ASML Patente
🇳🇱 Niederlande
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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5.380 gesamt| Patent | |||
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28.05.2015
Apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.10.2014
Anhängig
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28.05.2015
An apparatus, a device and a device manufacturing method
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 04.11.2014
Anhängig
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28.05.2015
System and method for correcting the focus of a laser beam
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 06.11.2014
Anhängig
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21.05.2015
Radiation Source
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 23.10.2014
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20.05.2015
Imprint-Lithographie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 12.12.2005
Erteilt am 20.05.2015
Vertretung
Broeken, Petrus Henricus Johannes · Veldhoven
Weenink, Willem · Veldhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
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14.05.2015
Methodology to generate a guiding template for directed self-assembly
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 10.10.2014
Anhängig
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14.05.2015
Method of characterising, method of forming a model, method of simulating, mask manufacturing method and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 14.10.2014
Anhängig
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14.05.2015
Free Electron Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 22.10.2014
Anhängig
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07.05.2015
Object Positioning in Lithography
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 25.09.2014
Anhängig
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07.05.2015
Inspection apparatus and methods, substrates having metrology targets, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 13.10.2014
Anhängig
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07.05.2015
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.10.2014
Anhängig
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30.04.2015
Lithography apparatus, patterning device, and lithographic method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 10.10.2014
Anhängig
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23.04.2015
Radiation source, lithographic apparatus device manufacturing method, sensor system and sensing method
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 18.09.2014
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23.04.2015
Photon source, metrology apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.09.2014
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09.04.2015
Methods&apparatus For Obtaining Diagnostic Information Relating To an Industrial Process
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.09.2014
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09.04.2015
Profile Aware Source-Mask Optimization
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 11.09.2014
Anhängig
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02.04.2015
System and method for controlling droplets of target material in an euv light source
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 09.09.2014
Anhängig
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01.04.2015
Strahlungsquelle und Lithografischer Apparat
Verfahrens- & Trenntechnik
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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12.03.2015
Methodology to generate guiding templates for directed self-assembly
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 08.08.2014
Anhängig
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12.03.2015
Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure and for reconstruction of approximate structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 08.08.2014
Anhängig
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12.03.2015
Apparatus for and method of temperature compensation in high power focusing system for euv lpp source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.08.2014
Anhängig
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12.03.2015
Transportvorrichtung für eine Extreme Uv-Lichtquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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12.03.2015
Apparatus for protecting euv optical elements
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 21.08.2014
Anhängig
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05.03.2015
Radiation source and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 24.07.2014
Anhängig
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05.03.2015
Immersion lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 22.07.2014
Anhängig
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26.02.2015
Lithography system and a machine learning controller for such a lithography system
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 06.08.2014
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25.02.2015
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren für die Vorrichtung
Optik & Fototechnik
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19.02.2015
Lithographic apparatus, programmable patterning device and lithographic method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 11.07.2014
Anhängig
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19.02.2015
Method and inspection apparatus and computer program product for assessing a quality of reconstruction of a value of a parameter of interest of a structure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.08.2014
Anhängig
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18.02.2015
Verfahren zur Durchführung von Dunkelfeld-Doppeldipollithografie
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.04.2007
Erteilt am 18.02.2015
Vertretung
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12.02.2015
Method of designing lithography features by self-assembly of block copolymer
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 09.07.2014
Anhängig
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12.02.2015
Metrology method and apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Angemeldet am 18.07.2014
Anhängig
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12.02.2015
System and method for return beam metrology with optical switch
Elektronik & Schaltungstechnik
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Angemeldet am 30.07.2014
Anhängig
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05.02.2015
Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 17.06.2014
Anhängig
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22.01.2015
Determination and application of non-monotonic dose sensitivity
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 01.07.2014
Anhängig
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08.01.2015
Lithographic apparatus, positioning system for use in a lithographic apparatus and method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 26.06.2014
Anhängig
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18.12.2014
Method of determining critical-dimension-related properties, inspection apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 23.05.2014
Anhängig
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10.12.2014
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 26.03.2003
Erteilt am 10.12.2014
Vertretung
Slenders, Petrus Johannes Waltherus · Eindhoven
Slenders, Petrus J. W · Eindhoven
Van den Hooven, Jan · Veldhoven
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10.12.2014
Kollektorspiegelanordnung und Verfahren zur Produktion von Euv Strahlung
Optik & Fototechnik
Elektrische Energietechnik
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04.12.2014
Method of simulating formation of lithography features by self-assembly of block copolymers
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 05.05.2014
Anhängig
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Wer vertritt ASML?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die ASML vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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