Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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06.08.2014
Nadelkarte für eine Leistungsvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.07.2012
Anhängig
Vertretung
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24.07.2014
Method for forming through-via and method for manufacturing electronic device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.12.2013
Anhängig
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17.07.2014
Probe apparatus and wafer transfer system
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2013
Anhängig
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03.07.2014
Electromagnetic heating device and electromagnetic heating method
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 04.12.2013
Anhängig
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19.06.2014
Conveyance base and conveyance system
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2013
Anhängig
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19.06.2014
Substrate processing apparatus and method for adjusting pressure inside processing vessel
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.11.2013
Anhängig
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19.06.2014
Substrate processing device, substrate processing system, and transport-container anomaly detection method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.12.2013
Anhängig
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19.06.2014
Substrate liquid processing apparatus and substrate liquid processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.12.2013
Anhängig
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19.06.2014
Substrate defect inspection method, substrate defect inspection device, and computer storage medium
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.11.2013
Anhängig
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12.06.2014
Substrate processing device, application method for substrate device and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.12.2013
Anhängig
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12.06.2014
Method and apparatus for autonomous identification of particle contamination due to isolated process events and systematic trends
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.09.2013
Anhängig
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12.06.2014
Film formation apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.11.2013
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11.06.2014
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung von Muster- und Strukturbildungen durch ein Elektrisches Feld
Verfahrens- & Trenntechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.06.2014
System und Verfahren zur Gewebekonstruktion mittels eines Elektrischen Feldapplikators
Verfahrens- & Trenntechnik
Pharma & Biotechnologie
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05.06.2014
Manufacturing method and manufacturing device for semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.11.2013
Anhängig
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30.05.2014
Method for processing transparent conductive film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2013
Anhängig
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30.05.2014
Probe card case and probe card transfer method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.11.2013
Anhängig
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30.05.2014
Substrate processing device, cover opening and closing mechanism, shielding mechanism, and method for purging inside of container
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.11.2013
Anhängig
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22.05.2014
Capacitively coupled plasma equipment with uniform plasma density
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2013
Anhängig
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22.05.2014
Substrate processing device and substrate transfer method
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.11.2013
Anhängig
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15.05.2014
Substrate cooling member, substrate processing device, and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.10.2013
Anhängig
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15.05.2014
Autonomous tool parameter impact identification for semiconductor manufacturing
Software & Datenverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.09.2013
Anhängig
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15.05.2014
Processing method and processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.10.2013
Anhängig
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14.05.2014
Plasmaprozessvorrichtung und zugehörige Struktur zur Prozessgaszuführung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.05.2011
Erteilt am 14.05.2014
Vertretung
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08.05.2014
Plasma treatment method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 31.10.2013
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08.05.2014
Plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 30.10.2013
Anhängig
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08.05.2014
Plasma treatment device
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 30.08.2013
Anhängig
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08.05.2014
Substrate processing device and control device for substrate processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.10.2013
Anhängig
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07.05.2014
Farbstoffadsorptionsvorrichtung und Farbstoffadsorptionsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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01.05.2014
Correction value computation device, correction value computation method, and computer program
Metallurgie & Oberflächentechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
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Status
Angemeldet am 22.10.2013
Anhängig
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24.04.2014
Plasma etching endpoint detection using multivariate analysis
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 17.10.2013
Anhängig
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24.04.2014
Method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.10.2013
Anhängig
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24.04.2014
Hybrid gate last integration scheme for multi-layer high-k gate stacks
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.10.2013
Anhängig
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17.04.2014
Plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.09.2013
Anhängig
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17.04.2014
Plasma processing method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 20.09.2013
Anhängig
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17.04.2014
Method for attaching probe card
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.08.2013
Anhängig
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17.04.2014
Film-forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.09.2013
Anhängig
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10.04.2014
Antenna and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2013
Anhängig
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10.04.2014
Wafer mounting method and wafer inspection device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Angemeldet am 30.08.2013
Anhängig
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10.04.2014
Method for manufacturing target for x-ray generation and target for x-ray generation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.09.2013
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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