.05.2013
Anhängig
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06.02.2014
Device for causing substrate to contact probe card, and substrate inspection apparatus provided with same
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.06.2013
Anhängig
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06.02.2014
Method for forming pattern for electronic device, electronic device, and pattern forming device
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.08.2013
Anhängig
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06.02.2014
Method for bringing substrate into contact with probe card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.07.2013
Anhängig
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30.01.2014
Method for evaluating multipotent stem cells by image analysis
Pharma & Biotechnologie
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Status
Angemeldet am 23.07.2013
Anhängig
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30.01.2014
Bake processing system
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.06.2013
Anhängig
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30.01.2014
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.04.2013
Anhängig
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30.01.2014
Method of regionally selective cell detachment and methods for culturing and subculturing cells using same
Pharma & Biotechnologie
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Angemeldet am 23.07.2013
Anhängig
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Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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