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ASML Patente

🇳🇱 Niederlande

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380
Patente
2000–2026
Anmeldejahre
27
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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5.380 gesamt
Patent
24.08.2023
Resist Compositions
WO2023156297
Optik & Fototechnik
24.08.2023
Field of view selection for metrology associated with semiconductor manufacturing
WO2023156182
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
24.08.2023
Methods of metrology
WO2023156143
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
24.08.2023
Systems and methods for defect location binning in charged-particle systems
WO2023156125
Software & Datenverarbeitung
24.08.2023
A supercontinuum radiation source and associated metrology devices
WO2023156149
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.08.2023
Superkontinuumstrahlungsquelle und Zugehörige Metrologievorrichtungen
EP4231090
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
23.08.2023
Metrologieverfahren
EP4231096
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
23.08.2023
Inspektionswerkzeug und Barriere zur Verwendung Darin
EP4231097
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
17.08.2023
Clamp
WO2023151901
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.08.2023
Systems and methods for generating sem-quality metrology data from optical metrology data using machine learning
WO2023151973
Optik & Fototechnik
17.08.2023
Metrology method and associated metrology device
WO2023151909
Optik & Fototechnik
17.08.2023
Active Learning To Improve Wafer Defect Classification
WO2023151919
Software & Datenverarbeitung
16.08.2023
Klemme
EP4227738
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2023
Substrathalter, Trägersystem mit einem Substrathalter und Lithografische Vorrichtung
EP4226214
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.08.2023
Lithographic apparatus controller system
WO2023148326
Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
10.08.2023
Euv-Lithographiesystem mit einem Gasbindenden Bauteil
WO2023147925
Optik & Fototechnik
10.08.2023
Metrology method and associated metrology device
WO2023147986
Optik & Fototechnik
10.08.2023
Inspection apparatus, motorized apertures, and method background
WO2023147951
Optik & Fototechnik
09.08.2023
Metrologisches Verfahren und Zugehörige Metrologische Vorrichtung
EP4224254
Optik & Fototechnik
09.08.2023
Metrologisches Verfahren
EP4224255
Optik & Fototechnik
09.08.2023
Inspektionsvorrichtung und -Verfahren
EP4222560
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.08.2023
Verfahren für Bestimmte Korrekturen für ein Strukturierungsverfahren
EP3879345
Optik & Fototechnik
03.08.2023
System for holding an object in a semiconductor manufacturing process, lithographic apparatus provided with said system and method
WO2023143896
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2023
Substrate table, lithographic apparatus, sticker, cover ring and method of operating a lithographic apparatus
WO2023143909
Optik & Fototechnik
02.08.2023
Strahlungsquelle
EP3469425
Optik & Fototechnik
02.08.2023
System zum Halten eines Objekts in einem Halbleiterherstellungsverfahren, Lithographiegerät mit Diesem System und Verfahren
EP4220302
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2023
Systems and methods for inspecting a portion of a lithography apparatus
WO2023138916
Optik & Fototechnik
27.07.2023
Method and apparatus for illumination adjustment
WO2023138892
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
27.07.2023
Resist under-layer for use in a lithographic apparatus
WO2023138864
Optik & Fototechnik
26.07.2023
Hochspannungsdurchführung und Verbinder für eine Vorrichtung mit Geladenen Teilchen
EP4214738
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2023
Verfahren zur Steuerung eines Produktionssystems und Verfahren zur Thermischen Steuerung wenigstens eines Teils einer Umgebung
EP4216106
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.07.2023
Objektivlinsen-Array-Anordnung, Elektronenoptisches System, Elektronenoptisches System-Array, Fokussierungsverfahren und Objektivlinsen-Anordnung
EP4214737
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2023
Beurteilungswerkzeug für Geladene Teilchen, Inspektionsverfahren
EP4214736
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.07.2023
Optical apparatus
WO2023134937
Optik & Fototechnik
20.07.2023
Lithographic performance qualification and associated apparatuses
WO2023134957
Optik & Fototechnik
19.07.2023
Elektronenoptische Anordnung mit Elektromagnetischer Abschirmung
EP4211711
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2023
System zur Bewertung Geladener Partikel
EP4213176
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.07.2023
Lithographische Leistungsqualifikation und Zugehörige Vorrichtungen
EP4212961
Optik & Fototechnik
19.07.2023
System zur Verwendung in einem Lithographischen Gerät
EP4212960
Optik & Fototechnik
13.07.2023
Method and computer program for grouping pattern features of a substantially irregular pattern layout
WO2023131476
Optik & Fototechnik

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171
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92
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67
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60
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55
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39
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35

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