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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt
Patent
10.04.2014
Substrate treatment method, computer storage medium, and substrate treatment system
WO2014054570
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2014
Wafer mounting method and wafer inspection device
WO2014054377
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2014
Heat treatment apparatus
WO2014050338
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.04.2014
Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system
WO2014051063
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2014
Substrate-cleaning device and substrate-cleaning method
WO2014050428
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2014
Substrate cleaning method, substrate cleaning device, and vacuum processing system
WO2014049959
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2014
Bonding system, bonding method, and computer storage medium
WO2014045803
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2014
Gas supply method and plasma processing device
WO2014045938
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
27.03.2014
Method for producing filtration filter
WO2014046151
Verfahrens- & Trenntechnik
27.03.2014
Plasma etching method and plasma etching device
WO2014046083
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2014
Substrate treatment system
WO2014046241
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2014
Plasma processing device and filter unit
WO2014041792
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
20.03.2014
Detachment control method and plasma processing device
WO2014042174
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
20.03.2014
Method for treatment of treated substrate, and plasma treatment device
WO2014042192
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
20.03.2014
Plasma processing device
WO2014042191
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2014
Method for manufacturing dye-sensitized solar cell and dye-sensitized solar cell
WO2014041798
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2014
Substrate processing method, computer storage medium, and substrate processing system
WO2014038420
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2014
Calculation method, calculation device, and recording medium
WO2014038438
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2014
Euv Resist Sensitivity Reduction
WO2014035871
Optik & Fototechnik
06.03.2014
Etching method and substrate processing apparatus
WO2014034666
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2014
Gate valve and substrate processing system
WO2014034247
Verpackungs- & Fördertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.03.2014
Plasma emission device and substrate processing device
WO2014034318
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2014
Vapor deposition device, vapor deposition method, organic el display, and organic el lighting device
WO2014034499
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2014
Plasma processing apparatus and substrate processing apparatus provided with same
WO2014034229
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2014
Filmbildungsvorrichtung, Filmbildungssystem, Filmbildungsverfahren und Verfahren zur Fertigung eines Elektronischen Bauteils oder eines Organischen Elektrolumineszenten Elements
EP1932937
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2014
Film forming apparatus, method of forming low-permittivity film, sico film, and damascene interconnect structure
WO2014030414
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2014
Method for forming silicon nitride film, method for manufacturing organic electronic device, and apparatus for forming silicon nitride film
WO2014030558
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2014
Dual workfunction semiconductor devices and methods for forming thereof
WO2014031413
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.02.2014
Substrate transportation device and substrate processing system
WO2014030432
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
20.02.2014
Method for manufacturing target for x-ray emission, and target for x-ray emission
WO2014027624
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2014
Substrate processing device, data collection method, and program
WO2014024738
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2014
Plasma etching method and plasma etching apparatus
WO2014024833
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2014
Plasma processing apparatus and high frequency generator
WO2014024546
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
13.02.2014
Multi-layer film etching method and plasma processing apparatus
WO2014024733
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2014
Method for forming pattern for electronic device, electronic device, and pattern forming device
WO2014021423
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2014
Method for bringing substrate into contact with probe card
WO2014021176
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2014
Device for causing substrate to contact probe card, and substrate inspection apparatus provided with same
WO2014021024
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2014
Method of regionally selective cell detachment and methods for culturing and subculturing cells using same
WO2014017481
Pharma & Biotechnologie
30.01.2014
Plasma treatment device
WO2014017130
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2014
Bake processing system
WO2014017194
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56

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