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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.253 gesamt
Patent
13.06.2013
Organic transistor and method for manufacturing same
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2013
Method for forming a semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2013
Plasma processing apparatus and plasma processing method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2013
Neutralizing jig, substrate treatment device using same, and method for neutralizing substrate treatment device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
06.06.2013
Substrate Housing Container
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.06.2013
Plating apparatus, plating method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.06.2013
Conveyance device and substrate processing system
Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
06.06.2013
Plating apparatus, plating method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.06.2013
Plating apparatus, plating method and storage medium
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.06.2013
Transportvorrichtung und Antriebsmechanismus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2013
Processing device group controller, manufacturing process system, processing device group control method, manufacturing optimization system, manufacturing optimization device, and manufacturing optimization method
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2013
Production processing system, control device for production processing, method for controlling production processing and control program for production processing
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.05.2013
Verfahren zur Automatischen Bestimmung eines Optimal Parametrisierten Scatterometrie-Modells
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
23.05.2013
Temperature control device, processing device, and temperature control method
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
23.05.2013
Temperature control system, semiconductor manufacturing device, and temperature control method
Steuerungs- & Regelungstechnik
23.05.2013
Semiconductor device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.05.2013
Treatment method and template for substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2013
Substrataufwärmvorrichtung, Substrataufwärmverfahren und Substratverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2013
Plasma processing method and plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2013
Temperature control method, control device, and plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2013
Dielectric window for plasma treatment device, and plasma treatment device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2013
Pretreatment method, graphene forming method and graphene fabrication apparatus
Verfahrens- & Trenntechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
15.05.2013
Substratverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2013
Method and system for controlling a spike anneal process
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2013
Coating process device, coating process method and computer storage medium
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2013
Epitaxial Film Growth in Retrograde Wells For Semiconductor Devices
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2013
Liquid processing apparatus and liquid processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2013
Apparatus for burning film and method for burning film
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2013
Method of manufacturing a semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2013
Substrate processing apparatus and substrate processing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2013
Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Elektrodenplatte für eine Plasmaverarbeitungsvorrichtung und Elektrodenplattenherstellungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2013
Film formation device and film formation method
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2013
Bonding device and bonding position adjustment method using said bonding device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2013
Bonding device and bonding method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
25.04.2013
Semiconductor device fabrication method and semiconductor device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.04.2013
Separation device, separation system and separation method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2013
Liquid processing apparatus and liquid processing method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2013
Substrate processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.04.2013
Substrate carrier device for substrate processing system
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.04.2013
Film formation apparatus, film formation method, and storage medium
Kunststoff- & Polymertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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