ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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06.08.2015
Metrology method and apparatus, substrate, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 30.12.2014
Anhängig
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06.08.2015
Catalytic Conversion Of an Optical Amplifier Gas Medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.01.2015
Anhängig
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30.07.2015
Method of determining a measurement subset of metrology points on a substrate, associated apparatus and computer program
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.11.2014
Anhängig
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30.07.2015
Apparatus operable to perform a measurement operation on a substrate, lithographic apparatus, and method of performing a measurement operation on a substrate
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.12.2014
Anhängig
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30.07.2015
Radiation Source
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 19.12.2014
Anhängig
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30.07.2015
Coil assembly, electromagnetic actuator, stage positioning device, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 19.12.2014
Anhängig
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30.07.2015
Extreme Ultraviolet Light Source
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 19.01.2015
Anhängig
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29.07.2015
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.11.2003
Erteilt am 29.07.2015
Vertretung
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
Leeming, John Gerard · London
Corcoran, Gregory Martin Mason · Veldhoven
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23.07.2015
Substrate holder and support table for lithography
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.11.2014
Anhängig
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23.07.2015
Support device, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 18.12.2014
Anhängig
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22.07.2015
Prägelithografie -Gerät und -Verfahren
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 06.10.2009
Erteilt am 22.07.2015
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
Weenink, Willem · Veldhoven
Weenink, Willem · Veldhoven
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22.07.2015
Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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16.07.2015
Lithographic apparatus, device manufacturing method and associated data processing apparatus and computer program product
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.10.2014
Anhängig
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16.07.2015
Actuation mechanism, optical apparatus and lithography apparatus
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 02.12.2014
Anhängig
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09.07.2015
Method and apparatus for design of a metrology target
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.12.2014
Anhängig
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09.07.2015
Method and apparatus for design of a metrology target
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.12.2014
Anhängig
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09.07.2015
Method and apparatus for design of a metrology target
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 04.12.2014
Anhängig
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09.07.2015
Method and apparatus for design of a metrology target
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.12.2014
Anhängig
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08.07.2015
Markierungsstruktur zur groben Wafer-Ausrichtung und Verfahren zur Herstellung einer solchen Markierungsstruktur
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.02.2009
Erteilt am 08.07.2015
Vertretung
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08.07.2015
Strahlungsquelle und entsprechendes Verfahren
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 27.08.2009
Erteilt am 08.07.2015
Vertretung
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
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01.07.2015
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.05.2004
Erteilt am 01.07.2015
Vertretung
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01.07.2015
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Positionskalibrierung eines Trägertisches
Optik & Fototechnik
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25.06.2015
Inspection method and apparatus, and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 07.11.2014
Anhängig
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25.06.2015
Inspection method and apparatus and lithographic apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2014
Anhängig
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25.06.2015
System For Positioning an Object in Lithography
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2014
Anhängig
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25.06.2015
Yield estimation and control
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2014
Anhängig
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25.06.2015
Inspection method, lithographic apparatus, mask and substrate
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.11.2014
Anhängig
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25.06.2015
Inspection methods, substrates having metrology targets, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.11.2014
Anhängig
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18.06.2015
Radiation source device, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 07.11.2014
Anhängig
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18.06.2015
Radiation source, metrology apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.11.2014
Anhängig
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18.06.2015
Radiation source, metrology apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.11.2014
Anhängig
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18.06.2015
Inspection apparatus and methods, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 20.11.2014
Anhängig
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18.06.2015
Radiation source device, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 08.12.2014
Anhängig
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11.06.2015
Method and apparatus for measuring a structure on a substrate, models for error correction, computer program products for implementing such methods&apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.11.2014
Anhängig
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11.06.2015
Apparatus and method for manufacturing a pellicle, and a pellicle
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 19.11.2014
Anhängig
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11.06.2015
Electron injector and free electron laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 27.11.2014
Anhängig
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11.06.2015
Apparatus for and method of source material delivery in a laser produced plasma euv light source
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 06.11.2014
Anhängig
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04.06.2015
Method, apparatus and substrates for lithographic metrology
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 04.11.2014
Anhängig
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04.06.2015
Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure and for estimation of geometrical and material parameters thereof
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 04.11.2014
Anhängig
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28.05.2015
Lithographic method and apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 02.10.2014
Anhängig
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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