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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
10.04.2014
Antenna and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2014
Method for manufacturing target for x-ray generation and target for x-ray generation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2014
Substrate cleaning method, substrate cleaning device, and vacuum processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2014
Heat treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.04.2014
Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2014
Substrate-cleaning device and substrate-cleaning method
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2014
Method for producing filtration filter
Verfahrens- & Trenntechnik
27.03.2014
Plasma etching method and plasma etching device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2014
Substrate treatment system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2014
Gas supply method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
27.03.2014
Bonding system, bonding method, and computer storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2014
Method for manufacturing dye-sensitized solar cell and dye-sensitized solar cell
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2014
Plasma processing device
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2014
Method for treatment of treated substrate, and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
20.03.2014
Detachment control method and plasma processing device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
20.03.2014
Plasma processing device and filter unit
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
13.03.2014
Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2014
Calculation method, calculation device, and recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2014
Euv Resist Sensitivity Reduction
Optik & Fototechnik
06.03.2014
Plasma processing apparatus and substrate processing apparatus provided with same
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2014
Etching method and substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2014
Gate valve and substrate processing system
Verpackungs- & Fördertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.03.2014
Plasma emission device and substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2014
Vapor deposition device, vapor deposition method, organic el display, and organic el lighting device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2014
Film forming apparatus, method of forming low-permittivity film, sico film, and damascene interconnect structure
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2014
Dual workfunction semiconductor devices and methods for forming thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2014
Method for forming silicon nitride film, method for manufacturing organic electronic device, and apparatus for forming silicon nitride film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2014
Substrate transportation device and substrate processing system
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
20.02.2014
Method for manufacturing target for x-ray emission, and target for x-ray emission
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2014
Substrate processing device, data collection method, and program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2014
Multi-layer film etching method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2014
Plasma etching method and plasma etching apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2014
Plasma processing apparatus and high frequency generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.02.2014
Device for causing substrate to contact probe card, and substrate inspection apparatus provided with same
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2014
Method for forming pattern for electronic device, electronic device, and pattern forming device
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2014
Method for bringing substrate into contact with probe card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2014
Method for evaluating multipotent stem cells by image analysis
Pharma & Biotechnologie
30.01.2014
Bake processing system
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2014
Plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2014
Method of regionally selective cell detachment and methods for culturing and subculturing cells using same
Pharma & Biotechnologie

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