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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
28.09.2023
Charged particle apparatus and method
WO2023180016
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2023
Euv Light Source Target Metrology
WO2023180017
Elektronik & Schaltungstechnik
27.09.2023
Vorrichtung und Verfahren zur Filterung von Messstrahlung
EP4250010
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.09.2023
Ladungsteilchenvorrichtung und -Verfahren
EP4250331
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2023
Einrichtungs- und Kontrollverfahren für einen Lithografischen Prozess und Zugehörige Geräte
EP4250009
Optik & Fototechnik
27.09.2023
Elektrostatische Klemme
EP4248274
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2023
Vorrichtung und Verfahren für Geladene Teilchen
EP4250332
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.09.2023
Illumination arrangement for a metrology device and associated method
WO2023174648
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.09.2023
A method for determining a vertical position of a structure on a substrate and associated apparatuses
WO2023174650
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.09.2023
Aktuator, Linearmotor und Lithographische Vorrichtung
EP3631957
Elektrische Energietechnik
20.09.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Vertikalen Position einer Struktur auf einem Substrat und Zugehörige Vorrichtungen
EP4246231
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.09.2023
Beleuchtungsanordnung für eine Metrologievorrichtung und Zugehöriges Verfahren
EP4246232
Optik & Fototechnik
20.09.2023
Anordnung einer Objektivlinsengruppe, Elektronenoptisches System, Elektronenoptisches Systemarray, Verfahren zur Fokussierung
EP4244881
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.09.2023
Auf Aktivem Lernen Basierende Defektortidentifizierung
EP4244677
Optik & Fototechnik
20.09.2023
Verfahren und Vorrichtung zur Thermischen Verformung eines Optischen Elements
EP4244676
Optik & Fototechnik
20.09.2023
Verfahren und Computerprogramme zur Konfiguration eines Abtastschemaerzeugungsmodells
EP4244675
Optik & Fototechnik
20.09.2023
Verfahren zur Bestimmung eines Abtastschemas, Halbleitersubstratmessvorrichtung, Lithografische Vorrichtung
EP4235306
Optik & Fototechnik
14.09.2023
Residual Gas Analyser
WO2023169770
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2023
Vacuum chamber system including temperature conditioning plate
WO2023169766
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2023
Anisotropic Resist Patterning
WO2023169802
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2023
Method for correcting measurements in the manufacture of integrated circuits and associated apparatuses
WO2023169818
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.09.2023
Methods, systems, and software for determination of failure rates of lithographic processes
WO2023169806
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
13.09.2023
Positionsbestimmung in einem Lithografiesystem mit einem Substrat mit Teilweise Reflektierender Druckmarke
EP2699967
Optik & Fototechnik
13.09.2023
Verfahren zur Korrektur von Messungen bei der Herstellung von Integrierten Schaltungen und Zugehörige Vorrichtungen
EP4242744
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.09.2023
Apparatus and methods for filtering measurement radiation
WO2023165783
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.09.2023
Reticle Stage
WO2023165837
Optik & Fototechnik
07.09.2023
Inspection apparatus, linearly movable beam displacer, and method
WO2023165823
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
07.09.2023
Image analysis based on adaptive weighting of template contours
WO2023165824
Software & Datenverarbeitung
06.09.2023
Schwingungsisolator zum Unterstützen einer Nutzlast
EP4239215
Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.09.2023
Retikel Stage
EP4239410
Optik & Fototechnik
06.09.2023
Modensteuerung von auf Photonischer Kristallfaser Basierenden Breitbandlichtquellen
EP4224250
Optik & Fototechnik
31.08.2023
Systems and methods for cleaning a portion of a lithography apparatus
WO2023160925
Optik & Fototechnik
31.08.2023
Methods and systems for improving wafer defect classification nuisance rate
WO2023160986
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung
31.08.2023
Method and apparatus for reflecting pulsed radiation
WO2023160924
Optik & Fototechnik
31.08.2023
Inspection tool and barrier for use therein
WO2023160935
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
31.08.2023
Height Measurement Sensor
WO2023160972
Optik & Fototechnik
31.08.2023
Beam manipulation using charge regulator in a charged particle system
WO2023160959
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2023
Optische Komponente auf Basis einer Photonischen Hohlkernkristallfaser zur Breitbandstrahlungserzeugung
EP4235984
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2023
Verfahren zur Steuerung einer Lithographischen Vorrichtung
EP4018263
Optik & Fototechnik
30.08.2023
Verfahren in dem Herstellungsverfahren einer Vorrichtung, Computerlesbares Medium und zur Durchführung des Verfahrens Konfiguriertes System
EP4235305
Optik & Fototechnik

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Elektrische Energietechnik
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60
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55
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39
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35

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