Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
6.253 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
15.08.2013
Plasma treatment method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.08.2013
Film-forming apparatus and film-forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.02.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
15.08.2013
Electrostatic chuck device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.02.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
14.08.2013
Flüssigkeitsbehandlungsverfahren und Flüssigkeitsbehandlungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.08.2013
Purging device and purging method for substrate-containing vessel
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.08.2013
Separation control method, and control device for plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.08.2013
Plasma processing device, and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 30.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.08.2013
Plasma etching method and plasma etching apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 31.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.08.2013
Plasma treatment method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 07.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.08.2013
Method for processing base body to be processed
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.11.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.08.2013
Microwave emission mechanism, microwave plasma source and surface wave plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.08.2013
Method for manufacturing semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.08.2013
Method of forming conformal metal silicide films
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 25.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
01.08.2013
Film forming device, and film forming method
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 24.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.07.2013
Support substrate and method for processing support substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.10.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.07.2013
Substrate processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.07.2013
Substrate mounting table and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.07.2013
Plasma doping apparatus, plasma doping method, semiconductor element manufacturing method, and semiconductor element
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.10.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.07.2013
Method for forming tisin film and recording medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.07.2013
Surface wave plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.07.2013
Substrate processing system and substrate position correction method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.07.2013
Microchannel device and method for manufacturing same
Verfahrens- & Trenntechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
18.07.2013
Plasma processing apparatus and heater temperature control method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 09.01.2013
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.07.2013
Method for forming tin film and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
11.07.2013
Vapor treatment process for pattern smoothing and inline critical dimension slimming
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.07.2013
Filmbildungsvorrichtung und Filmbildungsverfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.07.2013
Plasma treatment apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.07.2013
Increasing masking layer etch rate and selectivity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 31.03.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.06.2013
Mounting table and plasma processing apparatus
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.06.2013
Plasma creation device and plasma processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.06.2013
Highly selective spacer etch process with reduced sidewall spacer slimming
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 12.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.06.2013
Substrate processing device
Verpackungs- & Fördertechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 17.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Device and method for forming gallium nitride film, and hydrogenated gallium generator
Metallurgie & Oberflächentechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 19.11.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Plasma-treatment apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Film forming device
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 06.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Production efficiency improvement system, production efficiency improvement device and production efficiency improvement method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 08.11.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Antenna for plasma generation, plasma processing device and plasma processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 05.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
20.06.2013
Acoustic wave generating device and method for producing acoustic wave generating device
Nachrichtentechnik & Telekommunikation
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.06.2013
Plasma treatment method and plasma treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.12.2012
Anhängig
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-ProfilTechnologiefelder
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
5.300
Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
791
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56