Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414
Patente
2000–2024
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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2.414 gesamt| Patent | |||
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19.03.2009
Substrate placing mechanism, substrate processing apparatus, method for suppressing film deposition on substrate placing mechanism, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2008
Anhängig
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19.03.2009
Method for curing a dielectric film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.09.2008
Anhängig
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19.03.2009
Substrate processing apparatus, method for suppressing contamination of substrate processing apparatus, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.08.2008
Anhängig
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19.03.2009
Information processor, information processing method and program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.09.2008
Anhängig
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19.03.2009
Substrate placing mechanism and substrate processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2008
Anhängig
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19.03.2009
Film forming apparatus and film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2008
Anhängig
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19.03.2009
Vacuum processing system and substrate transfer method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 01.09.2008
Anhängig
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18.03.2009
Einrichtung und Verfahren zur Behandlung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.01.2002
Erteilt am 18.03.2009
Vertretung
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18.03.2009
Verfahren zur Bildung eines Tasin-Films
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.03.2009
Method for processing substrate, program, computer storage medium, and substrate processing system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 29.08.2008
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12.03.2009
Temperature-sensitive polymer, temperature-sensitive fiber and non-woven fabric each using the same, and method for production of temperature-sensitive fiber and non-woven fabric
Kunststoff- & Polymertechnik
Textiltechnik
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Status
Angemeldet am 02.09.2008
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12.03.2009
Vacuum processing system
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.08.2008
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12.03.2009
Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 03.09.2008
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12.03.2009
Top panel and plasma processing apparatus using the same
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.08.2008
Anhängig
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11.03.2009
Servereinrichtung Ung Programm
Steuerungs- & Regelungstechnik
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 24.04.2007
Anhängig
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11.03.2009
Halbleiterbauelement und Halbleiterbauelement-Herstellungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.06.2007
Anhängig
Vertretung
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05.03.2009
Top panel and plasma processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.08.2008
Anhängig
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05.03.2009
Semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.08.2008
Anhängig
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05.03.2009
Manufacturing equipment, information processing method, and program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 27.08.2008
Anhängig
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05.03.2009
Organic electronic device, organic electronic device manufacturing method, organic electronic device manufacturing apparatus, substrate processing system, protection film structure and storage medium with control program stored therein
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.08.2008
Anhängig
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05.03.2009
Treating-gas supply system and treating apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2008
Anhängig
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05.03.2009
Plasma processing apparatus, plasma processing method and end point detecting method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 26.08.2008
Anhängig
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05.03.2009
Semiconductor device manufacturing method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.08.2008
Anhängig
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05.03.2009
Mounting table structure, and treating apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 25.08.2008
Anhängig
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26.02.2009
Vaporizer, material gas supply system including vaporizer and film forming apparatus using such system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 22.08.2008
Anhängig
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26.02.2009
Substrate processing device and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.08.2008
Anhängig
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19.02.2009
Method for etching low-k material using oxide hard mask
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.07.2008
Anhängig
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19.02.2009
Semiconductor device manufacturing method, semiconductor device manufacturing apparatus and storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.08.2008
Anhängig
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19.02.2009
Temperature control device and temperature control method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.08.2008
Anhängig
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12.02.2009
Substrate processing method, substrate processing apparatus, program, recording medium and substituting agent
Verfahrens- & Trenntechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 24.07.2008
Anhängig
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05.02.2009
Nozzle member and process for producing the same
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Textiltechnik
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Status
Angemeldet am 30.07.2008
Anhängig
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05.02.2009
Method for etching metal nitride with high selectivity to other materials
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.07.2008
Anhängig
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04.02.2009
Test Wafer zur Positionserkennung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 31.07.2008
Anhängig
Vertretung
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29.01.2009
Method and apparatus for depositing nitride film
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.07.2008
Anhängig
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29.01.2009
A plasma processing method for forming a film and an electronic component manufactured by the method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2008
Anhängig
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29.01.2009
Film forming method for a semiconductor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2008
Anhängig
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22.01.2009
Inspecting Structure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 20.06.2008
Anhängig
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15.01.2009
Plasma treating apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 12.06.2008
Anhängig
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15.01.2009
Plasma processing method and plasma processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.07.2008
Anhängig
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15.01.2009
Process for producing semiconductor device, semiconductor device, semiconductor production apparatus, and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.07.2008
Anhängig
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Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
2.007
Metallurgie & Oberflächentechnik
651
Elektronik & Schaltungstechnik
322
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
211
Optik & Fototechnik
172
Verfahrens- & Trenntechnik
139
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
54
Software & Datenverarbeitung
50
Steuerungs- & Regelungstechnik
48
Verpackungs- & Fördertechnik
44
Pharma & Biotechnologie
30
Anorganische Chemie & Werkstoffe
28