Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414

Patente

2000–2024

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
22.05.2009	22.05.2009 Plasma processing apparatus and method for plasma processing semiconductor substrate WO2009063755 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2009	14.05.2009 Method and apparatus for deriving an iso-dense bias and controlling a fabrication process WO2009060319	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2009	14.05.2009 Plasma treatment apparatus and external air shielding vessel WO2009060756 Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2009	14.05.2009 Method for integrating selective ruthenium deposition into manufacturing of a semiconductior device WO2009060320 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.05.2009	14.05.2009 Process for producing intermediate structure and inspection apparatus WO2009060755 Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.05.2009	07.05.2009 Plasma processing system and plasma processing method WO2009057583 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.04.2009	30.04.2009 Forming method of etching mask, control program and program storage medium WO2009054131 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.04.2009	30.04.2009 Method for forming cu wiring WO2009054268 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.04.2009	29.04.2009 Adapter für Zerstäubungskathode EP1511876 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.05.2003 Erteilt am 29.04.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Wallace, Sheila Jane · London Findlay, Alice Rosemary · London Reddie & Grose LLP Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.04.2009	29.04.2009 Substratbeförderungseinrichtung und Vertikal-Wärmebehandlungsgeräte EP2053648 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2007 Anhängig Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.04.2009	23.04.2009 Dummy grating of clean room WO2009050808 Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.10.2007 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.04.2009	23.04.2009 Method and system for forming an air gap structure WO2009052117 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 14.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Substrate processing method WO2009048165 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Coating/developing apparatus, coating/developing method and storage medium WO2009047960 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Processing-liquid supply mechanism and processing-liquid supply method WO2009047974 Verfahrens- & Trenntechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.04.2009	16.04.2009 Neutral beam source and method for plasma heating WO2009048792 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.04.2009	15.04.2009 Verfahren zur Entfernung von Schadstoffen aus Abgas EP1566210 Verfahrens- & Trenntechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 28.11.2003 Erteilt am 15.04.2009 Vertretung Forstmeyer, Dietmar · München Boeters & Lieck Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2009	09.04.2009 Plasma processing apparatus and plasma processing method WO2009044693 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2009	09.04.2009 Plasma processing apparatus and method for adjusting plasma density distribution WO2009044798 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.10.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.04.2009	09.04.2009 Substrate treating apparatus and substrate treating method WO2009044646 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Gas supplying apparatus WO2009041283 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Processing system for producing a negative ion plasma WO2009042534 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Semiconductor device and manufacturing method therefor WO2009040670 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Raw gas supply system, and filming apparatus WO2009041397 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Electrical contacts for integrated circuits and methods of forming using gas cluster ion beam processing WO2009042458 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Vaporizer and film forming apparatus WO2009041189 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Method of plasma treatment and plasma treatment apparatus WO2009041214 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Method for sr-ti-o-base film formation and recording medium WO2009041219 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Plasma processing apparatus and gas exhaust method WO2009041499 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Film forming apparatus, film forming method, storage medium and gas supplying apparatus WO2009041282 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Electrical contacts for integrated circuits and methods of forming using gas cluster ion beam processing WO2009042835 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Method for controlling film forming apparatus, film forming method, film forming apparatus, organic el electronic device and storage medium having program for controlling film forming apparatus stored therein WO2009041344 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Plasma processing device WO2009041629 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.04.2009	02.04.2009 Annealing apparatus WO2009041466 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2009	26.03.2009 Substrate processing method and substrate processing system WO2009037941 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2009	26.03.2009 Film forming apparatus and film forming method WO2009038168 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.03.2009	26.03.2009 Load lock device and vacuum processing system WO2009038011 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2009	25.03.2009 Komplementär-Mis-Bauelement EP1455393 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2002 Erteilt am 25.03.2009 Vertretung Liesegang, Eva · München Boehmert & Boehmert Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Exhaust system structure of film forming apparatus, film forming apparatus and method of disposing of exhaust gas WO2009034865 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.03.2009	19.03.2009 Semiconductor manufacturing method, semiconductor manufacturing apparatus and display apparatus WO2009034963 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.09.2008 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen