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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
06.08.2014
Nadelkarte für eine Leistungsvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2014
Method for forming through-via and method for manufacturing electronic device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2014
Probe apparatus and wafer transfer system
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2014
Electromagnetic heating device and electromagnetic heating method
Elektronik & Schaltungstechnik
19.06.2014
Conveyance base and conveyance system
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Substrate processing apparatus and method for adjusting pressure inside processing vessel
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Substrate processing device, substrate processing system, and transport-container anomaly detection method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Substrate liquid processing apparatus and substrate liquid processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Substrate defect inspection method, substrate defect inspection device, and computer storage medium
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2014
Substrate processing device, application method for substrate device and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2014
Method and apparatus for autonomous identification of particle contamination due to isolated process events and systematic trends
Steuerungs- & Regelungstechnik
12.06.2014
Film formation apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2014
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung von Muster- und Strukturbildungen durch ein Elektrisches Feld
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.06.2014
System und Verfahren zur Gewebekonstruktion mittels eines Elektrischen Feldapplikators
Verfahrens- & Trenntechnik Pharma & Biotechnologie
05.06.2014
Manufacturing method and manufacturing device for semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2014
Method for processing transparent conductive film
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2014
Probe card case and probe card transfer method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2014
Substrate processing device, cover opening and closing mechanism, shielding mechanism, and method for purging inside of container
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2014
Capacitively coupled plasma equipment with uniform plasma density
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2014
Substrate processing device and substrate transfer method
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2014
Substrate cooling member, substrate processing device, and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2014
Autonomous tool parameter impact identification for semiconductor manufacturing
Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2014
Processing method and processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2014
Plasmaprozessvorrichtung und zugehörige Struktur zur Prozessgaszuführung
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2014
Plasma treatment method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2014
Plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
08.05.2014
Plasma treatment device
Elektronik & Schaltungstechnik
08.05.2014
Substrate processing device and control device for substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2014
Farbstoffadsorptionsvorrichtung und Farbstoffadsorptionsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2014
Correction value computation device, correction value computation method, and computer program
Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
24.04.2014
Plasma etching endpoint detection using multivariate analysis
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2014
Method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2014
Hybrid gate last integration scheme for multi-layer high-k gate stacks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.04.2014
Plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.04.2014
Plasma processing method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
17.04.2014
Method for attaching probe card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.04.2014
Film-forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2014
Antenna and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2014
Wafer mounting method and wafer inspection device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2014
Method for manufacturing target for x-ray generation and target for x-ray generation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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