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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
28.05.2015
Apparatus, lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
28.05.2015
An apparatus, a device and a device manufacturing method
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
28.05.2015
System and method for correcting the focus of a laser beam
Optik & Fototechnik
21.05.2015
Radiation Source
Elektronik & Schaltungstechnik
20.05.2015
Imprint-Lithographie
Optik & Fototechnik
14.05.2015
Methodology to generate a guiding template for directed self-assembly
Optik & Fototechnik
14.05.2015
Method of characterising, method of forming a model, method of simulating, mask manufacturing method and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
14.05.2015
Free Electron Laser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.05.2015
Object Positioning in Lithography
Optik & Fototechnik
07.05.2015
Inspection apparatus and methods, substrates having metrology targets, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
07.05.2015
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
30.04.2015
Lithography apparatus, patterning device, and lithographic method
Optik & Fototechnik
23.04.2015
Radiation source, lithographic apparatus device manufacturing method, sensor system and sensing method
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
23.04.2015
Photon source, metrology apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2015
Methods&apparatus For Obtaining Diagnostic Information Relating To an Industrial Process
Optik & Fototechnik
09.04.2015
Profile Aware Source-Mask Optimization
Optik & Fototechnik
02.04.2015
System and method for controlling droplets of target material in an euv light source
Elektronik & Schaltungstechnik
01.04.2015
Strahlungsquelle und Lithografischer Apparat
Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
12.03.2015
Methodology to generate guiding templates for directed self-assembly
Optik & Fototechnik
12.03.2015
Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure and for reconstruction of approximate structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.03.2015
Apparatus for and method of temperature compensation in high power focusing system for euv lpp source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Transportvorrichtung für eine Extreme Uv-Lichtquelle
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Apparatus for protecting euv optical elements
Optik & Fototechnik
05.03.2015
Radiation source and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2015
Immersion lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
26.02.2015
Lithography system and a machine learning controller for such a lithography system
Optik & Fototechnik
25.02.2015
Substrathalter, Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren für die Vorrichtung
Optik & Fototechnik
19.02.2015
Lithographic apparatus, programmable patterning device and lithographic method
Optik & Fototechnik
19.02.2015
Method and inspection apparatus and computer program product for assessing a quality of reconstruction of a value of a parameter of interest of a structure
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.02.2015
Verfahren zur Durchführung von Dunkelfeld-Doppeldipollithografie
Optik & Fototechnik
12.02.2015
Method of designing lithography features by self-assembly of block copolymer
Optik & Fototechnik
12.02.2015
Metrology method and apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
12.02.2015
System and method for return beam metrology with optical switch
Elektronik & Schaltungstechnik
05.02.2015
Component for a radiation source, associated radiation source and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
22.01.2015
Determination and application of non-monotonic dose sensitivity
Optik & Fototechnik
08.01.2015
Lithographic apparatus, positioning system for use in a lithographic apparatus and method
Optik & Fototechnik
18.12.2014
Method of determining critical-dimension-related properties, inspection apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
10.12.2014
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
10.12.2014
Kollektorspiegelanordnung und Verfahren zur Produktion von Euv Strahlung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
04.12.2014
Method of simulating formation of lithography features by self-assembly of block copolymers
Optik & Fototechnik

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