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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
02.11.2023
System and method for improving image quality during inspection
WO2023208496
Software & Datenverarbeitung
02.11.2023
Source selection module and associated metrology apparatus
WO2023208487
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
01.11.2023
Elektronenlinse
EP4268256
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2023
Elektronenoptische Säule und Verfahren zum Richten eines Primärelektronenstrahles auf eine Probe
EP4268257
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.11.2023
Flüssigkeitshandhabungssystem, Verfahren und Lithografische Vorrichtung
EP4268020
Optik & Fototechnik
26.10.2023
Method of filtering false positives for a pixelated electron detector
WO2023202824
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2023
Thermisch Unterstützte Inspektion durch Erweitertes Ladungssteuerungsmodul in einem System mit Geladenen Teilchen
EP4264653
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2023
Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen
EP3408829
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2023
Computerimplementiertes Verfahren zur Steuerung eines Herstellungsverfahrens
EP4104018
Optik & Fototechnik
25.10.2023
Verfahren zum Filtern von Falschen Positiven für einen Pixelierten Elektronendetektor
EP4266347
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.10.2023
A Lithographic Apparatus, an Inspection System, And A Detector Having A Square-Core Fiber
WO2023198466
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
19.10.2023
Metrology apparatus with configurable printed optical routing for parallel optical detection
WO2023198444
Optik & Fototechnik
19.10.2023
High Pressure Coupling Assembly
WO2023198403
Maschinenelemente & Fluidtechnik
19.10.2023
Charged-particle beam apparatus with large field-of-view and methods thereof
WO2023198397
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.10.2023
Methods of metrology and associated devices
WO2023198376
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
19.10.2023
Methods of metrology and associated devices
WO2023198381
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.10.2023
A method of determining a correction for control of a lithography and/or metrology process, and associated devices
WO2023198359
Optik & Fototechnik
18.10.2023
Verfahren und Computerprogramm zum Gruppieren von Musterstrukturen eines im Wesentlichen Unregelmässigen Musterlayouts
EP4261616
Optik & Fototechnik
18.10.2023
Komponente und Verfahren für eine Lithographievorrichtung
EP4260142
Optik & Fototechnik
18.10.2023
Metrologieverfahren und Zugehörige Vorrichtungen
EP4261617
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
18.10.2023
Verfahren zur Bestimmung einer Korrektur zur Steuerung eines Lithographischen Und/oder Metrologischen Prozesses und Zugehörige Vorrichtungen
EP4261618
Optik & Fototechnik
18.10.2023
Verfahren zur Räumlichen Ausrichtung einer Strukturierungsvorrichtung und eines Substrats
EP4261619
Optik & Fototechnik
12.10.2023
Imaging method and metrology device
WO2023194036
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
12.10.2023
E-beam optimization for overlay measurement of buried features
WO2023194014
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.10.2023
Electro-optical device
WO2023194025
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2023
Apparatus and method for determining an angular reflectivity profile
WO2023194017
Optik & Fototechnik
12.10.2023
Pellicle for euv lithography
WO2023193995
Optik & Fototechnik
11.10.2023
Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen eines Winkelaufgelösten Reflexionsprofils
EP4258058
Optik & Fototechnik
11.10.2023
Sensorsubstrat, Gerät und Verfahren
EP4258320
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2023
Beurteilungswerkzeug für Geladene Teilchen, Inspektionsverfahren und Bild
EP4256600
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.10.2023
Werkzeug für Geladene Teilchen, Kalibrierungsverfahren, Inspektionsverfahren
EP4256601
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2023
Methods related to an autoencoder model or similar for manufacturing process parameter estimation
WO2023186446
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
05.10.2023
Substrate warpage determination system
WO2023186569
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Verfahren in Bezug auf ein Autocoder-Modell oder Ähnliches zum Herstellen von Prozessparameterschätzung
EP4254266
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
04.10.2023
Verfahren zur Bestimmung der Markierungsstruktur von Überlagerten Fingerabdrücken
EP4252073
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Flüssigkeitshandhabungssystem, Verfahren und Lithografische Vorrichtung
EP4252072
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Hochpräzises Temperaturkompensiertes Piezoresistives Positionsmesssystem
EP4252074
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2023
Verfahren zur Bestimmung der Räumlichen Verteilung eines Relevanten Parameters über mindestens ein Substrat oder einen Teil davon
EP4254068
Optik & Fototechnik
04.10.2023
Metrologievorrichtung auf Basis von Erzeugung Hoher Oberschwingungen und Zugehöriges Verfahren
EP4252071
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
04.10.2023
Strahlungsquelle
EP3688530
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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67
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60
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55
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39
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35

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