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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.414 gesamt
Patent
12.09.2013
Heat processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
12.09.2013
Evaluation device and computer program
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2013
Sequential stage mixing for single substrate strip processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2013
Slug tuner, microwave plasma source using same, and microwave plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
12.09.2013
Liquid processing method, liquid processing device, and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2013
Energy consumption monitoring system for substrate treatment device and energy consumption monitoring method for substrate treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2013
Semiconductor device, semiconductor device manufacturing method, and semiconductor manufacturing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.09.2013
Chemical application device and slit nozzle for solar cell manufacture
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
06.09.2013
Method for producing light-emitting device using liquid light-emitting material, and light-emitting device using liquid light-emitting material
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.09.2013
Substrate washing method, substrate washing device, and vacuum processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2013
Microwave heat-treatment device and treatment method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.09.2013
Substrate joining method and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2013
Liquid treatment device and liquid treatment method
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
06.09.2013
Method for forming conductive film
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2013
Substrate joining method and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.09.2013
Method for manufacturing semiconductor device and computer recording medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2013
Semiconductor-device manufacturing method, storage medium, and semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2013
Semiconductor-device manufacturing method and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2013
Plasma processing device and high-frequency generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
29.08.2013
Power supply system, plasma etching device, and plasma etching method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
22.08.2013
Deposition head and deposition apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.08.2013
Semiconductor device and method for manufacturing same
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2013
Semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2013
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2013
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2013
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2013
Film formation device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.08.2013
Film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
22.08.2013
Sputter device
Metallurgie & Oberflächentechnik
21.08.2013
Aufbringen Siliziumhaltiger Filme bei Niedrigen Temperaturen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.08.2013
Electrostatic chuck device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
15.08.2013
Dye adsorption device and dye adsorption method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.08.2013
Film-forming apparatus and film-forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.08.2013
Film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.08.2013
Plasma treatment method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
15.08.2013
Wiping pad, nozzle maintenance device using pad, and coating processing device
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.08.2013
Method for producing semiconductor manufacturing apparatus, and semiconductor manufacturing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.08.2013
Plasma etching method and plasma etching apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.08.2013
Plasma processing device, and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
08.08.2013
Purging device and purging method for substrate-containing vessel
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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