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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
10.09.2008
Interferometrisches Lithografiesystem und Verfahren zum Erzeugen von Gleichen Weglängen Interferierender Strahlen
Optik & Fototechnik
03.09.2008
Lithografische Vorrichtung und Verwendungsverfahren davon
Optik & Fototechnik
03.09.2008
Laserstrahlaufweitung mit unveränderter räumlicher Kohärenz
Optik & Fototechnik
20.08.2008
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
20.08.2008
Substrat, Substratbelichtungsverfahren und maschinenlesbares Medium
Optik & Fototechnik
20.08.2008
Strahlungssystem und Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik
20.08.2008
Lithografische Vorrichtung und Herstellungsverfahren dafür
Optik & Fototechnik
13.08.2008
Polarisierte Strahlung in einem lithographischen Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
13.08.2008
Wärmeverwaltung für EUV-Retikel
Optik & Fototechnik
06.08.2008
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.08.2008
Lithographischer Apparat und Methode zur Messung der Polarisation
Optik & Fototechnik
06.08.2008
Verfahren zur Messung der Bindungsqualität gebundener Substrate und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung aus einem gebundenen Substrat
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
30.07.2008
Verfahren zur Vorbereitung eines Substrats, Messverfahren, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, Lithographischer Apparat, Computerprogramm und Substrat
Optik & Fototechnik
24.07.2008
Device manufacturing method and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
23.07.2008
Verfahren zur Herstellung eines Artikels unter Verwendung einer lithographischen Projektionsmaske
Optik & Fototechnik
23.07.2008
Shearing-Interferometer mit dynamischem pupillenfüllen
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
16.07.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
03.07.2008
Assembly for blocking a beam of radiation
Optik & Fototechnik
03.07.2008
Lithographic apparatus, substrate table, and method for enhancing substrate release properties
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2008
Lithographische Vorrichtung und Verfahren
Optik & Fototechnik
03.07.2008
Patterning device, method of providing a patterning device, photolithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
03.07.2008
Illumination system, lithographic apparatus, mirror, method of removing contamination from a mirror and device manufacturing method
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.07.2008
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
02.07.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
02.07.2008
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
02.07.2008
Methode zur Bestimmung einer Beleuchtungseinstellung und Methode zur Übertragung einer Maskenstruktur
Optik & Fototechnik
02.07.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
26.06.2008
Reducing Fast Ions in A Plasma Radiation Source Having A Second Activation Source
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
25.06.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
25.06.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
19.06.2008
Radiation system and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
19.06.2008
Plasma radiation source with axial magnetic field
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
18.06.2008
Bilderzeugungsapparat
Optik & Fototechnik
18.06.2008
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
12.06.2008
Shadowing Electrodes For Debris Suppression in an Euv Source
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
12.06.2008
Plasma radiation source with rotating electrodes and liquid metal provider
Elektronik & Schaltungstechnik
11.06.2008
Verfahren, Inspektionssystem, Rechnerprogramm und Referenzsubstrat zum Erkennen von Maskenfehlern
Optik & Fototechnik
11.06.2008
Lithographischer Apparat mit einem radialen Polarisator
Optik & Fototechnik
11.06.2008
Lithographischer Apparat. Beleuchtungssystem und optisches Element zur Rotation einer Intensitätsverteilung
Optik & Fototechnik

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